(S1 - S2 ) =
A0
或:d =
A0 V0 Vd
V0 d A0
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三、扫描镜电流计测径
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四、位相调制扫描测量技术
影响激光扫描测量精度的主要因素: 工件边缘的衍射现象
衍射使被测工件的边界模糊,用时间脉冲计数 时,必然引人误差,使前述的光点扫描测量精度 限制在士0.01 mm。 位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工 件,通过测量位相,而不是测时间来获得被测件的 尺寸,测量精度可达士1 um,适合于各种高温、高 压下做非接触高精度现场测量。
• 近在工件外形尺寸测量中得到广泛应用,应用最 多的是侧量线材直径。
• 其原理: 用一束平行光以恒定的速度扫描线材,并由放在
线材对面的光电接收器接收,投射到光电接收器 上的光线在光束扫描线材时被遮断,所以光电接 收器输出的是一个方波脉冲,脉冲宽度与线材直 径成正比。
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一、转镜扫描测径
L =ct =c = (m m) 2f
若测量出某一时刻的相位,则测出 波通过的距离
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为方便测量出相位变化,一般采用反射式
2L = (m m)
则
L = (m m) =Ls (m m) 2
实际上: 1. cos为2π周期的函数,
不能直接测出m的变化量 2. 一般的检相电路,只能检
出0-2π之间的相位变化
2)测量为CCD1与CCD2输出电压的比值,因此两CCD 参数尽量一致, 其物理参数尽量一致的同时,曝光时间、 采样间隔应严格同步
3)由于求频率是由鉴频器的特性决定, 鉴频器应该 恒压、恒温措施
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§6.2 激光扫描测径技术