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特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特气系统工程技术规范1总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2术语2.0.1 特种气体specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间 speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站 silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点 open flame site 室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点 sparking site 散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶 empty cylinder 留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶 full cylinder 存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
天燃气燃烧机控制系统原理天然气燃烧机控制系统是一个自动化设备，用于监控、控制和维护天然气燃烧机的运行。
该系统的原理是利用传感器和控制器，通过检测和调节燃气供应、燃烧过程和排放产物，以确保燃烧过程的安全性、高效性和环保性。
天然气燃烧机控制系统通常由以下几个组成部分构成：1.传感器：传感器用于检测和测量与燃烧过程相关的各种参数，例如燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度、燃烧产物的浓度等。
传感器将这些参数转换为电信号，并传输给控制器。
2.控制器：控制器是系统的主要组成部分，它接收传感器传输的信号，并根据预设的控制策略进行处理。
控制器负责监测和调节燃气供应、燃烧过程和排放产物等参数，以确保燃烧过程的安全性、高效性和环保性。
控制器可自动控制燃气阀门的开启和关闭，调节燃气的供应量，控制燃烧器的温度和压力等。
3.执行器：执行器是控制器的输出部分，它负责根据控制器的指令执行相应的动作。
例如，执行器可以打开或关闭燃气阀门，调节燃气的流量，改变燃烧器的温度和压力等。
4.监控和显示装置：监控和显示装置用于显示和记录系统的工作状态和参数。
它可以显示燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度等实时数据，并记录历史数据，以便分析和排查故障。
天然气燃烧机控制系统的工作原理如下：1.检测和分析：传感器检测和测量与燃烧过程相关的各种参数，例如燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度等。
控制器接收传感器传输的信号，并根据预设的控制策略进行处理。
控制器分析这些参数，并判断燃烧过程是否正常。
2.调节和控制：根据控制器的分析结果，控制器控制执行器执行相应的动作，以调节和控制燃气供应、燃烧过程和排放产物等参数。
例如，如果燃气供应压力过高，控制器可以要求执行器逐渐关闭燃气阀门，以降低燃气流量。
3.监控和显示：监控和显示装置显示和记录系统的工作状态和参数。
它可以实时显示燃气供应压力、燃气流量、燃烧器温度等数据，并记录历史数据。
这些数据可用于分析和排查故障，以便及时进行维护和修复工作。
大宗气体特气系统介绍大宗气体特气系统是指一种用于储存、输送和利用大量气体的系统。
这种系统通常涉及到工业生产、能源开发、科研实验以及其他一些需要大量气体的领域。
在这篇文章中，我们将介绍大宗气体特气系统的基本原理、组成部分以及应用领域。
大宗气体特气系统的基本原理是将气体储存在特气集中储罐中，并通过输送管道将气体送到需要使用的地方。
在储气罐中，气体通常被压缩或液化以提高储存密度，并保持稳定的储存状态。
输送管道可以根据需要进行设计，以确保气体在输送过程中的流量和压力变化控制在合适的范围内。
大宗气体特气系统的主要组成部分包括储气罐、输送管道、气体压缩或液化装置、调节阀以及使用终端设备。
储气罐通常是由高强度的材料制成，以承受高压气体的储存。
输送管道是用于输送气体的管道系统，可以按照需要进行布置和连接。
气体压缩或液化装置是将气体压缩或液化的设备，以便提高储气密度和便于输送。
调节阀用于控制气体的流量和压力，确保稳定的供应。
使用终端设备根据实际需求而定，例如燃烧设备、冷却设备、实验设备等。
大宗气体特气系统的应用领域非常广泛。
在工业生产中，特气系统通常用于提供能源或原材料，例如供应工厂的燃气、供应化工生产的原料气体等。
在能源开发领域，特气系统可以用于提供燃气、蒸汽和热能，用于发电、加热和蒸汽动力等。
在科研实验中，特气系统可以提供实验所需的稳定气体供应，例如实验室中的气氛控制、气体分析等。
此外，特气系统还可以应用于其他领域，如医疗卫生、高科技制造等。
在大宗气体特气系统的设计和运行中，需要注意一些关键问题。
首先，应确保气体的储存和输送安全可靠，因此需要采取适当的安全措施，如安装安全阀、压力传感器等。
其次，应根据实际需求和气体特性选择合适的储气罐、输送管道和终端设备，以确保系统的正常运行和高效利用。
此外，还应定期进行检查和维护，以确保系统的可靠性和安全性。
总之，大宗气体特气系统是一种用于储存、输送和利用气体的系统，广泛应用于工业生产、能源开发、科研实验以及其他领域。
特种气体系统工程技术规范2011-04-07 08:31:54| 分类：默认分类| 标签：气体特种管道气瓶阀门|字号订阅1 总则1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。
制定本规范。
1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计和施工。
1.0.3 本规范不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计和施工。
1.0.4 特种气体系统的设计和施工除应符合本规范的规定外，应符合国家现行有关标准的规定。
2 术语2.0.1 特种气体 specialily gas用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。
通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。
2.0.2 特种气体系统 speciality gas system特种气体系统是指在用户现场的特种气体的储存、输送与分配全过程的设备、管道和部件的总称。
2.0.3 特种气体间speciality gas room是指在电子生产厂房放置特种气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格等气体设备，并通过管道向用气设备输送特种气体的房间。
2.0.4 硅烷站silane station是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶集装格、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置及尾气处理装置、电气装置等，并通过管道向用气生产厂房供应硅烷气体的独立建构筑物或区域。
2.0.5 明火地点open flame site室内外有外露的火焰或赤热表面的固定地点。
2.0.6 散发火花地点sparking site散发火花的烟囱或室外电焊、砂轮、气焊等固定地点。
2.0.7 空瓶empty cylinder留有残余压力的气体钢瓶。
2.0.8 实瓶full cylinder存有气体的气瓶中保存有气体压力的气瓶，特种气体气瓶一般水容积为40L、47、48L等各种容积。
特殊气体供应系统技术要求★工程概况：工程名称：开元设备科技有限公司特殊气体供应和气体侦测监控管理系统建设地点开元设备科技有限公司厂址★工程范围：特气供应系统及气体监控系统主要工作内容如下：●特气气柜供应系统：CH4,0.5%PH3/H2,2%TMB/H2●BSGS 供应系统: SIH4, NF3,●大宗气体分配系统: CDA ，AR ，O2 , N2，H2（管路至供气源接口）●动力系统（外围独立气体房的排风系统）●UPS电源系统●气体侦测器系统●气体监控系统●PLC 控制和网络系统●电脑图形控制系统●各个气体房和气体室的气柜排风系统和事故排风系统●废气处理装置的安装和调试，管路衔接。
●其他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。
注：此工程范围需包含以上但不仅限于以上内容，需投标方自行考虑所有细节。
工程界面协调配合事项：●环氧：环氧施工完成并经监理及旭双相关人员验收后，所有地面，天花墙壁作彻底清洁后，本包可入内施工。
●地面保护：气体房内地面保护在本包范围内。
●电力：电力包提供电源（包括电缆，桥架及接线）到本包各电盘（380V Emergency 800A+380V Normal 800A）的进线端。
照明由电力包统一规划提供。
●接地：各气体房由电力系统提供接点。
●消防：提供各气体房之喷淋系统，并预留DN50阀门、门禁系统、广播和气体报警系统联动。
●MAU：各气体房空调。
●其他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。
第一章特气供应系统设计要求1.1特气供应流程图1.1.1特气供气简易流程：本项目使用气柜（以下简称GC）的气体分别为0.5%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4，详情见设备清单表。
1.12本项目使用大宗特气系统（以下简称BSGS）供气的气体SIH4, NF3第二章．特气设备技术要求：气瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求：1)所有系统设计都必须遵从SEMI S2（半导体工业的全球标准）标准。
2)更换钢瓶或轻微故障时，不影响气瓶柜和气瓶架向VMB或机台供气。
