特气系统报告讲解

电子特气行业分析报告电子特气是一种高纯度气体，具有多种特殊化学性质，广泛应用于电子、半导体、光伏等领域。

本文将对电子特气行业进行分析，以帮助人们更好地了解该行业。

一、定义电子特气，是指在电子工业和半导体工业中所应用的高纯度气体，具有许多特殊的化学性质，包括良好的化学稳定性、低杂质含量、低阈值电离能、便于操作和传输等特点。

目前主要应用于电子、半导体、光伏等产业。

二、分类特点电子特气行业的主要产品包括二氧化碳、氮气、氦气、氢气、氧气等。

这些气体依据其纯度、用途和定制要求可分为电子级气体和超纯气体等几个细分市场，具有较高市场价值。

其主要分类特点为高纯度、质量严格控制、稳定性高、成本较高。

因此，该行业的产品价格较高，抗风险性较高。

三、产业链电子特气产业链主要包括气体生产厂家、运输中介、气体供应商、用户及销售服务机构等。

其中气体生产厂家是该产业链的起点，其通过纯净的原材料、合适的加工生产过程，获得具备高纯度的电子特气。

随后便是气体供应商，该环节主要负责从气体生产厂家拿到气体，并进行储存和加工。

最后，气体将被分配给最终用户，这些用户可以是半导体制造商、光伏制造商、电子和航空工业等。

四、发展历程中国电子特气行业始于1980年代，国际制造业发达的背景下，中国南方创办了许多半导体制造厂和工厂，而这些厂需要结构化气体和电子级气体的供应，这也是本行业的发展契机。

近年来，随着人们对高质量纯净气体的需求日益增加，电子特气行业成为工业发展领域的重要组成部分。

五、行业政策文件及其主要内容国家制定多个行业政策文件，帮助行业健康发展。

其中，最重要的文件是《特气行业规划》。

该文件主要规定了以下内容：1、全面加强电子特气行业的管理和监管，推进企业智能化生产。

2、提升能源效率、减低生产成本，缓解行业能源消耗过大的问题。

3、大力推进研究和应用氢能源、燃料电池等新技术，为行业发展注入新动力。

4、通过建立产业联盟、加强合作，实现产业链的清晰和优化。

特气系统的规划与设计特气系统的规划与设计(SSTT.NO.20)由于半导体制程日趋复杂化且建厂成本愈来愈高，其使用的制程化学品皆具有相当的危险性，虽然有相关的外国标准可进行规范，但实际的做法却莫衷一是，各有其成本与优缺点上的考虑。

本文除概略性的介绍半导体厂之特气供应系统，主要对整体特气系统的规划与设计进行探讨，限于篇幅，本文将论述的重点主要放在气瓶柜/架、阀箱与管路的设计上，提出个人的一点心得与看法，希望抛砖引玉提供大家思考的方向，以兹未来建构特气系统时的参考。

然而，在实际的建厂规划设计时，工程师仍需依各厂的现况进行规划，考虑的重点包括经费、周围环境、基地、人员...等，以期较佳的实用性设计达到更安全的供应与环境维护。

气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是在半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD 到现在开始萌发的微机电（MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆适用到相当多的其他，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

气体一般可简单的区分为大宗气体（BULK GASES),如N2、O2、Ar等适用量较大的气体，和特殊气体（Specialty Gases),如SIH4、AsH3、PH3...等以钢瓶供应的气体。

本文主要针对特殊气体的供应系统进行探讨。

大宗气体的供应设计则因其供应方式的特殊性，如以大型桶槽的供应方式，将不列入本文的讨论范围。

特气供应系统是半导体厂中危险性最高的一环，只需有任何的疏失都可能造成人员、厂房、设备的严重损失，特别是其中有些其他如SIH4的自燃性，只要、一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈的反应，开始燃烧，还有ASH3的剧毒性，任何些微的泄漏都能可能造成人员声明的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。

特种气体系统的设计与施工前言：一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。

其中大部分为特种气体。

本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。

一：概念特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。

其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点二：分类特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。

三：供气系统的选择1. 简单供气系统简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。

它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。

由于气体流量小，不经常使用，特种气体气源多采用普通钢瓶（<50L）。

输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。

惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。

所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。

如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。

简单供气系统通常存在安全隐患。

2. 常规供气系统常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。

对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。

特种气体采用普通钢瓶（<50L）供气。

特气输送系统采用气瓶柜。

配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。

电子特气调研报告一、背景介绍随着社会的发展和人们对环境的关注，电子特气作为一种绿色环保的能源，逐渐受到了广泛的关注。

特气是一种高能电子束离子辐照的副产物，其能源密度高、无公害、无排放等特点使其成为人们探索替代传统能源的新方向。

本次调研旨在了解电子特气的生产与应用现状，探索其未来的发展潜力。

二、研究方法2.与专家交流：采访相关领域的专家，获得关于电子特气技术的专业知识和发展前景的信息。

3.实地考察：参观电子特气生产企业，了解生产工艺、设备及生产能力等情况。

4.调查问卷：设计问卷，采访电子特气的使用者，了解其在实际应用中的效果和问题。

三、调研结果1.生产情况：据了解，目前国内外已有一些企业开始从事电子特气的生产。

这些企业采用不同的生产技术和设备，但生产工艺基本相同。

通过高能电子束离子辐照特定材料，产生特气。

目前，生产规模较小，但具备进一步扩大生产的潜力。

2.应用情况：电子特气在多个领域都有应用潜力。

在能源领域，电子特气可以用作替代传统能源的燃料，实现清洁高效的能源转换。

在工业领域，电子特气可以用于加工和表面改性，提高产品的性能和品质。

在环境领域，电子特气可以用来净化大气和水体，降低环境污染。

3.发展前景：从目前的情况来看，电子特气技术还处于起步阶段，尚存在一些技术难题需要解决。

但由于其绿色环保的特点，电子特气具有很大的发展潜力。

随着对环保的需求增加，电子特气将会成为一个重要的能源替代品，并在多个领域得到广泛应用。

四、结论与建议1.电子特气作为一种环保的能源，具有广阔的应用前景。

政府应加大对电子特气技术的支持，鼓励企业加大研发投入，推动电子特气技术的商业化。

2.企业应加强合作，共同推动电子特气技术的发展。

通过建立产学研一体化的合作模式，加强技术创新和人才培养，提高电子特气技术的竞争力。

3.进一步加大对电子特气技术的研究和开发，解决目前存在的技术难题，提高生产能力和效率，降低生产成本。

4.加强宣传与推广，提高公众对电子特气的认识和了解。

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