1. 目的 Purpose1.1 本操作作业规范目的在建立一套完整的特气系统操作流程，以避免人员操作错误及维护系统稳定运转并做为新进人员之教育训练教材。
2. 管制范围 Scope2.1 本操作规范适用于特气系统各操作单元之操作及故障排除指引。
3. 管理职责 Responsibi l ity3.1 厂务单位最高主管3.1.1 协调并提供各单位因产品生产所需之厂务服务内容。
3.1.2 综理厂务系统运转所需资源管理, 含人员/物料/预算等。
3.1.3 引进创新之厂务系统或管理知识。
3.2 厂务单位主管3.2.1 执行厂务系统维护保养制度及系统教育训练。
3.2.2 维持稳定的厂务供应系统所需之人员出勤管理。
3.2.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
3.2.4 厂务系统异常事故追踪查核处理结果3.3 厂务系统工程师:3.3.1 负责特气供应系统之正常运转及改良维护。
3.3.2 负责厂务与机台设备间 Hook up (二次配管)工程之施工与协调事宜。
3.3.3 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
3.3.4 担任所负责系统之教育训练讲师。
3.4 厂务轮班工程师:3.4.1 负责各项维护厂务系统所需之日常巡检及窗体记录。
3.4.2 执行各项厂务设施之日常或定期性保养维修作业。
3.4.3 更换厂务系统所提供或所需之原物料及产生之废弃物。
3.4.4 厂务系统及厂内各类紧急事件之抢救应变事宜。
4. 定义 Definition4.1 SG : Special Gas (特殊气体)。
5. 作业内容 Procedure5.1 日常记录与报告要求5.1.1定点现场抄表，发现数据异常即刻报告给系统工程师。
5.1.2统计气体，每日/周/月用量。
5.1.3统计气瓶、库存量，原则上现场要有足够15天运行库存量。
5.1.4整理特气系统仪器仪表（Gas detector、PT等）的校正记录。
5.1.5提供日常巡检报告、维护报告及事故报告。
