应用光学_非球面.
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大口径非球面误差拼接检测方法1 前言非球面光学元件,是指面形由多项高次方程决定、面形上各点的半径均不相同的光学元件[1]。
非球面镜属于特殊表面,它具有许多独特的性质。
光学非球面元件相比球面而言,能提高光学系统的相对口径比,因此可简化结构,同时非球面能消除球面元件在光传递过程中产生的球差、慧差、像差、场曲等不利影响,减少光能损失,从而获得高质量的图像效果和高品质的光学特征[2]。
当前非球面广泛应用在航天航空、国防、天文、医疗以及光电等高技术领域,其中大口径光学非球面元件( 400 mm 以上) 在激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、卫星用光学系统、大型天文望远镜、医疗影像设备等国家重大光学工程及国防尖端技术中需求急速增长,而中小型非球面更多应用于民用光电产品领域,作为信息传递的关键组件,在计算机、光通讯、手机、数码照相机以及视听设备等各种最新的电子产品中,起着极其重要的作用[3-5]。
随着超精密磨削加工技术的不断发展,光学元件正在向小型高精度化和大型高精度化方面快速发展[6-8]。
随着光学元件的设计与制造技术的发展与应用,对大尺寸光学元件的加工与检测提出了更高的要求,然而高精度非球面光学元件的加工与检测技术一直以来都是光学制造业的技术难点,尤其是大口径高精度非球面,其半精加工、精加工、抛光等各加工阶段的检测技术制约着加工精度和效率的提高[9]。
为满足大口径非球面的测量,国内外相继出现了一些中小口径非球面检测仪器测量大口径非球面的拼接检测方法,目前主要有子孔径拼接干涉法和基于三坐标测量的轮廓拼接技术。
这两种技术的测量原理都是将大口径非球面划分为若干个具有重合部分的轮廓段进行测量,由于重合部分的面形在非球面的测量过程中是没有发生变化的,因此可以利用轮廓段之间的重合部分,推导出两段轮廓的拼接变换矩阵,然后以其中一段轮廓坐标系作为基准,运用该变换矩阵将其他轮廓段的坐标系经过旋转、平移至与基准轮廓的坐标系重合,以实现拼接。
数控加工光学非球面技术的研究The Aspheric optics processing technologystudies CNC摘要自从非球面加工技术出现以来,至今几百年来采用的加工方法已有50多种,传统的加工方法虽然能达到较高的精度,但这种加工方法加工效率低、重复精度差。
在最近几年出现的数控加工光学非球面技术大大解决了传统加工方法存在的缺陷。
它提高了加工精度和加工质量、缩短了产品研制周期等。
在诸如航空工业、汽车工业等领域有着大量的应用。
由于生产实际的强烈需求,国内外都对数控加工技术进行了广泛的研究,并取得了丰硕成果。
本文将简单的介绍一些非球面和数控机床的理论知识,传统加工非球面技术。
最后重点介绍数控加工光学非球面技术。
关键词: 数控加工非球面抛光技术计算机控制ABSTRACTSince the emergence of non-spherical processing technology ,about 50 methods in the optical processing have been used. Although traditional processing methods can achieve high accuracy, this processing method has processing inefficiency and poor repeatability precision . In recent years the NC aspheric optics technology greatly solve the traditional processing methods flawed. It improves processing accuracy and processing quality, and shorten the product development cycle and so on. A large number of applications has been found in some areas such like the aviation industry, and the auto industry. Because of the strong demand, Home and Abroad are on the NC machining techniques for a wide range of research, and achieved fruitful results.This paper will briefly introduces some technology of the Non-spherical and NC machine tools and the traditional processing.And highlights NC aspheric optical processing technology in the last part.Keywords : CN Aspheric optics Polishing Technology CCOS目录第一章绪论 (1)1.1研究的目的和意义 (1)1.2国内外发展现状 (1)第二章非球面的理论基础 (3)2.1非球面的优缺点 (3)2.2非球面的数学表达式 (3)2.3非球面的加工方法 (4)2.4传统加工非球面技术 (5)2.5光学非球面的检验 (7)第三章数控机床的介绍 (10)3.1数控机床的发展概况 (10)3.2数控机床的结构和特点 (10)第四章非球面的数控加工技术 (14)4.1常见的计算机控制抛光技术 (14)4.2计算机数控研磨和抛光技术 (15)4.3数控抛光技术中工艺参数选择 (19)4.4数控加工技术的检验 (20)4.5阴影法检验非球面 (22)4.6数控加工非球面实例 (23)结论 (25)参考文献 (26)致谢 (27)第一章绪论1.1研究的目的和意义自从1638年法国学者笛卡儿第一个提出凸面是椭圆面,凹面是球面的无球差非球面透镜,各国公司都进行了大量的非球面透镜技术研究和开发,但加工精度不高。
文章编号: 1002- 2082 (2002) 05- 0042- 04光学非球面元件非球面度计算方法杜玉军, 任海霞, 刘中本(西安工业学院光电科学与工程系, 陕西 西安 730012)摘 要: 详细介绍光学非球面元件非球面度计算的牛顿迭代法、近似法、最小二乘法 3 种方法, 并根 据工程实践比较了 3 种方法的优缺点, 得出了工程应用中的结论: 近似法适用于一些相对孔径较小的 非球面, 否则误差会较大; 牛顿迭代法的精度较高, 但计算量大也最复杂, 且不能直接得到最接近参考 圆的圆心位置坐标; 最小二乘法的计算方法简单, 不涉及求导、积分、迭代, 适合编写计算程序, 且可直 接得到最接近参考圆的圆心位置坐标。
关键词: 非球面; 非球面度; 最接近参考球面 中图分类号: TN 205- 文献标识码: A32引言对于一些相对口径较小的二次非球面 (即 最接近参考球面的曲率半径 R 远远大于非球 面口径D ) , 在适当的近似下, 利用最小二乘法 直接求解 R 和 ∃。
下面以二次抛物面为例, 进 行详细推导。
抛物面方程为在光学非球面元件加工时, 一般都是先加 工出与该非球面元件的最接近参考球面, 然后再根据各点对该球面的偏离量( 即非球面度) 加工出非球面。
在非球面元件的测量中, 有时 仅能测出非球面面形相对于最接近参考球面 的偏离量, 然后把设计值与最接近参考球面的 差值相比较。
因此, 由非球面的设计值计算出 与非球面的最接近参考球面的曲率半径及各 点的非球面度, 对于非球面的加工和测试都是 必需的。
本文介绍了 3 种根据非球面设计值计 算最接近参考球面及非球面度的方法。
最后给 出一个计算实例。
本文采用波面拟合的方法求 得非球面面形相对于最接近参考球面的偏差, 用数学方法计算出最接近参考球面的曲率半 y 2+ z 2= 2p x(1)其中, p 为抛物面 2 倍焦距。
最接近参考球面 方程可设为y 2 + z 2 = R 2- R ) 21- 1 (x - ∃- (2)R > 0R < 0令 Θ2 = y 2 + z 2, si gn (R ) =则非球面 x (Θ) = Θ2/2p 与最接近参考球面W 1(Θ) 的差可由 (1)、(2) 式解得W 1 (Θ) = Θ2/2p - R - ∃ + si gn (R ) R 2 - Θ2(3)径 R 和该参考球面顶点相对于非球面顶点的 所谓最接近参考球面, 指的是与非球面之差的平方和为最小的球面。