AIXTRON和VEECO的MOCVD型号及产能总结ppt课件
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一文看懂MOCVD据麦姆斯咨询报道,美国专利商标局(USPTO)本周二授予了苹果公司(Apple)一项有关压力传感器的专利,未来苹果可能使用Face ID的VCSEL(垂直腔面发射激光器)技术,改进未来iPhone的3D Touch功能。
两年前,苹果手机曾发布3D人脸识别功能,将VCSEL技术带入了公众视野。
这是继2017年后,第二次苹果将VCSEL技术推向台前。
MOCVD是VCSEL的关键过去,VCSEL主要作为一种低成本运动跟踪和数据传输的光源技术用于计算机鼠标、激光打印机和光纤通信。
1996年,VCSEL首次被应用了到光通信中,尤其在短距离光通信领域,850 nm VCSEL成为了理想的光源之一。
而后,3D人脸识别出现,为940 nm VCSEL的发展提供了契机。
至此,由以光通信为主的850 nm慢慢转向以应用于消费级设备为主的940 nm。
除此之外,人们还发现在AR、VR、汽车智能辅助驾驶和人工智能等应用场景下,VCSEL也有极其优越的表现。
其中,具有更高功率要求的激光雷达等汽车应用,需要使用更大的VCSEL阵列。
但是,VCSEL的制造工艺非常复杂,尤其依赖于MOCVD(金属有机物气相沉积)工艺。
Veeco产品营销总监Mark McKee认为:“发展VCSEL技术,需要采购更多的金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统,以保证制造产能加速跟上激光雷达系统的需求。
现在的问题是如何实现最高的性能和最高的产率以满足市场需求。
而这需要基于业界领先的MOCVD技术。
”可见,MOCVD技术对于VCSEL发展的重要性。
那么,MOCVD 是什么?什么是MOCVD?MOCVD是1968年由美国洛克威公司的manasevit等人提出制备化台物单晶薄膜的一项新技术,到80年代初得以实用化。
从定义上来看,MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。
在金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术中,反应气体在升高的温度下在反应器中结合以引起化学相互作用,将材料沉积在基板上。
VEECO、Aixtron明争暗斗发力亚洲市场我们先来看下两家MOCVD设备巨头刚出炉的三季度报:VEECO Instruments 2010年前三季度的营收达6.33亿美元,与2009年同期相比增长270%,其中MOCVD业务营收占87%;Aixtron 2010年前三季度的营收达5.59亿欧元,较去年同期增长202%。
正是去年2季度开始的全球LED外延领域的“军备竞赛”让这两家分别位于美国和德国的企业在2010年赚得是盆满钵满。
■ 2009-2011年两大厂商MOCVD产能数据来源:GLII市场调研数据汇总新一代设备角逐市场份额2008年VEECO的全球市场占有率只有20%,然而2009年超乎预期的设备需求使得原本有些随遇而安、独守自己一亩三分地的VEECO意识到MOCVD市场巨大的需求规模,于是一场抢单大战一触即发。
说起市场占有率的争夺无外乎价格、出货量和新产品。
显然在价格和出货量上两家公司达成了某种共识,于是产品技术的较量率先上演,今年初两家公司不约而同推出自己的最新旗舰产品。
VEECO推出的TurboDisc® K465i™,很快获得业内的认可并实现量产。
VEECO大中华区经理王克扬自豪地向GLII表示,K465i确实有不俗的表现力,以K家族平台为基础,使用新材质的加热器,延长使用寿命,并简化气体控制系统,提升机台稳定度,例行维护后在很短的时间内即可继续生产动作,增加生产效率。
或许正是这一款机型超出以往优异的性能,让VEECO能在中国市场快速脱颖而出。
士兰明芯总经理江忠永认同VEECO的K465i:“业界对这台机器有良好的评价,优秀的系统设计和卓越的性能。
我们相信VEECO的MOCVD是LED量产的又一个明智的选择。
与VEECO合作,我们希望稳步提升产量。
”■ VEECO用于量产HB-LED的新型TurboDisc K465i GaN MOCVD设备真明丽控股有限公司生产总监叶国光表示,选VEECO的K465i,是因为看中其在实际操作中的高产能,同时VEECO最近提升了其均匀性和可重复性。