超净车间各岗位操作标准
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电尘、电除雾岗位操作规程范本一、岗位概述电尘、电除雾岗位是指负责在工业生产过程中利用电静力原理对空气中的尘埃、颗粒物等进行清除的操作人员。
岗位的工作内容包括电尘设备的操作、监控和维护,以及相关安全措施的执行和岗位纪律的遵守。
为确保岗位操作的安全、高效和符合规范,制定本操作规程范本。
二、岗位职责1. 负责电尘设备的操作和监控,按照工艺参数和操作规程,合理调节设备运行状态,确保设备的正常运行。
2. 定期巡视设备,及时发现设备异常情况,如异响、漏电等,立即报告主管,并采取相应的措施进行处理,确保设备的安全运行。
3. 按照操作规程,合理控制各项参数,如气体流量、电压、电流等,确保设备的高效运行和清除效果。
4. 负责设备的维护和保养,定期进行设备检修,清洗过滤器、电极等部件,保持设备的良好状态。
5. 配合监控人员进行设备运行数据的监测和记录,提供可靠的数据支持,为工艺调整和设备改进提供参考依据。
6. 配合安全人员进行现场安全巡查,遵守各项作业规范和安全程序,确保岗位操作的安全性。
三、操作程序1. 工作前准备1.1 在操作设备之前,必须进行安全检查,确认设备电源已经切断,开关已经关闭,并且设备没有残余电流。
1.2 穿戴符合规范的工作服和防护用具,包括防护眼镜、防护口罩、耐酸碱手套等。
1.3 检查并确认各项参数是否符合规范要求,如气体流量、电压、电流等,如有异常情况,必须及时进行处理和调整。
2. 正常操作流程2.1 打开设备电源,并按照操作规程要求进行设备预热,达到设定温度后方可进行正常工作。
2.2 根据工艺参数要求,调节设备的运行状态,包括电压、电流调整,气体流量控制等。
2.3 监控设备运行情况,确保设备正常运行,如发现异常情况,立即采取措施进行处理,并报告主管。
2.4 定时巡视设备,检查设备运行情况和各项参数,如发现异常情况,及时处理或报告主管。
2.5 在设备运行结束后,及时关闭设备电源,并进行设备冷却,确保设备正常停机。
煤气净化车间岗位技术操作规范煤气净化车间是一个重要的生产环节,工人在其中负责煤气净化设备的操作和维护。
为了确保操作的安全和效率,制定一套岗位技术操作规范十分必要。
以下是针对煤气净化车间的岗位技术操作规范的一个参考,总计1200字以上。
一、岗位职责1.煤气净化设备的检查、维护和操作。
2.检查煤气净化设备的运行状态,及时发现并处理异常情况。
3.负责设备的定期维护和保养,确保其正常运转。
4.按照工艺要求进行操作,确保质量和产量。
二、安全操作规程1.在开始操作前,必须戴上安全帽、工作服、手套和防护眼镜等必需的安全装备,确保自身安全。
2.确保煤气净化设备的开关和控制面板处于关闭状态,操作前必须进行检查。
3.在操作设备时,必须严格按照操作规程进行,不得随意改变操作参数和工艺流程。
4.在操作中发现异常情况或设备故障时,必须立即上报,并采取相应的措施予以处理。
5.在操作过程中,严禁擅自操作非本岗位的设备,如果需要调整或操作其他设备,必须得到相关负责人的授权和指导。
6.在设备维护时,必须先切断电源或关闭阀门,确保人身安全。
三、设备操作规范1.在操作前,必须了解设备的结构和基本原理,掌握设备的使用方法。
2.按照工艺要求,合理调整设备的操作参数,确保设备的正常运行。
3.在设备的投料和放料过程中,必须按照标准操作程序进行,严禁随意抛掷和溅洒物料。
4.保持设备的清洁和整洁,避免杂物和灰尘进入设备,影响设备的正常运行。
四、设备维护规范1.定期检查设备的运行状态,及时发现并处理设备故障。
2.清理设备的积存物,保持设备的通畅和正常运转。
3.定期更换设备的易损件,确保设备的稳定性和长寿命。
4.配合维修人员进行设备维护和检修,提供必要的协助。
五、操作记录和报告1.每次操作前必须填写操作记录表,详细记录操作过程中的关键参数和注意事项。
2.发现异常情况或故障时,必须立即填写设备异常报告,上报相关负责人。
3.试运行结束后,必须填写运行情况报告,总结经验和教训,为下一次操作做好准备。
烟气净化岗位操作规程范文1.安全操作规范(1)严格遵守安全生产规章制度,严禁超负荷操作。
(2)穿戴好防护装备,包括工作服、安全帽、防护眼镜和口罩等。
(3)熟悉烟气净化设备的工作原理和操作要求,严禁未经培训和授权的人员进行操作。
(4)定期检查设备的完好性和安全性,发现问题及时上报。
(5)使用工具和设备时,要确保其正常工作状态和操作安全。
(6)注意排放烟气的温度和压力,确保不会对工作环境和操作人员造成危害。
(7)禁止私自调整设备的参数和工作方式,必要时需找到专业人员进行维护和调试。
(8)发现设备异常情况时,立即停止操作并上报,等待专业人员进行检修。
2.操作流程规范(1)在进行烟气净化操作前,首先要进行设备检查,检查设备的电源、水源和气源等是否正常。
(2)根据工艺要求,检查各项指示参数,确保设备参数处于合适的范围内。
(3)根据烟气净化工艺,操作主控制系统,调整设备参数。
要严格按照操作指南进行操作,不得随意更改参数。
(4)开启设备后,密切关注设备运行情况,观察烟气净化效果。
(5)定期抽取样品进行分析,检查烟气净化效果是否合格。
(6)根据需要,对设备进行维护和保养,及时清洗过滤器和更换耗材。
(7)操作结束后,关闭设备,切断电源和水源。
3.设备维护规范(1)定期对设备进行检查和维护。
清洗设备表面,清理设备周围的杂物和灰尘。
(2)检查设备运行是否正常,观察是否有异常现象,如噪音、漏水等。
(3)定期更换耗材,如滤芯、活性炭等。
(4)保持设备通风和散热良好,确保设备正常运行。
(5)定期检查设备的电路和接线,确保电路安全可靠。
(6)对设备进行润滑和防锈处理,延长设备寿命。
(7)定期清洗和消毒设备,保持设备清洁卫生,防止污染。
(8)定期对设备进行检测和校准,确保设备参数的准确性和稳定性。
4.应急处理规范(1)熟悉各类应急处理设备的位置和使用方法,如灭火器、洗眼器等。
(2)在紧急情况下,迅速切断设备的电源和气源,采取适当的应急措施,保护自身和周围员工的安全。
1.上岗前要穿戴好个人劳动防护用品,进行安全“三确认”。
操作时,务必戴好安全帽,护目镜。
2.开炉前检查电路、水路,一切正常后方可作业,配电室地面严禁积水。
3.炉料要保持干燥,严禁混入易爆物品。
密封容器严禁入炉,管料入炉,口朝外,管口不得对人。
4.原料经预热后缓慢加入炉内,操作者应站在炉口侧面,脸部避开炉口。
5.前炉坑严禁积水、潮湿,一旦有水即将停产清净,潮湿处盖干炉渣。
6.出铁嘴应修光滑,炉台、人行道保持畅通。
7.炉膛烧损层不得超过工艺规定,否则应停产修补。
8.打渣时,严禁用潮湿的冷铁棒打渣,防止铁水飞溅伤人。
9.工作完毕,及时清理作业现场,保持一个良好的作业环境。
1.劳保穿戴是否齐全,身体状况是否良好。
2.上岗前检查设备周围是否有异物,物品摆放是否稳固,人行通道是否畅通。
3.中频炉、电弧炉水路是否畅通,水泵是否正常。
4.中频炉调位电位器是否放在零位。
5.倾炉动作是否正常完好。
6.电弧炉自动保护装置是否齐全完好,送电线是否带电抗。
7.炉坑是否有积水。
1.作业前应穿戴好劳动保护用品,戴好安全帽、护目镜。
2.浇包须经烘烤,扒渣、挡渣工具须预热干燥。
3.铁(钢)水包要放平稳,盛铁(钢)水不得过满,高度距边缘 60mm 以下,剩余铁(钢)水,不许乱倒。
(如倒在坑内,不能用砂子蒙盖,防止误踏伤人)。
4.浇铸大型铸件要专人扒渣、挡渣、引气,以免发生爆炸事故。
5.用天车运送铁(钢)水,必须专人指挥,吊运前必须插好保险卡,不能从人头上通过。
6.浇铸时,严禁从冒口观察铁 (钢)水,浇包的对面不许站人,以防铁 (钢) 水喷出伤人。
如果发生跑火,要用铁锹取沙和用泥阻塞。
7.浇铸高砂箱铸件时,操作人员要站稳,超过一米高的大型铸件应在地坑中浇铸,以免漏箱时发生烫伤。
8.扒渣、挡渣不许用空心棍,不许将扒渣混倒着放和随地方。
9.铸钢浇铸过程中,如果塞杆塞不住等故障,必须由浇铸工一人负责正确处理,其余人员迅速避开。
1.劳保穿戴是否齐全,身体状况是否良好。
粉尘岗位操作规程
《粉尘岗位操作规程》
一、目的
为了保障岗位操作人员的健康和安全,规范粉尘岗位的操作流程,特制定本规程。
二、适用范围
本规程适用于所有从事粉尘岗位操作的人员。
三、岗位操作流程
1. 穿着防尘服和防尘口罩,戴上防护眼镜和手套。
2. 在进入操作区域前,必须先进行安全培训和操作规程的学习,了解操作设备的工作原理和操作方法。
3. 在操作前,要对设备进行检查,确保设备正常运转。
4. 操作过程中,要保持操作环境的清洁和整洁,防止粉尘堆积。
5. 操作完成后,及时清理工作区域,保持设备的清洁和整洁。
四、安全注意事项
1. 操作人员在操作过程中要严格遵守公司的操作规程,不得私自更改。
2. 在空气有质疑的地方不得操作。
3. 搬运粉尘时,要注意操作规程,避免出现意外事故。
4. 操作过程中如有异常情况,要立即停止操作,并向上级报告。
五、其他事项
1. 未经培训的人员严禁操作粉尘设备。
2. 若发现操作设备有异常,要及时报告维修。
3. 定期进行设备的维护保养。
通过本《粉尘岗位操作规程》,可以使操作人员更加规范化地进行粉尘岗位的操作,保证了他们的健康和安全,也为公司的生产和安全管理提供了有效的保障。
生产车间安全操作规程为保证操作工人的人身安全以及财产不受损失,根据《危险化学品安全条例》,操作工人必须按照以下操作规程进行操作。
一、操作工人必须掌握化学物品的特性(物理、化学性能),熟悉操作工艺。
二、操作工必须持证上岗,有高度的安全意识。
严格做好双人领料、双人投料制度。
三、在化学危险品操作过程中必须佩带防护用品,对接触化学危险品的容器,要及时进行加工处理。
四、操作工必须对防护用品及急救用品进行检查,定期更换,确保防护用品及急救用品能有效使用。
五、不允许将化学危险品以及其有关的物品带出车间。
六、严禁在车间内进食、喝茶、娱乐等与工作无关的行为。
七、化学危险品工作区域内除持证人员外,其他工作人员及闲杂人员等不得进入。
八、对违规操作以及发生的大小事故将追究各级责任人的责任。
称量工序操作规程设备:台秤、捕尘设施状态标志:已清洁、正在运行、清场合格证、生产证;记录填写:批生产记录;所需容器具准备齐全;所用物料确认无误。
操作:• 1 操作人员根据称量配料的数量到净桶存放室领取洁净的桶和舀子等器具,将其用小车运至称量配料间,并用75%酒精擦拭消毒。
• 2 操作人员依据“生产指令”和限额领料单到中间站领取所需物料,核对其名称、规格、编号、数量等,并在交接单和物料进出记录上签字确认领用,用小车运至称量配料室。
• 3 在QA人员监控下,按照制剂指令的规定比例,称量各物料的单锅数量。
• 4 物料按比例称重后及时悬挂标示牌,填写称量配料记录,将所配物料递交下一工序。
• 5 称量配料结束后取下“生产证”,换上“待清洁”标示牌。
•清场制粒工序操作规程设备:摇摆式颗粒机状态标志:已清洁、正在运行、清场合格证、生产证;记录填写:设备运行和维护保养记录、批生产记录;所需容器具准备齐全;所用物料确认无误。
操作:1 操作人员在摇摆式制粒机的出料口摆放好接料桶,按照“摇摆式颗粒机使用标准操作规程”开动摇摆式制粒机,向制粒机料斗内装适量的湿颗粒,进行制粒操作。
车间岗位职业卫生操作规程一、总则车间岗位职业卫生是指针对车间内各个岗位,制定的职业卫生操作规程。
旨在保护员工的身体健康,减少职业病的发生,并提高工作效率和质量。
本操作规程适用于所有岗位,任何岗位都有责任遵守和执行。
二、岗位卫生管理1. 岗位环境卫生(1) 保持岗位环境整洁,不得乱堆乱放。
(2) 保持岗位通风良好,确保空气流通。
(3) 定期清理岗位周边区域,确保无垃圾和积尘。
(4) 使用岗位所需的设备和工具后,要及时清理和归位。
2. 岗位个人卫生(1) 岗位工作人员应保持良好的个人卫生习惯,经常洗手,保持身体清洁。
(2) 在工作过程中,要注意保护自己的皮肤和呼吸道。
如需要接触有害物质,应佩戴防护手套、口罩等个人防护用具。
(3) 不得在岗位上吸烟、喝酒、嚼食等。
(4) 如需进食,要在规定的时间和地点进行,并保持食品的卫生和安全。
三、岗位职业病防护1. 劳动保护(1) 各个岗位应依据所处工作环境的不同,配备相应的劳动保护用具。
如防护手套、口罩、耳塞等。
(2) 操作机械和设备时,要严格按照安全操作规程进行操作,并佩戴必要的安全防护用具。
(3) 岗位上禁止进行危险的操作或尝试。
2. 职业病防治(1) 岗位操作人员应认真学习和贯彻有关职业病防治的知识和政策,了解自己面临的职业病风险,并采取必要的防护措施。
(2) 定期进行职业健康检查,及时发现问题并采取相应的预防和治疗措施。
(3) 在岗位操作过程中,如发现有害物质泄漏或异常情况,应立即报告上级,并采取紧急措施进行应对。
四、岗位卫生培训1. 新员工培训(1) 新员工入职时,要进行岗位卫生和职业病防护的培训,包括有害物质的认识、防护用具的使用等内容。
(2) 新员工培训内容应在岗位操作前全部完成,并签订相关的岗位职业卫生培训确认表。
2. 定期培训(1) 车间应定期进行岗位的职业卫生培训,对各个岗位的卫生要求和职业病防护措施进行再次强调和梳理。
(2) 定期组织员工进行职业健康检查,并根据检查结果进行个性化的培训需求分析。
生产车间各岗位操作规程一、生产车间操作规程的目的:生产车间是企业核心生产环节,对操作规程的严格执行有助于保证生产过程的质量和效率。
通过规范各岗位的操作流程,能够有效地减少生产中的错误和事故。
二、操作规程的应用范围:操作规程适用于生产车间内的各个岗位,包括但不限于操作工、检验员、机修工、仓储人员等。
三、操作规程的制定原则:1.安全第一:操作规程应确保人身和设备的安全。
2.规范统一:操作规程应具有一定的统一性,遵循公司的相关政策和标准。
3.灵活实用:操作规程应便于操作人员理解和执行,灵活适用于实际操作情况。
4.追求效率:操作规程应确保生产过程的高效率和高质量。
四、操作规程的内容:1.操作前准备:a.操作人员应对自己的岗位熟悉,并具备相关操作的知识和技能。
b.确认设备和工具的完好和正常运行状态。
c.准备好相关材料和物料,确保其质量和数量符合要求。
d.确认操作所需的安全措施是否已经采取。
2.操作过程:a.操作人员应按照规定的操作步骤进行操作,不能随意更改或省略任何步骤。
b.在操作过程中应注意安全防护措施的使用,保证人身和设备的安全。
c.在操作过程中如遇到异常情况应及时报告上级主管,并按照相关纪录程序进行处理。
d.操作过程中应注意文明礼仪,保持工作环境的整洁和安静。
3.操作后清理:a.操作结束后,操作人员应及时清理和整理工作区域。
b.对使用的工具和设备进行检查和维护,确保其在下次使用时能够正常运行。
c.准确记录相关操作数据,并及时上报和归档。
五、操作规程的执行和监督:1.操作规程的执行由操作人员自身负责,应按照规程要求进行操作。
2.监督人员应定期对操作规程的执行进行检查和评估,并提出改进建议。
3.对于违反操作规程的行为应及时进行纠正和处理,以确保规程的有效实施。
六、操作规程的修订和更新:1.针对生产车间的实际情况,操作规程应定期进行修订和更新。
2.对操作规程的修订和更新应征求相关部门和人员的意见,并经过审核和批准后方可实施。
净化车间岗位职责及任职要求一、车间主任岗位职责及任职要求岗位关系在甲醇公司主管生产副经理的领导下,领导车间副主任负责车间生产及行政管理工作;技术上接受甲醇公司总工程师指导。
1 主要职责1.1 全面负责车间行政工作,贯彻执行公司生产管理的各项规定,发动车间全体员工努力完成或超额完成公司下达的生产任务,完成公司经济责任制中规定的各项经济技术指标。
1.2 强化车间管理,落实"三基"工作,抓好增产节约和技术革新,降低消耗,提高产品质量和产量,不断提高经济效益,逐步达到科学文明管理。
1.3 搞好车间副主任的经济责任制考核工作。
1.4 准时参加公司有关生产技术安全、质量会议。
2 主要职权2.1 对车间的奖金发放、提级、评先进工作有决定权。
2.2 有权聘任车间技术人员及审阅有关技术文件。
2.3 对严重违反厂规厂纪的员工,有处理建议权。
2.4 对违反本车间有关规定的员工有自行处理权。
2.5 在生产管理上,对于上级部门的错误指令有拒绝权。
2.6 对车间副主任的任免有建议权。
3 学历和专业3.1 学历层次大学专科毕业。
3.2 专业类别化工工艺、化工机械等专业。
4 知识要求4.1 基础知识扎实掌握化工原理、物理化学、化工分析、化工机械、化工制图、高等数学、企业管理等基础知识。
4.2 专业知识通晓无机化工学、无机化学、化工热力学等专业知识。
4.3 相关知识熟悉全公司生产装置的工艺特点、主要物料流程及各生产装置间的联系;了解电子计算机应用的基本知识;了解一定的社会心理学知识。
4.4 管理知识能熟练运用全面质量管理的方法进行车间的生产管理工作,具备一定的行政管理方法及财务管理的知识。
4.5 政策法规知识了解企业法、计量法、能源管理条例以及产品质量和设备维护的有关法规制度。
5 工作能力5.1 分析判断能力5.1.1 能正确理解公司有关文件的精神。
5.1.2 能对本车间生产、管理上出现的问题进行综合分析,及时找出原因。
超净工作台操作规程
《超净工作台操作规程》
一、超净工作台的使用范围
超净工作台主要用于生物实验室、医疗机构、药品生产等领域,用于保护实验物品、药品或手术区域的洁净和无菌环境,以确保实验结果的准确性和生产过程的质量。
二、超净工作台的操作规程
1. 操作前检查:使用者在使用超净工作台前,需检查工作台的过滤器是否正常,工作台表面是否有杂物,电源是否连接正常等,确保工作台处于正常工作状态。
2. 环境准备:确保超净工作台周围环境清洁,尽量避免尘埃和异味的干扰。
3. 穿戴工作服:进入超净工作台操作区域前,需穿戴符合规定的工作服,包括手套、口罩、帽子等,以确保实验物品不会受到外界污染。
4. 操作技巧:在超净工作台内进行实验操作时,需轻柔、稳定地进行,尽量避免制造空气湍流,以减少细菌和微粒的产生。
5. 清洁消毒:超净工作台的表面需定期进行清洁消毒,以保持工作区域的洁净状态。
6. 关机操作:实验结束后,需按照规定的程序关机,清理工作台表面,关闭门窗,确保超净工作台内外环境的清洁。
7. 故障处理:如果发现超净工作台出现故障或异常,需立即停止使用,并通知相关维修人员进行检修。
以上就是关于超净工作台操作规程的相关内容,希望使用者能够严格遵守操作规程,确保超净工作台的正常使用和实验药品的质量安全。
超净车间各岗位操作标准编制人/日期:审核人/日期:批准人/日期:1 目的明确超净车间操作人员的作业标准,确保清洗扩散工艺的稳定进行。
2 范围本标准适用于超净车间的所有工作人员,适用于清洗、扩散工艺过程。
3 相关文件无4 定义无5 职责为了使超净车间各工序操作能够按照标准化进行,明确规定了超净车间各岗的工艺操作权限。
5.1 普通员工无权对任何工艺参数进行修改与调整。
5.2 操作员5.2.1 在工艺工程师授权的情况下才能对设备的工艺参数进行调整,在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。
5.2.2 协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控,并填写司炉点检表。
当发现工艺参数发生变化或机台报警时应及时通知班组长,由班组长通知工艺值班工程师,或者主操作直接通知工艺值班工程师。
5.2.3 出现任何异常,请详细记录于异常记录单,并及时通知班组长,根据异常情况通知工艺或设备工程师。
5.2.4 司炉人员不可更改进出舟速度,一律采用正常工艺中的舟速。
5.3 班组长5.3.1 班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产,对其操作进行监督,杜绝违反工艺规定现象出现。
5.3.2 当工艺工程师不在现场,且扩散后硅片的方块电阻出现异常时,生产班组长可以对扩散炉管源流量进行调节,并在工艺更改记录单上详细记录更改内容(如不记录,将视为误操作)。
其他非工艺人员不可以对工艺进行更改。
当对源流量进行微调无效时,班组长应该通知工艺工程师进行处理。
5.3.3 班组长应该积极的配合工艺工程师完成各项实验。
5.3.4 协助工艺工程师对超净间的各种工艺进行监控,监督工艺质量,当发现工艺被修改时应及时通知工艺工程师,并由工艺工程师进行确认处理。
5.3.6 任何部门借用机台,均需工艺、设备和生产部门确认后方可借用。
交回后需由各相关部门确认后方可恢复生产。
5.4 工艺工程师5.4.1 保持超净车间的工艺稳定,保证超净车间生产的连续,当工艺出现重大波动且影响到生产时,应该及时采取相应的解决措施。
5.4.1.1 工艺工程师应该指导生产人员进行生产,保证生产的顺利进行;5.4.1.2 当工艺工程师对工艺进行优化时,应事先与生产主管及工艺部主管讨论确认方案的可行性,然后有条理的进行实验;5.4.1.3 工艺工程师的实验在没有成熟时不得进行批量生产。
5.4.2 在进行各种实验时,为生产人员设定好各种工艺参数;5.4.3 巡视超净车间各工艺情况,当发现工艺参数发生变化时,调查其原因然后进行相应处理;5.4.4 可以根据工艺需要对手工清洗处的溶液浓度暂时进行相应的微调,加大或减小清洗液的浓度;5.4.5 可以根据工艺需要对手工清洗时间进行相应调整;5.4.6 可以根据需要对扩散炉的工艺参数进行相应调整;并在工艺更改记录单上详细记录更改内容和更改效果。
5.4.7 保证超净间各个工艺在规定的工艺参数(工艺卡)下进行,对设备的各工艺参数进行定期复查,完成SPC相关工作;5.4.8 对超净车间常见工艺异常(方阻异常、烧焦、滴源等)进行记录并查找原因进行处理;5.4.9 对本车间内制绒面绒面异常或有污染等与制绒相关异常情况反馈给制绒工艺工程师;接受刻蚀工艺工程师反馈的工艺异常并帮助查找原因;5.4.10 详细填写工艺更改记录单,重大异常及时上报部门主管,收集相关数据,并做分析,给出报告;5.4.11 配合其他段工艺工程师完成各项实验和质量控制。
6 环境无7 职业安全无8 管理内容8.2 扩散标准作业规范8.2.1 扩散炉工艺8.2.1.1 作业步骤A.操作界面的打开:扩散炉通电后触摸屏显示器同时将被打开,在触摸屏显示器上双击“扩散炉监控程序”的图标,屏幕上将出现一对话框,在对话框内输入用户名和密码后将进入“扩散炉监控程序”的主界面。
B.温度设置:温度设定值可在触摸屏上直接修改或设定:点击温度控制器图形上的SV设定栏,出现输入数据对话框,输入想要设定的温度,最后点击“确定”按钮,该SV温度值将得到修改或设定。
C.流量设置:在手动操作主界面的右上侧,有一个“流量控制”区域。
在该区域可小N2、大N2、干O2及清洗小N2流量可在触摸屏上直接修改或设定:点击流量控制器图形上的设定栏,出现输入数据对话框,输入想要设定的流量,最后点击“确定”按钮,该流量值将得到修改或设定,同时在检测值栏可以观察到气路流量的大小。
D.舟动作设置:在主屏幕的中间,有一个“手动”。
在推舟速度处设置适合的舟速值,点“向前”、“向后”、“向上”、“向下”或“Stop”按钮,舟就会向炉内前进、后退、向上、向下或停止移动。
在手动操作屏的舟移动只需设置舟速并选择相应按钮即可实现舟的自动作。
E.工艺编辑:工艺编辑只需要依照界面上的显示依次序编辑,设置各步骤时间、温度、气体流量等工艺参数。
设置推舟的状态时,先设置推舟速度,按工艺步骤要求点击“放舟”、“取舟”、“停止”,编辑设置舟速,进出炉时需设置为净化风机开,其他时候为关。
F.工艺运行:点击手动操作屏“工艺运行”按钮,进入工艺运行选择所要运行的工艺。
第一步结束后,检查炉门是否关严;第四步通源时,检查源瓶是否鼓泡;并定时检查温度及各项气体流量是否正常。
G.断点启动:在手动操作屏中点击“工艺重置”按钮即进入断点信息屏,在该屏中可察看发生断点时的各种工艺参数,点击启动断点运行将直接进入自动运行屏,工艺运行屏继续运行原来停止时的工艺。
H.报警窗口:报警窗口是显示报警信息的,当出现报警时,在报警状态一览表中会显示所有报警信息,当报警信息不断闪动时,表示处于该报警状态中;当报警状态一览表中没有信息时,表示系统未出现该报警状态。
I.工艺曲线及数据历史纪录:点击手动操作屏的“历史记录”按钮,进入打开历史纪录屏后,可自行选择所需要的资料,包括手工运行和自动运行工艺两种。
J.事件记录:在事件记录窗口下显示登陆、注销、操作、报警和错误的相关信息,时常要查看相关记录。
K.用户设置:点击手动操作屏中的“用户设置”按钮将显示用户管理窗体,在此窗体中,我们可以修改自己的资料。
L.系统设置:点击手动操作屏中“系统设置”按钮将显示更换用户窗体,在此窗体中,可以分别对气路、温控仪通讯、推舟、压力传感器、设备保养及源瓶和系统的进行设置。
M.退出程序:点击手动操作屏中“退出系统”按钮将显示程序退出确认屏,点击确定按钮及结束控制程序的本次运行。
8.2.2 方阻测量8.2.2.1 测试片的抽取方法如图所示,每组需取6片测试片,前舟的舟前、舟中、和舟后各取一片测试片,后舟的舟中和舟尾各取一片;且1F、4F取前舟的第三槽F面一片,2F、5F分别取各舟的中间位置F面一片;3F、6F分别取各舟的倒数第三个槽F面。
测试片取好后,冷却2分钟后直接去量测。
8.2.2.2 方阻的量测用镊子夹取测试片,按顺序测量,并记录于方阻记录表中。
8.2.2.3 注意事项A.操作员准确记录每一炉产品的方阻和与之相对应的机台号。
B.如果产品出现异常,并及时通知生产班长和工艺工程师。
8.2.3 扩散炉注意事项8.2.3.1 扩散炉使用注意事项A.由于本程序需要多种支撑软件才可正确执行,因此严禁删除计算机内已经安装的各种软件。
B.程序退出后将关闭所有的阀门及流量,推舟停止运行,温控仪的各个参数将保持。
C.若设备超过7天不需运行工艺时,需要降温并关闭主机电源以延长计算机和板卡的使用寿命。
D.每班交接班前需先擦拭、清理干净机台外面的操作台面、舟叉等器械。
E.PM周期:炉管的洗管周期为六个月,按具体洗管计划进行清洗。
F.七星扩散炉工控机每周重启一次。
8.2.3.2 扩散工艺过程注意事项A.严格控制出炉时间,上下两个不能同进同出,尽量避免交叉污染。
B.在废气室与无尘室的通风口处禁止停放小车和硅片。
C.任何金属物品不应接触石英器皿、器件。
D.禁止用舟叉对工控机界面进行操作。
E.各炉管有自己固定的石英舟,不得混用。
F.工作人员在搬运石英凳时,任何物品(除石英器件)不得接触石英凳上表面。
G.超净间所用的石英用品应按时清洗(石英舟、凳每周清洗一次,每周一完成清洗),且应保证清洗质量,工艺工程师应对清洗后的石英用品进行检查,确认清洗效果。
H.禁止潮湿的硅片装舟进炉扩散。
I.高纯清洗处一定要保证硅片清洗干净(硅片表面无大片水滴黏附),不干净的硅片不得进炉扩散,需重新清洗或先做氧化处理后(氧化时间尽量在10分钟以内)再进炉扩散。
J.出炉时清理石英门及炉外接源小盒上的残余磷源,2次每班。
K. 出现任何异常,请详细填写异常记录单,以方便工艺工程师查找原因。
L.新石英管需饱和24小时方可运行工艺,清洗过的石英管饱和16个小时方可运行工艺;新石英舟需饱和1小时方可使用。
M. 恒温槽温度应保持在20±0.7℃,若超出该范围通知设备工程师和工艺工程师及时处理。
若由于是恒温槽内水脏引起报警,需及时换水。
8.2.4 石英管清洗8.2.4.1 炉管清洗操作规范A.石英管清洗酸液配比:HF酸2瓶(每瓶4L),HCL酸2瓶(每瓶4L),加水至石英管放入酸槽后的半径高度。
B.清洗步骤:水洗10min + 酸洗15min + 水洗10min;清洗完毕后用氮气枪将石英器件吹干,对于石英管可以先用无尘布将外壁表面的水擦干,然后再用氮气枪将内壁吹干。
C.清洗注意事项:石英管清洗时要保证滚轴的转动,当管内有碎屑时需要用水枪将碎屑冲出;保温桶清洗前要用塞子将上面的小孔塞住,以避免水将保温棉浸湿,清洗时要保证清洗充分。
D.清洗不净的处理:当炉管的石英器件受到污染时,按照正常的清洗流程可能清洗不净;因此对于受污染的石英器件,可以通过加大酸的浓度和加长清洗时间来加强清洗效果。
对于无法清洗干净的石英器件,需要报废并更换新的石英件。
8.2.4.2 洗管后注意事项A.确认炉管安装是否正确,包括氮化硅桨的水平、高度和角度是否正确,进气口的位置是否在正中央。
B.确认保温桶、匀流板的摆放位置,以及恒温区的位置是否正确。
C.重新拉恒温区后,记录拉恒温区前后repair值。
D.做16小时饱和后,第一组硅片须测完电阻正常后,方可将机台交付生产。
8.2.5 石英舟(包括石英凳)清洗流程8.2.5.1 石英舟(包括石英凳)清洗操作规范A.石英舟(包括石英凳)清洗酸液配比:HCL 3瓶(每瓶4L )HF 1瓶(每瓶4L ),加水至淹没石英舟即可。
B.清洗步骤:水洗5min + 酸洗5min + 水洗5min ;清洗完毕后用氮气枪将石英舟(包括石英凳)吹干,再放入烘干箱内烘干即可。
C.清洗注意事项:清洗过程中不可以用手直接接触石英舟。
D.清洗不净的处理:当石英舟(包括石英凳)受到污染时,按照正常的清洗流程可能清洗不净;因此对于受污染的石英舟(包括石英凳),可以通过加大酸的浓度和加长清洗时间来加强清洗效果。