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ISO 14644-1-8 简介ISO 14644-1是一系列洁净室标准中的重点文件。
它建立空气洁净的等级，以及如何通过测量来区分这些等级。
有九个主要等级和附加的七十二个副等级，这是为了更细化调整清洁区域。
这八十一个等级是对过去的美国联邦的标准209E的重要扩充。
ISO 14644-2是他们制定的第二个标准，它是ISO 14644-1的伴随文件，为了证明达到ISO 14644-1空气洁净等级，对清洁区域进行必要的测试，需要间隔多长时间，这个标准作了详细的规定。
ISO 14644-3总结了十四个不同的测试方法，可以用来到测试清洁区域的数值。
其中三个测试方法是ISO 14644-2规定强制执行的，其余的十一个是供选用的（这些测试是由买卖双方协商选择）。
ISO 14644-4提出了在设计和建造洁净空间需要考虑的准则。
它是一个内容很广泛的文件，提供了需要考虑的各种参数。
文件的附录H对于任何一个设计、建造和运行洁净室环境的人员而言，是极好的检查清单。
ISO 14644-5涵盖了在洁净室环境中生产、工作的主要方面。
它要求最终用户仔细研究标准，认真考虑有效而且效率高的洁净室操作。
它是任何一个在洁净室中工作的人员“必须”阅读的文件。
ISO 14644-6是最初十个ISO洁净室标准中最晚发布的一个。
它是其他九个文件中的术语和定义的概要。
ISO 14644-7是10个ISO洁净室标准中的第一个标准。
它主要讲无人的独立清洁区域，那种需人员从外面进入的设施，包括洁净台、隔离器、微环境和手套盒等——独立的清洁、受控环境单元。
它描述了独立的无人洁净区域的设计，建造和必要操作的细节。
ISO 14644-8是关于污染分子问题。
这个标准包含空气分子污染（AMC）并且制定了测量分析的方法。
它提供了空气分子污染分级系统，允许最终用户定义分子污染的数量和类型，可以使用收集和分析方法建立自己的等级。
ISO 14698-1是关于在洁净室环境中对生物污染控制的通用法则和方法，并需要建立正规的控制系统。
食品接触材料及制品三乙胺和三正丁胺含量的测定1 范围本标准规定了食品接触材料及制品中三乙胺和三正丁胺含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于聚碳酸酯类食品接触材料及制品中三乙胺和三正丁胺含量的测定。
2原理样品经二氯甲烷溶解后，加入丙酮使聚碳酸酯树脂沉淀，溶液中的三乙胺和三正丁胺经浓缩定容后采用气相色谱法测定，外标法定量。
3试剂和材料除非另有说明，本方法所用试剂均为分析纯。
试验中容器及转移器具应尽量避免使用塑料材质。
3.1 试剂3.1.1二氯甲烷。
3.1.2丙酮。
3.1.3三乙胺：标准品，纯度大于或等于99%。
3.1.4三正丁胺：标准品，纯度大或于等于99%。
3.2 标准储备液称取10 mg三乙胺和10 mg三正丁胺（精确至0.1 mg），置于100 mL容量瓶内，用二氯甲烷定容并摇匀，得到标准储备液。
标准储备液应于4 ℃下密封避光保存。
3.3 仪器和设备3.3.1 气相色谱仪：配氮磷检测器。
3.3.2 分析天平或电子天平：感量0.1 mg。
3.3.3 离心机：3000 rpm。
3.3.4 旋转蒸发仪。
3.3.5 刻度管：2 mL。
3.3.6 针头式有机相过滤器：0.2 m。
4 分析步骤4.1 标准工作溶液配制移取标准储备液4.00 mL，用二氯甲烷稀释至100 mL，定容并摇匀。
再将稀释后的溶液分别移取1.00 mL，2.00 mL，3.00 mL，4.00 mL，5.00 mL于5个不同的20 mL容量瓶中，用二氯甲烷定容并摇匀，得到浓度分别为0.2 mg/L、0.4 mg/L、0.6 mg/L、0.8 mg/L、1.0 mg/L的标准工作溶液。
标准工作溶液应即配即用。
4.2 样液制备将样品剪切成不大于5 mm×5 mm的颗粒后，称取1 g（精确至0.001 g）置于200 mL锥形瓶中，加入20 mL二氯甲烷。
待样品完全溶解后，边摇动锥形瓶边逐滴加入100 mL丙酮。
滴加完毕后将瓶内溶液摇匀，离心10 min，取上层清液旋转蒸发浓缩至近1 mL。
洁净室及相关受控环境 ——第3部分： ….. 检测方法洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法目 次前言 引言 1 范围 2 引用标准 3 术语与定义 3.1 概述3.2 空气悬浮粒子测量 3.3 空气过滤器与系统 3.4 气流 3.5 静电测量3.6 测量仪器与测量条件 3.7 占用状态 4 检测方法4.1 洁净室检测 4.2 原理 5 检测报告附件A （资料） 各种检测的选择和实施顺序 附件B （资料） 检测方法 附件C （资料） 检测仪器 文献（略）前 言国际标准化组织（ISO ）为全球各国标准化组织（ISO 成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。
ISO 的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该ISO 14644-3第一版2005-12-15Reference number ISO 14644-3:2005(E)技术委员会的工作。
国际上凡与ISO保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。
ISO在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。
国际标准草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。
技术委员会的主要任务是制定国际标准。
国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。
至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。
ISO 14644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。
ISO不对识别任何或全部这类专利权负责。
ISO 14644-3是由洁净室及相关受控环境技术委员会ISO/TC 209编写的。
ISO 14644在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分：——第1部分：空气洁净度分级——第2部分：证明一直符合ISO 14644-1的检测和监测技术条件——第3部分：检测方法——第4部分：设计、建造和启动——第5部分：运行——第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）——第8部分：空气分子污染分级正在编写的部分有：——第6部分：词汇引言洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的、对污染敏感的活动。
洁净室泄漏测试标准
洁净室泄漏测试主要参考的标准有ISO 14644-3和EN 1822-4。
ISO 14644-3是洁净室设计与建造的标准之一，其中包含了洁
净室泄漏测试的指导。
按照ISO 14644-3的要求，洁净室泄漏
测试应包括气密性测试和过滤器泄漏测试。
气密性测试需要在不同压力下对洁净室进行测试，以确保洁净室能够在正常运行条件下保持适当的气密性。
过滤器泄漏测试则是通过对洁净室过滤器进行测试，以确保过滤器能够有效地过滤空气中的微粒。
EN 1822-4是洁净室过滤器的标准之一，其中包含了过滤器泄
漏测试的要求。
按照EN 1822-4的要求，过滤器泄漏测试主要
包括了漏气测试和颗粒计数器测试。
漏气测试用于测量过滤器的泄漏率，以确定其过滤效果。
颗粒计数器测试则用于测量过滤器中通过的微粒数目，以验证过滤器的过滤性能。
以上是洁净室泄漏测试的主要标准，根据实际情况和需求，可能还会参考其他相关标准进行测试。
ISO14644第三部分引言ISO14644标准是国际上通用的净化技术和洁净室分类的依据，它为各行业的洁净室设计、建设和运行提供了方案和规范。
ISO14644第三部分是这个标准的重要组成部分，主要涉及洁净室的监测和测定方法。
本文将详细介绍ISO14644第三部分的内容和要求。
ISO14644第三部分的内容ISO14644第三部分主要包括以下几个方面的内容：1.监测项目：ISO14644第三部分列举了需要进行监测的项目，包括洁净室空气颗粒物浓度、洁净室温度、洁净室湿度、洁净室压差等。
这些项目的监测对于确保洁净室的洁净度和环境条件非常重要。
2.监测方法：ISO14644第三部分详细描述了各个监测项目的具体监测方法和测定方法。
例如，对于空气颗粒物浓度的监测，可以采用激光颗粒计数法、透射法等；对于洁净室温度的监测，可以使用温湿度传感器等。
3.监测设备：ISO14644第三部分还对监测设备的要求进行了规定。
监测设备需要具备一定的准确性和精度，以确保监测结果的可靠性和准确性。
此外，监测设备还需要进行定期的校准和维护，以保持其正常工作和准确性。
4.监测频率：ISO14644第三部分还规定了各个监测项目的监测频率。
不同的项目需要不同的监测频率，以确保对洁净室环境的监测能够及时有效。
5.监测记录：ISO14644第三部分要求对洁净室的监测结果进行记录和保存。
监测记录可以用于评估洁净室的洁净度和环境条件，并作为改进和验证的依据。
监测记录应包括监测日期、监测项目、监测结果等内容。
ISO14644第三部分的重要性ISO14644第三部分对洁净室的监测和测定方法进行了规范和要求，具有以下重要性：1.确保洁净室的洁净度：洁净室的核心目标是保持洁净度，ISO14644第三部分的要求可以帮助洁净室管理人员监测和评估洁净室的洁净度，从而确保洁净室的正常运行和产品质量。
2.提供标准化的监测方法：ISO14644第三部分规定了各个监测项目的具体监测方法和测定方法，提供了标准化的操作指南，使不同洁净室的监测结果具有可比性，方便对不同洁净室进行评估和比较。
ISO14644-中文版：洁净室设备和工具清
洁程序
简介
本文档旨在为洁净室设备和工具的清洁程序提供指南。
根据ISO标准的要求，洁净室的设备和工具需要定期进行清洁以确保工作环境的洁净度。
清洁程序
步骤一：准备工作
在清洁设备和工具之前，进行以下准备工作：
1. 检查清洁工具和材料的质量和清洁程度。
2. 根据设备和工具的要求，选择适当的清洁剂和消毒剂。
3. 确保清洁工作区域干净整洁，并拥有合适的通风系统。
步骤二：清洁设备和工具
按照以下步骤，清洁设备和工具：
1. 使用适当的清洁剂和消毒剂擦拭设备和工具的表面。
确保彻
底覆盖每个部分。
2. 使用干净的、柔软的布或海绵擦洗表面，去除污渍和残留物。
3. 重点清洁设备和工具上的隐蔽部位和死角，确保彻底清洁。
4. 如果设备和工具需要消毒，按照消毒剂的说明进行消毒处理。
5. 用清水洗净设备和工具的表面，确保没有残留的清洁剂或消
毒剂。
6. 使用干净的、柔软的布将设备和工具擦干。
步骤三：检查和记录
在清洁完成后，进行以下检查和记录工作：
1. 检查设备和工具的表面，确保没有残留的污渍或残留物。
2. 确保清洁程序符合ISO标准的要求。
3. 记录清洁日期、执行人员和检查结果。
结论
按照ISO14644标准的要求，洁净室设备和工具的清洁程序对于维护工作环境的洁净度至关重要。
通过采取适当的准备工作和清洁步骤，确保设备和工具表面的洁净度，并记录清洁过程的结果和日期，以确保清洁程序的有效性及符合标准要求。
风速和风量的具体检测方法及评定标准1、风速和风量的具体检测方法A、风量、风速检测必须首先进行。
各项净化效果都是在设计的风量、风速下获得。
B、检测前检查风机是否运转正常，必须实地测量被测风口、风管的尺寸。
C、对于单向流（层流）洁净室，采用室截面平均风速和洁净积乘积的方法确定风量。
（取离高效过滤器0.3m 垂直于气流处的截面作为采样截面，按照测试点间距不宜大于0.6m 在截面上设置不少于5 个测试点，所有读数的算术平均值作为平均风速。
）垂直单向流（层流）洁净室的测定截面取据地面0.8m～1m 的水平截面；水平单向流（层流）洁净室的测定截面取据送风面0.5m～1m的垂直截面；截面上测试点数量应不少于10 个，间距不应大于2m，均匀布置；D、对于安有过滤器的风口，以风口截面平均风速和风口净截面积的乘积确定风量。
（在风口截面或引用辅助风管的截面上按不少于6 个均匀布置的测试点得出平均风速。
）E、对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时，可以用风管法确定风量。
（在出风口前不小于3 倍管径或3 倍大边长度处打孔；）F、对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形，边长不大于200mm，测试点位于小截面中心，但整个截面上不宜少于3 个测试点；对于圆形风管，应按等面积圆环法划分测定截面和确定测试点数；在风管外壁上开孔，插入热式风速计探头或皮托管。
（通过测动压，换算为风量。
）2、风速和风量的评定标准（1）、对于乱流洁净室：A、系统得实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%；B、总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%；C、室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%；（2）、对于单向流（层流）洁净室：A、实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过20%；B、总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%；（3）、新鲜空气量：洁净室（区）内应保持一定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中的最大值A、非单向流洁净室（区）总送风量的10%～30%，单向流洁净室（区）总送风量的2%～4%；B、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；C、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3 ；3、相关标准数据净化空调系统，根据室内容许噪声级要求，风管内的风速：总风管：6～10m/s；无送、回风口的支风管：4～6m/s；有送、回风口的支风管：2～5m/s※为保证空气洁净度等级的送风量，制药洁净室按下表相关数据进行计算：洁净度等级（ISO14644-1）气流流型平均风速（m/s）单位面积送风量（m3/㎡·h）应用实例2 U0.3～0.5—光刻、半导体工艺区；3 U0.3～0.5—工作区、半导体工艺区；4 U0.3～0.5—工作区、多层掩膜工艺、密盘制造、半导体服务区、动力区；5 U0.2～0.5—6M0.1～0.3—动力区、多层工艺、半导体服务区；N 或M—70～1607N 或M—30～70服务区、表面处理；8N 或M—10～20服务区U：单向流N：非单向流M：混合流（单向流和单向流的组合流型）医院中，采用空调的手术室、产房工作区和灼伤病房的气流速度宜≤0.2m/s；核医学科的通风柜应采用机械排风，排风口的风速应保持1m/s 左右；生物实验室用生物安全柜与排风系统得连接方式：生物安全柜级别工作口平均进风速度（m/s）循环风比例（%）排风比例（%）连接方式Ⅰ级0.38 0 100 密闭连接Ⅱ级A10.38～0.5070 30可排到房间或设置局部排风罩A2 0.50 70 30可设置局部排风罩或密闭连接B1 0.50 30 70 密闭连接B2 0.50 0 100 密闭连接Ⅲ级—0 100 密闭连接4、出具测试报告测试报告应包含如下内容：a、测试单位的名称与地址、测试人名称、测试日期、数据采集系统得名称；b、所参考的测试标准的编号与版本日期，如ISO 14644-3：2002；c、所测设施名称及毗邻区域的名称及测试点的座标；d、测试类型与测试条件；e、指定的性能标准，包括占用状态；f、所采用的测试方法；g、测试结果；h、所参考的测试标准对特定测试所规定的其他具体要求；5、适用仪器：。
《中国最新洁净度标准技术变化解读》学习➢ISO14644 洁净区标准分类、界定、测试、验收的国际权威标准：1.ISO14644-1采用粒子浓度进行洁净分级--上一版本是1999版，目前最新版本是2015版;2.ISO14644-2进行检测仪采用颗粒浓度提供与空气洁净度相关的洁净室性能证据--上一版本是2000版，目前最新版是2015版；3.ISO14644-3测试方法—上一版本2005版，目前最新版2019版；4.ISO14644-4 洁净室设计、建设和启用--最新版本是2001版；5.ISO14644-5 洁净室运行--最新版本2004版；6.ISO14644-6 洁净室术语—最新版本2007版；7.ISO14644-7 隔离装置（洁净通风橱、手套箱、隔离器和微环境）--最新版本2004版；8.ISO14644-8 空气中分子污染的分类—最新版本2006版；9.ISO14644-9 表面粒子洁净度分级—最新版本2008版；10.ISO14644-10 采用化学物质浓度对表面洁净度分级—最新版本2013版；11.ISO14644-11 洁净室设备和物料的适用性评估—目前还处于草案状态；12.ISO14644-12 空气洁净度监控标准—最新版本是2018版；13.ISO14644-13 清洁表面以在颗粒和化学分类方面达到规定的清洁度—最新版本是2017版；14.ISO14644-14 通过空气中颗粒物浓度评估设备适用性—最新版本2016版；15.ISO14644-15 通过空气中颗粒物浓度评估设备和材料的适用性—最新版本2017版；➢GB25915.1-2021版最新版，参考ISO4644-1 2015版)----（GB50073洁净厂房设计规范，GB50457医药洁净厂房设计规范）1．GB25915 VS 14644-1-2015,MODMOD: 修改采用modifiedIDT: 等同采用indenticalEQV: 等效采用equivalentNEQ: 非等效采用no equivalent2. 修改了规范性附录A中的公式（A.1）。
洁净室及相关受控环境 —— 第3部分： ….. 检测方法ISO 14644-3 第一版2005-12-15 Reference number ISO 14644-3:2005(E) 国际标准 INTERNATIONAL STANDARDCopyright International Organization for StandardizationProvided by IHS under license with ISO No reproduction or networking permitted without license from IHS洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法目次前言引言1 范围2 引用标准3 术语与定义3.1 概述3.2 空气悬浮粒子测量3.3 空气过滤器与系统3.4 气流3.5 静电测量3.6 测量仪器与测量条件3.7 占用状态4 检测方法4.1 洁净室检测4.2 原理5 检测报告附件A（资料）各种检测的选择和实施顺序附件B（资料）检测方法附件C（资料）检测仪器文献（略）前言国际标准化组织（ISO）为全球各国标准化组织（ISO成员）的联合会，国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。
ISO的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，它就有权参加该技术委员会的工作。
国际上凡与ISO保持联系的政府的或是非政府组织，均可参与此项工作。
ISO在电气技术标准化的各项事宜中，与国际电气技术委员会（IEC）进行紧密合作。
国际标准草案是按照ISO/IEC指导条例第2部分的法则制定的。
技术委员会的主要任务是制定国际标准。
国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅，以待表决。
至少需要75%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。
ISO 14644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。
ISO不对识别任何或全部这类专利权负责。
ISO 14644-3是由洁净室及相关受控环境技术委员会ISO/TC 209编写的。
ISO 14644在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分：——第1部分：空气洁净度分级——第2部分：证明一直符合ISO 14644-1的检测和监测技术条件——第3部分：检测方法——第4部分：设计、建造和启动——第5部分：运行——第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）——第8部分：空气分子污染分级正在编写的部分有：——第6部分：词汇引言洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平，以完成相关的、对污染敏感的活动。
下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制：航天、微电子、制药、医疗器械、食品和医疗。
本部分ISO 14644说明的检测方法，可用于说明ISO 14644其它部分中所述的洁净室的特性。
注：本部分ISO 14644并未包括所有洁净室参数的检测方法。
ISO/TC 209编制的其他文件中讨论了有特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器（例如ISO 14698中对活物质的控制和测量方法，ISO 14644-4中的洁净室功能性检测，ISO 14644-7中的隔离装置检测）。
此外还可以考虑其他的适用标准。
本部分ISO 14644中的陈述参照了ASTM，CEN，DIN，IEST，JACA，JIS和SEMI 等标准。
洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法注意–本部分ISO 14644的应用可能涉及有害的材料、作业和设备。
本部分ISO 14644未提及所有与其使用有关的安全性问题。
因此，使用本标准时，客户应负责制定适当的安全和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的适用性。
1 范围本部分ISO 14644规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测方法和测定洁净室和洁净区性能特性的检测方法。
这种特性检测可用在3种状态（空态、静态、动态）下的、单向流和非单向流这两种类型的洁净室和洁净区。
检测方法中有检测仪器和检测方法方面的建议。
如果洁净室和洁净区的类型影响到检测方法，则有其他检测方法的建议。
其中的某些检测，则建议了几种不同的方法和仪器，以便适合于不同的最终使用要求。
如果客户与建造商一致同意的话，可以使用本部分的ISO 14644中未包括的方法。
替代方法不一定会提供等效的测量结果。
本部分ISO 14644不适用对洁净室或隔离装置内产品或工艺进行的测量。
2 引用标准下列引用标准对本文件的使用是不可或缺的。
标有日期的引用标准，只有该引用的版本适用。
没标有日期的引用标准，则其最新版本的规范性文件（包括任何修正版）适用。
ISO 7726:1998，热环境人机工程学-物理量测量仪ISO 14644-1:1999，洁净室及相关受控环境-第1部分：空气洁净度分级ISO 14644-2:2000，洁净室及相关受控环境-第2部分：证明一直符合ISO1 4644-1的检测和监测技术条件ISO 14644-4:2001，洁净室及相关受控环境-第4部分：设计、建造和启动3 术语和定义本部分ISO 14644采用的术语和定义如下。
3.1 普通3.1.1 洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可最大限度减少房间内进入的、产生的、滞留的粒子，房间内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。
[ISO 14644-1:1992, 2.1.1]3.1.2 洁净区clean zone空气悬浮粒子浓度受控的专门空间，其建造和使用方式可最大限度减少区内进入的、产生的、滞留的粒子，区内温度、湿度和压力等其他相关参数按要求受控。
注：洁净区可以是开放式的也可以是封闭式的，可以位于或不在洁净室内。
[ISO 14644-1:1992, 2.1.2]3.1.3 洁净室设施installation带有全部维护结构、空气处理系统、服务设施、公用设施的洁净室或洁净区。
[ISO 14644-1:1992, 2.1.3]3.1.4 隔离装置separative device采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离水平的设备。
注：某些产业用隔离装置有：层流罩（洁净工作台）、隔离密封空间、手套箱、隔离器、微环境。
3.2 空气悬浮粒子测量3.2.1 气溶胶发生器aerosol generator能以加热、液压、气动、超声波音频、静电等方式生成浓度恒定、粒径范围适当（例如0.05 µm至2 µm）的微粒物质的仪器。
3.2.2 空气悬浮粒子airborne particle悬浮在空气中的、粒径从1纳米到100微米的活的或非活的固态或液态粒子。
注1：针对ISO 14644-3。
分级方面见2.103。
注2：摘自ISO 14644-3:2005, 3.2.2。
3.2.3 数量中径count median particle diameter （CMD）根据粒子数量得出的粒径中值。
注：粒径中值即一半的粒子粒径小于数量中值，一半的粒子粒径大于数量中值。
3.2.4 大粒子macroparticle当量直径大于5 µm的粒子。
[ISO 14644-1:1992, 2.2.6]3.2.5 M描述符M descriptor规定的或测得的每立方米空气中大粒子的浓度，以所用测量方法特性确定的当量直径表示。
注：M描述符可以作为采样点平均浓度的上限（或按照洁净室或洁净区中采样点的数量作为置信上限）。
不能使用M描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但M描述符既可单独引述，也可与悬浮粒子洁净度等级同时引述。
[ISO 14644-1:1992, 2.3.2]3.2.6 质量中径mass median particle diameter （MMD）根据粒子质量得出的粒子直径中值。
注：质量中径即全部粒子质量的一半小于质量中径，另一半大于质量中径。
3.2.7 粒子浓度particle concentration单位空气体积中粒子的个数。
[ISO 14644-1:1992, 2.2.3]3.2.8 粒径particle size在指定的粒子尺寸测定仪上，有相当于被测粒子的响应的球体的直径。
注：光散射离散粒子计数器在粒子计数中使用的则是当量光学直径。
[ISO 14644-1:1992, 2.2.2]3.2.9 粒径分布particle size distribution粒子浓度的累积分布，它是粒径的函数。
[ISO 14644-1:1992, 2.2.4]3.2.10 检测气溶胶test aerosol具有已知浓度与受控的粒径分布的固体和（或）液体粒子的气态悬浮物。
3.2.11 U描述符U descriptor每立方米空气中测出的或规定的粒子包括超微粒子浓度。
注：可将U描述符作为采样点平均值上限（或作为置信上限，依洁净室或洁净区测量时所用的采样点数量确定）。
不能用U描述符规定悬浮粒子洁净度等级，但它可与悬浮粒子洁净度等级同时引述，也可以单独引述。
[ISO 14644-1:1992, 2.3.1]3.2.12 超微粒子ultrafine particle当量直径小于0.1 µm的粒子。
[ISO 14644-1:1992，2.2.5]3.3 空气过滤器与系统3.3.1 气溶胶检测aerosol challenge用检测气溶胶对过滤器或已安装在位的过滤器系统进行检测。
3.3.2 规定渗漏designated leak客户与建造商商定的最大允许穿透限值。
用离散粒子计数器或气溶胶光度计对洁净室设施进行扫描时可检测到的渗漏。
3.3.3 稀释系统dilution system按已知容积比将进入的气溶胶与无粒子空气混合以降低气溶胶浓度的系统。
3.3.4 过滤器系统filter system由过滤器、框架及其他支撑装置或外壳所组成的系统。
3.3.5 终端过滤器final filter处在于空气进入洁净室前终端位置上的过滤器。
3.3.6 安装就位的过滤器系统installed filter system安装在天花板、墙壁、风管或设备上的过滤器系统。
3.3.7 过滤器安装后检漏installed filter system leakage test为确认过滤器安装良好、没有向洁净室设施的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。
3.3.8 渗漏leak （过滤器系统）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。
3.3.9 扫描scanning用气溶胶光度计或离散粒子计数器的采样管、采取重叠的行程移过规定的检测）区、以发现过滤器渗漏的方法。
3.3.10 “标准”渗漏率standard leak penetration离散粒子计数器或气溶胶光度计的采样管停留在渗漏处以标准采样流量测得的渗漏率。
注：穿透率是过滤器下风向粒子浓度与上风向浓度之比。
