《半导体物理与器件》教学大纲
一、课程基本信息
1、课程代码:ES332
2、课程名称(中/英文):半导体物理与器件/Semiconductor Physics and Devices
3、学时/学分:63学时/3.5学分
4、先修课程:量子力学(薛定谔方程,电子的量子状态);统计物理(费米-狄拉克统计,波尔兹曼分布);固体物理(晶格结构,能带理论);电路原理(基本的电子电路)
5、面向对象:电子科学与技术、微电子学、应用物理、半导体材料等专业本科生。
6、开课院(系)、教研室:电子工程系
7、教材、教学参考书:
《Semiconductor Physics and Devices: Basic Principles》,D. A. Neamen,清华出版社,2003
《半导体器件基础》,R. T. Pierret著,黄如等译,电子工业出版社,2004
《半导体物理学》,刘恩科、朱秉升、罗晋生等,西安交通大学出版社,2004
《半导体物理学》,黄昆、谢希德,科学出版社,1958
《量子力学》,曾谨言,科学出版社,1981
《固体物理学》, 谢希德、方俊鑫,上海科学技术出版社,1961
二、课程的性质和任务
本课程是电子科学与技术、微电子学等专业的理论基础课,也是其他相关专业的重要选修课之一。本课程较全面地论述了半导体的一些基本物理概念、现象、物理过程及其规律,并在此基础上选择目前集成电路与系统的核心组成部分,如双极型晶体管(BJT)、金属-半导体场效应晶体管(MESFET)和MOS场效应晶体管(MOSFET)等,作为分析讨论的主要对象来介绍半导体器件基础。学习和掌握这些半导体物理和半导体器件的基本理论和分析方法,为学习诸如《集成电路工艺》、《集成电路设计》等后续课程打下基础,也为将来从事微电子学的研究以及现代VLSI与系统设计和制造工作打下坚实的理论基础。
本课程涵盖了量子力学、固体物理、半导体材料物理以及半导体器件物理等内容,共分为三个部分。第一部分介绍基础物理,包括固体晶格结构、量子力学和固体物理等相关知识;第二部分介绍半导体材料物理,主要讨论平衡态和非平衡态半导体以及载流子输运现象;第三部分介绍半导体器件物理,主要讨论同质p-n结、金属半导体接触、异质结以及BJT、MOSFET、MESFET等几种核心半导体器件。