新能源有限公司标准操作文件单晶炉拉晶作业指导书

单晶炉安全操作规范文第一章总则一、为了确保单晶炉操作过程中的安全，保护操作人员的人身安全和设备设施的完整性，严禁违反以下规范进行操作。

第二章操作准备一、操作人员应熟悉单晶炉的工作原理和操作流程，并接受相应的培训，具备相应的操作证书。

二、在操作单晶炉之前，操作人员应检查设备设施的运行状态，确保各种传感器、仪表和防护装置正常工作。

三、操作人员应正确穿戴工作服、工帽、耐高温手套等个人防护用品，确保人身安全。

第三章操作要求一、在操作单晶炉之前，操作人员应对设备设施进行清洁和维护，确保工作区域干净整洁，无杂物和积尘。

二、操作人员应按照操作规程的要求，将晶体样品正确放置在单晶炉中，注意样品与加热器件之间的间距和接触情况。

三、操作人员应严格按照设备设施的规定参数进行操作，不得随意调整温度、压力等工作参数。

四、操作人员应定期检查、校准单晶炉的相关仪表和传感器，确保温度、压力等参数的准确性和稳定性。

五、操作人员在操作过程中应保持专注，不得做与操作无关的事情，严禁吸烟、喧哗和不文明言行。

六、操作人员应严格按照操作规程的要求进行操作，不得将不符合要求的物品或样品放入单晶炉中。

七、操作人员应定期清除单晶炉中的废渣和污垢，保持设备设施的清洁和正常运行。

第四章突发事件处理一、在操作单晶炉过程中，如发生异常情况或设备故障，操作人员应立即报告上级，停止操作并进行紧急处理。

二、在发生火灾或爆炸等突发事件时，操作人员应立即使用灭火器、消防水源等进行扑救，并迅速撤离现场。

三、在操作过程中如发生人员受伤或烫伤等意外事件，操作人员应及时寻求医疗救助，确保事故伤者的安全。

第五章作业结束一、操作人员在操作结束后，应及时关闭单晶炉，切断电源，并清理、整理工作区域，确保设备设施的安全和整洁。

二、操作人员应定期对单晶炉进行维护和保养，更换老化、损坏的零部件，确保设备设施的正常运行。

三、操作人员应将操作记录进行汇总、归档，保留一定时间并定期进行检查，以备日后参考和查询。

．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z03（TDR-95A/100A/100B-ZJS适用）2010年06月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。

连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。

拉晶作业指导书拉晶作业指导书（一）大家好！欢迎大家参加拉晶作业指导书的学习。

本指导书将帮助大家更好地完成拉晶作业，提升自己的写作能力。

以下是一些指导原则和技巧，希望能对大家有所帮助。

一、理解作业要求在开始写作之前，首先要认真读懂作业要求。

作业要求是完成一项任务的基础，正确理解并满足要求是成功完成作业的关键。

二、确定主题和思路确定好主题和思路后，有助于整理思路和提高写作效率。

选择一个与自己熟悉且有兴趣的主题，并从不同的角度思考和组织自己的想法。

三、提供合适的论据和例证在写作过程中，需要提供合适的论据和例证来支撑自己的观点。

这些论据和例证应该具有可信度，可以是自己的亲身经历、书本中的案例，或是其他可信来源中的调查数据和事实。

四、注重文采和语言表达写作是一种艺术，注重语言的美感和表达的准确性非常重要。

通过运用多样化的修辞技巧，如比喻、夸张、反问等，可以提升文章的文采和吸引读者的注意力。

拉晶作业指导书（二）五、注意结构和逻辑性一个好的文章应该具有清晰的结构和逻辑性。

文章的开头应该引入主题并提出自己的观点。

接着，通过合理的段落划分，展开论述并提供相关的论据和例证。

最后，在结尾部分对论述进行总结，并给出自己的观点和建议。

六、多次修改和润色写作不是一次完成的过程，多次修改和润色是非常必要的。

经常回顾自己的文章，发现不足之处并加以修正，可以提高文章的质量和表达的清晰度。

七、遵循学术道德和知识产权在写作过程中，要遵循学术道德和知识产权的原则。

必须注明自己参考和借用的原文材料和来源，严禁抄袭他人作品。

八、提高自我批判意识除了注意审查文章的拼写和语法错误外，还应提高自我批判意识。

反思自己的观点是否有说服力，是否有逻辑性，并根据反馈意见不断改进自己的表达能力。

通过遵守以上指导原则和技巧，相信大家能够更好地完成拉晶作业，并提高自己的写作能力。

希望大家能够在写作中不断探索、实践和进步，发挥自己的创造力和想象力，愉快地完成每一篇作业！拉晶作业指导书（三）尊重作者小提示：1. 结构清晰：在写作过程中，合理划分段落和开展论述是非常重要的，可以帮助读者更好地理解文章的逻辑结构。

单晶炉操作规程《单晶炉操作规程》一、概述单晶炉是一种用于生产单晶硅片的重要设备，操作规程的制定是为了保障生产安全和产品质量。

本规程适用于单晶炉的操作人员，旨在规范操作流程，确保操作安全。

二、操作准备1. 检查设备及工具是否完好，如有破损或异常情况，应及时上报并维修。

2. 确认操作人员已经接受相关的培训和指导，对单晶炉的操作流程和安全要求已经了解。

3. 确认生产原料和辅助材料充足，且符合生产要求。

三、操作流程1. 打开单晶炉的主电源，等待设备启动并进入待机状态。

2. 对设备进行必要的预热和调试，确保各部件正常运转。

3. 将生产原料放入炉子内，按照工艺要求设置温度和时间等参数。

4. 监控单晶炉的运行情况，及时发现异常情况并进行处理。

5. 生产结束后，关闭单晶炉的主电源，清理设备及工作环境，做好设备的维护和保养工作。

四、安全措施1. 在操作单晶炉时，严禁离开工作岗位，如有特殊情况需要离开，应当先停止设备运行。

2. 在操作单晶炉时，必须佩戴相关的防护用具，严禁穿拖鞋、长发等不符合安全要求的服饰。

3. 在设备运行过程中，不得私自更改设备参数，如有需要，必须经过相关部门的批准和操作。

4. 如发现设备异常或者故障，应及时上报并采取相应的应急措施，确保操作人员的人身安全和设备的正常运行。

五、操作后的记录和检查1. 在每次操作单晶炉结束后，应当对设备的运行情况、生产情况和设备维护情况进行记录。

2. 定期对单晶炉进行设备的检查和维护，确保设备的正常运行和使用寿命。

六、结束语遵守单晶炉操作规程是操作人员的基本职责，也是保障生产安全和产品质量的重要保障。

希望每位操作人员都能严格遵守操作规程，做到安全生产，为公司的发展做出贡献。

夏津县奥德新能源有限公司直拉单晶炉操作规程版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-20101 目的为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。

2 适用范围单晶制造厂所有单晶操作工。

3 内容3.1 拆炉3.1.1 准备确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。

将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。

左旋至副室筒下。

3.1.2 炉子清扫3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢车。

3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。

注意：1：石墨件不能用手接触。

2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。

3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。

3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。

注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。

保证密封圈的完好。

3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。

注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。

3.1.2.5 主炉清扫戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，炉底。

注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。

用沾有酒精的纸巾把主炉室及密封圈擦拭干净。

3.1.2.6 石墨件的清扫吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。

晶盛单晶炉作业指导书一、概述晶盛单晶炉是一种用于单晶材料生长的设备，能够实现高温环境下的晶体生长。

本作业指导书旨在向操作人员提供使用和维护晶盛单晶炉所需的详细指导，以确保设备正常工作并生产出高质量的单晶材料。

二、设备操作1. 准备工作a. 检查设备的电源和供气情况，确保正常运作。

b. 确保操作人员穿戴好相应的防护装备，包括防护眼镜、耳塞等。

c. 检查设备各部件的连接和状态，确保无漏气、无破损等问题。

2. 加载样品a. 打开炉膛门，将要生长的单晶样品小心地放置在样品载台上。

注意避免样品与载台接触过程中的碰撞或损坏。

b. 关闭炉膛门，确保密封良好。

3. 设置工艺参数a. 根据所需单晶材料的要求，在操作界面上设置合适的温度、压力等工艺参数。

b. 按照设备使用手册的要求，设置晶盛单晶炉的升温速率、保温时间等参数。

4. 启动和监控a. 打开设备的电源，按照正常启动程序操作，确保炉膛加热系统和其他系统正常运行。

b. 在启动后的整个过程中，操作人员应密切监控温度、压力等参数的变化，并及时调整，以确保单晶材料的质量。

5. 结束和清理a. 单晶材料生长完成后，关闭电源，停止供气，并等待炉膛冷却到安全温度。

b. 打开炉膛门，小心地将生长好的单晶样品取出，放置在合适的容器中。

c. 清理炉膛内部的残留物，确保设备整洁。

三、设备维护1. 清洁a. 每次使用后，应及时清洁炉膛内部和其他部件，避免杂质对下一次生长工艺的影响。

b. 使用合适的清洁剂和工具进行清洁，注意安全和操作规范。

2. 检修和维护a. 晶盛单晶炉设备定期需要进行检修和维护，以确保各部件的正常工作。

b. 遵循设备使用手册中的维护计划，对设备的各个部件进行检查、清洁、更换等操作。

c. 发现设备问题时，应及时汇报并由专业人员进行维修。

3. 安全注意事项a. 操作人员应在经过必要的培训和指导后，才能使用晶盛单晶炉设备。

b. 在操作过程中，应严格按照设备的安全操作规程进行操作，以避免意外事故的发生。

冷检1.目的为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。

2.范围本作业指导书适用于拉晶岗位。

3.安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。

2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。

也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。

3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。

4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。

5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。

3.2进入泵房的安全注意事项1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。

2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。

3.机械泵皮带必须安装防护罩。

4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。

5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。

3.3拆装炉1.上班必须穿戴好劳保用品。

装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。

2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。

3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。

4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。

3.4乙醇、丙酮的使用1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。

2.严禁用内酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。

4.工艺流程5.4.1工艺流程图4.2过程控制4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。

泄漏率超出范围应报修。

手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。

单晶炉安全操作规范本一、总则单晶炉是用于生产单晶材料的关键设备之一，为保障生产操作的安全性，保障生产人员的人身安全，特制定本安全操作规范本。

本规范适用于使用单晶炉进行操作的所有人员。

二、操作前准备1. 操作人员必须接受相关安全培训，并严格按照培训要求进行操作。

2. 操作人员必须佩戴符合要求的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、耐酸碱服装等。

3. 在操作前，应仔细查看单晶炉设备是否正常，如有异常应立即报告维修人员进行检修。

4. 操作人员禁止穿戴松散的衣物或裸露皮肤接近单晶炉。

三、操作过程1. 操作人员在操作单晶炉前，应首先确保电源已经断开，避免电器故障引发的安全事故。

2. 在操作过程中，严禁使用有火焰或火花的工具，防止因火源引发燃烧或爆炸事故。

3. 操作人员需要按照操作手册的要求进行操作，不得随意更改操作参数或步骤。

4. 当发生异常情况时，操作人员应立即停止操作，并向上级汇报，等待技术人员进行处理。

5. 操作人员在操作过程中应保持警觉，随时注意周围环境和设备状况，及时发现并排除潜在的安全隐患。

6. 在操作过程中，严禁将杂物放置或堆放在单晶炉周围，保持工作区域的整洁。

7. 操作人员在操作过程中，不得随意离开岗位，必要时需请假或寻找替班人员。

8. 操作人员在操作过程中如遇到可能影响安全的情况，如异常冒烟、异味等，应立即向上级报告并采取必要的紧急措施。

9. 操作结束后，应切断电源，清理工作区域，确保设备和周围环境无安全隐患。

四、紧急情况处理1. 当发生火灾时，操作人员应立即按照紧急预案进行处理，如启动灭火设备、疏散人员、报警等。

2. 当发生人员伤害事故时，其他人员应立即采取紧急救助措施，并同时呼叫救护车。

3. 当发生气体泄漏等化学品安全事故时，相关人员应立即采取紧急措施，如停止泄漏源、疏散人员、报警等。

五、设备维护1. 定期对单晶炉进行检修和维护，确保设备正常运行。

2. 维护时必须切断电源，进行必要的安全防护措施，并由专门人员进行操作。

单晶炉操作规范第一章-引言1.1本文档旨在规范单晶炉操作流程，确保操作安全、产品质量和生产效率的提高。

1.2单晶炉的操作人员必须熟悉本文档的内容，并在操作过程中严格遵守规定，否则产生的后果自负。

1.3本文档适用于所有单晶炉操作环节，包括预处理、晶体生长、退火和冷却等。

第二章-操作前准备2.1操作人员必须穿戴符合安全要求的防护装备，包括耐高温手套、护目镜和耐酸碱服装等。

2.2检查设备状态，确认温度计、计时器、传感器等仪器设备正常工作。

2.3检查炉内外温度，确保温度达到操作要求。

2.4检查流程控制系统，确认设定参数正确，并与实际参数一致。

2.5查看操作记录，了解前期操作情况，排除潜在安全隐患。

第三章-预处理3.1清洁单晶炉炉膛，去除残留物和污渍。

3.2检查和更换必要的密封件，确保炉内外密封完好。

3.3检查加热元件是否存在损坏和老化现象，如有发现，及时更换。

3.4预热单晶炉，升温到预定温度，并保持一段时间，为晶体生长做好准备。

第四章-晶体生长4.1准备晶体生长所需材料和试剂，确保纯度和数量符合要求。

4.2将材料和试剂按照比例混合，并搅拌均匀。

4.3将混合材料放入预热的单晶炉中，并设定生长参数，如温度、压力、速度等。

4.4开始晶体生长，监控生长过程的关键参数，并做好记录。

4.5定期检查晶体生长过程中的温度、压力和流量等参数，确保生长过程的稳定性。

第五章-退火5.1晶体生长结束后，将晶体放入退火炉中，设定适当的退火参数。

5.2确保退火炉内外的温度均匀分布，不得有明显的温度梯度。

5.3控制退火过程中的加热速度和保温时间，确保晶体内部结构的完善。

5.4定期检查退火过程的关键参数，如温度、压力和冷却速度等，确保退火效果。

第六章-冷却6.1退火结束后，将晶体从退火炉中取出，放置在冷却器中。

6.2控制冷却器的温度和冷却速度，避免晶体过快冷却引起热应力。

6.3冷却过程中，注意观察晶体表面是否出现裂纹或变色等异常情况。

LJ —0022010单晶棒部门ORIGINATOR 编制TECH 技术QC 质量MFG 制造拉晶车间签名清炉日期2 OF 23.0 仪器/工具/材料4.0 注意事项4.0.1 检查加热器和托杆的螺丝是否松动,核对平口,检查加热器与保温筒之间的间距是否均匀；导流筒壁厚如有小于12mm 的应更换导流筒，三瓣埚壁厚如果有小于7mm 的应更换三瓣埚；4.0.3 清炉时塑料手套等易烫化的物体不要碰到石墨件，不能沾无水乙醇擦拭观察窗玻璃；4.0.4 处理石墨件上的硅点时，操作要小心防止硅渣崩溅，伤人眼睛；4.0.6 大清后高温1小时方可投料。

5.0 各种表单5.0.1 《单晶生产记录》4.0.2 检查炉底压片是否有破损翘曲,如有破损翘曲应及时更换,加热器是否变形，保温筒是否有裂纹,碳毡是否硬化,4.0.5 加热器每四炉拿出清扫，装料之前边充氩气边抽真空5分钟方可投料，每8炉对所有石墨件、弯头、电磁阀、CUSTOMER 客户：清 炉DOC.# 文件号： Reason(s) for Update 更新原因：3.0.1 无水乙醇、无尘纸、砂纸；3.0.3 T 型内六角扳手（参照螺丝尺寸）、加热器专用扳手、卡尺、100cm 直尺、拆炉车、吸尘器、砂轮角磨机；3.0.2 清炉服、防尘帽、一次性口罩、石棉手套、一次性手套；电子阀、波纹管等进行大清；REV 版本:PRODUCT 产品：WORK STATION 工序名称：PAGE 页：LJ —0032010单晶棒部门ORIGINATOR 编制TECH 技术QC 质量MFG 制造拉晶车间签名装料日期2 OF 23.0 仪器/工具/材料4.0 注意事项4.0.3 检查重锤上方200mm 以内的钢丝绳是否有毛刺和散开现象，若有应通知维修组维修或更换；4.0.4 炉盖和上炉室快合拢时应该点动慢合拢；4.0.5 尽量避免细小的料接触石英坩埚上部埚壁，以防挂边，避免大块料的尖角指向埚壁以免戳坏石英坩埚。

直拉硅单晶作业指导书一、目的：规范单晶炉运行过程的操作，确保拉晶过程在预定工艺要求卜•进行，从|何确保硅棒质量。

二、范围：直拉单晶炉。

三、职责：班长：负责当班期间单晶炉拉晶过程中安全运行状态及紧急事故的处理。

四、定义（无）五、作业内容：5.1抽真空5.1.1启动前的准备工作（1）检查泵休内真空汕的使用时间。

如超过规定时间须更换。

操作如&确认主泵球阀已关闭，打开泵体油路上的两只开关，将泵体内的脏油放掉；b. 打开泵体上的油封盖，将泵体内脏油用抹布擦洗干净；c. 将低压汕缸的滤汕器清洗干净；d. 将油镜玻璃及油封盖的密封部位擦净，装上油封盖，螺丝要均匀拧紧防止漏油；e. 加入新的真空油；f. 清洁真空泵表曲的卫生。

5」.2启动真空泵a.釆用多次点启动的方法，等转动灵活后再按下启动按钮；b.泵运转约5分钟左右各方面均正常后，再缓慢打开主泵球阀対炉子进行预抽真空，注意主泵球阀必须缓慢打开；c.观察炉内压力，胃到显示压力低于要求达到的压力或更低；5.2测漏5.2.1当炉子的真空度达到规定值吋，关闭真空管道上的主泵球阀。

5.2.2观察真空计上的压力数值，测定压力变化。

漏气速率小于0.2pa/分或小于每分钟lmTorr 为合格。

5.2.3检漏结束后缓慢打开真空管道上的主泵球阀继续抽一段时间真空，直至真空度低于检漏时的真空度。

5.3化料5. 3.1正常时打开氮气阀门，流量控制在40-60L/min,炉内压力维持在10T或10OOpa 左右。

5. 3. 2启动加热电源开始加热。

5.3.3在规定的时间内从低到高缓慢提升功率，直到化料要求功率。

熔料功率和时间根据投料量和热场人小来定：a. 18“热场投料55-6Okg,熔料功率85-95kw。

约4-5小时。

b. 20 “热场投料80-90kg,熔料功率90-100kw e约5-6小时。

c. 22 “热场投料110-120kg,熔料功率95-105kw3约6-8小时。

夏津县奥德新能源有限公司直拉硅单晶作业指导书版本/修订0文件编号：AD-ZY-DJ-02-20101 目的为了使单晶炉操作工正确、规范地进行生产操作。

避免因操作错误等原因给生产带来不必要的损失，并使员工在生产过程中能够养成按规定操作的良好作业习惯，特制定本指导书。

2 适用范围适用于单晶工段DRF-85单晶炉及所有单晶炉操作工。

3 内容3.1 操作准备3.1.1 车间需穿戴好整洁工作服、鞋。

3.1.2 将不绣钢小车移至炉旁，准备好耐高温手套、研磨纸、吸尘管、防尘口罩、加热器垫架等拆炉工具3.2 热态检漏3.2.1 检查上炉功率关闭时间，确认单晶冷却时间达到4小时以上。

确认后关闭氩气总阀门，开始抽真空，并做好时间记录3.2.2 待炉压到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室泵球阀，再关闭主真空泵电源。

若0.5小时抽不到3Pa以下。

交有关维修人员处理。

3.2.3 检漏3分钟以上，当3分钟漏速<1Pa时为正常，做好漏气率记录。

若漏速>1Pa时，交有关维修人员处理。

3.2.4 做好热态检漏时的抽真空时间、检漏时间、漏气率等记录。

3.3 取单晶与籽晶3.3.1确认单晶冷却时间达到5小时后，缓慢调节晶转为0，充氩气至常压，打开炉门。

将单晶升至副室（提升时注意不得使单晶有碰撞）3.3.2升起副室，把安全接盘移到炉筒口晶体下方（若晶体过长，则需连同炉盖一起同步转动，缓慢转动副室到侧面（移动时注意避免单晶与炉筒碰撞）。

3.3.3 将单晶筐对准炉筒口，移开安全接盘。

按晶快降，将晶体降入筐内3.3.4 确认单晶完全入筐后，戴高温手套抓住籽晶夹头，用钳子将籽晶从肩上部位掐断3.3.5 手扶籽晶夹头，等钢丝取消拧力后取下籽晶，并将籽晶放入指定场所。

3.3.6 将单晶移到指定位置，并将单晶编号写在单晶上。

3.4 拆炉3.4.1 戴好口罩以及耐高温手套按顺序取出导流筒和保温盖，并放在装石墨件的不绣钢小车上，注意要拿稳轻放3.4.2 取下热电锥，将其和密封及玻璃放到指定位置。

单晶拉制作业指导书单晶拉制作业指导书一、取单晶准备1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸；2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；二、拆炉取单晶1、待单晶冷却4小时后，关闭Ar气，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；2、待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源，然后进行检漏；3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；5、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；6、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，抓紧重锤，用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，然后稳定重锤，将籽晶从重锤上取下，再将重锤升至副室内；三、导流筒.保温盖.锅底料的取出1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩（埚杆扳手）；2、戴好手套及耐高温手套；3、按顺序取出导流筒和保温盖；4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上；1、戴好耐高温手套和准备好钳子；2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；四、清理大罐1、准备好毛刷、吸管、专用工具；2、带好手套、防尘口罩；1、用专用工具大罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；五、管道炉盖的清理1、带口罩、手套；2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布、毛刷、吸尘器管等清扫所需物品；1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽；2、安装管道盖时，一定要检查密封圈是否完好、洁净，拧紧螺丝时一定要对角拧紧，以防抽空时漏气。

注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。

作成 审核 批准 承认 变更内容：文件编号 版/次 总12页 一． 目的将硅多晶及硅单晶转变成客户需要的硅单晶。

二． 适用范围宁夏单晶炉三． 使用设备及工具·宁夏单晶炉、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、·斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等 四． 材料·多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个9的高纯Ar 、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场 ·一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、一次性口罩 ·无尘清洁纸 、无水乙醇 五． 环境要求洁净房六． 重要工艺参数见《工艺参数卡》七． 宁夏单晶炉面板介绍手动菜单炉台状态参数显示籽晶、坩埚状态显示 控制状态显示 基本参数设置菜单炉台状态 画面显示自动菜单 自动状态参数显示注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。

作成 审核 批准 承认 变更内容：文件编号 版/次 总12页 八．作业步聚1. 热场组立1) 按照《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。

※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。

2) 点击【坩埚】键调出坩埚控制菜单，在方框内中输入想要的坩埚转速，按【OK 】键确认，最后点击【ON 】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同心。

3) 将石墨坩埚放入后再对中，确保坩埚四周与加热器的位置大于3mm ，并尽量同心。

4) 将上保温筒装上，并用如上方法确保导流筒安装的与石墨坩埚同轴。

对中中轴与加热器同圆心对中加热器与石墨坩埚对上保温筒与石墨坩埚※ 热场组立完成后，控制状态不在原点的需要进行回原点。

回原点前需要将炉体合拢，否则无法进行回原。

点击【控制选择】调出菜单，点击回原点，点击执行后，籽晶、坩埚会进行归零限位，原点闪烁显示，待控制状态栏中原点点亮及完成原点操作。

单晶炉操作说明单晶炉操作说明1.介绍本文档为单晶炉操作说明，旨在提供操作指南，确保正确、安全地操作单晶炉。

本文涵盖了单晶炉的基本知识、操作步骤以及相应的安全注意事项。

2.单晶炉基本知识2.1 单晶炉简介单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备，通过控制温度和环境条件来实现单晶材料的生长过程。

2.2 单晶炉组成单晶炉主要由以下组件组成：- 加热器：提供所需的加热能量，通常使用电阻加热方式。

- 容纳腔体：用于放置单晶材料和控制生长环境的空间。

- 控制系统：用于监测和控制加热器温度、生长环境等参数的设备。

3.操作步骤3.1 准备工作3.1.1 确保单晶炉设备处于正常工作状态。

3.1.2 检查加热器和温度控制系统的连接情况，确保正常工作。

3.1.3 准备好所需的单晶材料和其他辅助材料。

3.2 开始操作3.2.1 打开单晶炉的电源开关，启动加热器。

3.2.2 设置所需的生长温度，并等待温度达到设定值。

3.2.3 打开单晶材料放置腔体，并将单晶材料小心放置在适当的位置上。

3.2.4 根据需要，设置生长环境（如气体流量、气氛组成等）。

3.2.5 监测生长过程中的温度和其他关键参数，确保生长条件的稳定性。

3.2.6 根据所需的生长时间，保持稳定的生长条件，并监控生长过程。

4.安全注意事项4.1 在操作单晶炉前，确保已经了解并理解相关的安全规定和标准。

4.2 操作单晶炉时，穿戴适当的个人防护装备，如防护服、护目镜等。

4.3 注意避免在单晶炉周围堆放易燃和易爆物品。

4.4 在操作过程中，遵循设备制造商提供的操作指南和注意事项。

5.附件本文档涉及的附件包括：- 单晶炉设备操作手册- 单晶材料生长参数记录表6.法律名词及注释- 单晶材料：具有一个无缺陷晶体结构的材料，通常用于电子器件制造等领域。

- 加热器：一种用电阻加热的设备，用于提供加热能量。

拉晶工艺指导书一、有关说明（一）、晶体直径坩埚转动（连续可调）液压缸行程加热功率- 加热电压- 加热电流熔化温度主炉室真空泵抽速- 滑阀泵(主泵)- 旋片泵(副泵)冷态空炉子的极限真空度冷态炉子的泄漏率（压升法）允许工作正压不带泵和走道的空间要求总设备高度外围设施- 冷却水消耗量- 冷却水压力绝对压力最小最小最大最大最大最大大约大约最大1 - 30 rpm140 kW0 – 60 Volt2,300 Amp1,600 °C70 l/s15 l/s≤3 Pa0.3 Pa/min20 m /min21.5 kg/cm2.0 kg/c冷却水回水压力- 绝对压力- 冷却水进水温度最大最小最大1.5kg/cm20 °C25 °C23冷却水质量 - pH 值- 电阻> 10 -107 - 9Ohm cm- 硬度< 8 ° d 1 - Fe 离子- Cl 离子 < 0.1 ppm < 10 ppm备注：冷却水必须过滤，以便过滤脏物和有机悬浮颗粒，否则可能堵塞回路和产生局部沉淀。

详细 信息请参阅PW 800 943 NE 或 ND 。

氩气消耗最大100 Sl/min - 氩气压力，绝对值 - 氩气纯度 最大2.0 kg/cm ＞99.999％ 2电源- 频率 - 容量 - 保险 380 V + 10%,50 Hz 大约 190 kVA 3 x 500 Amp.备注：建议用户在厂房的电网配置中为每台设备提供单独的配电柜（盘），配电 柜内至少有两个空气开关（断路器），一个用于加热电源与电网的隔离，一个用 于控制柜与电网的隔离。

（二）、产品质量要求根据客户要求进行生产。

如：1、电阻率控制范围：0.5~6Ω·cm 。

2、无位错缺陷即小于等于 100/cm2。

3、氧、碳含量要求：O 含量≤1.0×1018cm-3、C 含量≤5.0×1016cm-3（三）、产品在生产周转中的标号：1、产品牌号标示参照国家有关标准：CZ —Si —P(B)—<100>为直拉法制造的 P 型单晶硅，掺杂剂为硼，晶向为 100（四）、工具46.+ -（五）化学试剂说明1、无水乙醇规格用量：用分析纯，广泛用于生产中的各个环节，用量相对较大，可以购置大瓶装。