热式质量流量计哪家好

BRONKHORST、BRONKHORST流量计、BRONKHORST压力传感器、BRONKHORST质量流量计、BRONKHORST控制器
上海蕴匠贸易有限公司特价供应荷兰BRONKHORST流量计、BRONKHORST压力传感器、BRONKHORST质量流量计、BRONKHORST控制器、BRONKHORST质量流量控制器、BRONKHORST 热式质量流量计。

BRONKHORST成立于1981年，是目前世界上最知名同时也是最大的生产热式质量流量计和控制器的专业性公司。

BRONKHORST获得Koning Willem、ISO9001、ISO14001认证。

BRONKHORST产品适用于实验室分析、半导体工业、化工工业和其他危险领域的不同应用需求。

BRONKHORST流量计可以选择的气体测量范围在0-3毫升/分钟到0-11000立方米/小时，液体测量范围在0-0.25克/小时到0-20公斤/小时(量程比50:1)，BRONKHORST压力传感器和控制器可以达到最小0-100mbar和最大0-400bar的测量范围。

BRONKHORST 流量计F-101D-PGD-00-V
BRONKHORST packing charges packing charges
BRONKHORST 质量流量计F-201CV-10K-AGD-22-V
BRONKHORST 质量流量计F-201CV-10K-AGD-22-V
BRONKHORST 流量控制器F-203AI-1MO-44-AGD-V HI-TEC。

气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。

不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。

由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。

1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。

1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。

具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。

协议简单可靠，兼容性强，易于组网。

配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。

气体流量不因温度、压力的变化而变化。

气阻较小，工作压力范围宽。

☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。

品牌:brooks
型号:5850E
类型:质量流量计
测量范围:0.03-30slpm（m3/h）
精度等级:1
公称通径:6（mm）
适用介质:专用气体工作压力:10（MPa）
工作温度:65（℃）
5850S/E气体质量流量计
美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面
的要求而设计的产品。

它与传统的体积流量仪器截然不同，BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。

因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。

被测流量可设计成质量或体积单位。

此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容，安装简便。

技术参数:
数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
流量范围:0.03-30slpm
最大工作压力:1500psi(10.432Mpa)
气路接头:1/4"VCR或1/4"SWG
电气接头:15Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
信号输出:RS-232/RS-485接口,4-20mA输出控制,TTL报警
内置微处理器，智能化、数字化。

软件组态，数字通讯，支持微软Windows动态数据交换。

流量范围：0-30L/MIN；
精度：1%FS；
最大压力：1500psi；
最高温度：65℃；
输入/输出：0-5V；
电源：+/-15V。

JZL 型热式气体质量流量计选型指南热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。

可应用于石油、化工、钢铁冶金、电力、轻工、医药、环保等工业部门的空气、氧气、氮气、氩气、氦气、烃类气体、天然气、煤气、烟道气的监测。

该产品可替代孔板，文丘里管，阿牛巴，涡街等流量计。

其特点是可靠性高，重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应速度快，测量精度高，无须温压补偿。

特别在大管径，低流速，流量范围变化大及特小流量测量方面具有明显优势。

鉴与以上特点，它也可以方便的作为流量开关使用。

对于密度值很小，雷诺数也较小的氢气流量测量，选用该表比选用孔板，涡轮，涡街流量计都更加优越。

它是一个非常合适的氢气流量计。

此外，我公司开发了可用于测量高炉煤气的流量传感器。

它克服了采用恒温差原理的热式气体质量流量计测量煤气流量时因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的零点漂移，导致无法测量的弊端。

它也可以用于测量湿气体的质量流量，如矿井下送风，排风系统中的风量（速）的实时检测。

该流量计结构型式灵活多样，分插入式和管道式二种，非常适合不同用户的选用，尤其是插入式质量流量计使管径大、压力低的流量（速）测量变得简单易行。

工作原理热式气体质量流量计是利用热传导技术为基础，实现气体质量流量的测量。

流量计的测量探头带有两个铂电阻传感元件（见图1），它们被置于流体中，其中一个通过加热功率Ｐ，使其温度升至Ｔ1；另一个不加热，用于监测介质温度，设为Ｔ2。

于是两个传感元件之间产生温差△Ｔ=Ｔ1－Ｔ2。

在流量为零时，△Ｔ最大，随着质量流量Ｑ的增大，传感元件Ｔ1的热量被带走，Ｔ1下降，△Ｔ减小。

故上述加热功率Ｐ、温差△Ｔ与质量流量Ｑ之间将会产生一定的关系。

可用下式表示：Ｐ/△Ｔ＝Ｋ1＋Ｋ2Ｆ（Ｑ）Ｋ3 ·······（1 ）上式中Ｋ1、Ｋ2、Ｋ3是与气体物理性质有关的常数。

从上式可看出通过测量加热功率Ｐ，温差△Ｔ的变化即可求得质量流量Ｑ。

罗斯蒙特流量计/美国ROSEMOUNT流量计工作原理罗斯蒙特质量流量计广泛应用于石化等领域，是当今世界上最先进的流量测量仪表之一，在我厂主要产品如乙烯、丙烯和主要原料轻烃等的测量中使用可靠，精度高达1.7‰，为我厂的能源、物料的流量测量提高了准确度，避免了不必要的损失，创造了可观的经济效益。

罗斯蒙特质量流量测量原理一台质量流量计的计量系统包括一台传感器和一台用于信号处理的变送器。

Rosemount质量流量计依据牛顿第二定律：力=质量×加速度(F=ma) 如图1所示，当质量为m的质点以速度V在对P轴作角速度ω旋转的管道内移动时，质点受两个分量的加速度及其力：(1)法向加速度，即向心加速度αr，其量值等于2ωr，朝向P轴；(2)切向角速度αt，即科里奥利加速度，其值等于2ωV，方向与αr垂直。

由于复合运动，在质点的αt方向上作用着科里奥利力Fc=2ωVm，管道对质点作用着一个反向力-Fc=-2ωVm。

当密度为ρ的流体在旋转管道中以恒定速度V流动时，任何一段长度Δx的管道将受到一个切向科里奥利力ΔFc：ΔFc=2ωVρAΔx (1)式中，A—管道的流通截面积。

由于存在关系式：mq=ρV A所以：ΔFc =2ωqmΔx (2)因此，直接或间接测量在旋转管中流动流体的科里奥利力就可以测得质量流量。

传感器内是U型流量管(图2)，在没有流体流经流量管时，流量管由安装在流量管端部的电磁驱动线圈驱动，其振幅小于1mm，频率约为80Hz，流体流入流量管时被强制接受流量管的上下垂直运动。

在流量管向上振动的半个周期内，流体反抗管子向上运动而对流量管施加一个向下的力；反之，流出流量管的流体对流量管施加一个向上的力以反抗管子向下运动而使其垂直动量减少。

这便导致流量管产生扭曲，在振动的另外半个周期，流量管向下振动，扭曲方向则相反，这一扭曲现象被称之为科里奥利(Coriolis)现象，即科氏力。

根据牛顿第二定律，流量管扭曲量的大小完全与流经流量管的质量流量大小成正比，安装于流量管两侧的电磁信号检测器用于检测流量管的振动。

热 式 气 体 质 量 流 量 计用户使用手册北京首科实华自动化设备有限公司Beijing Sincerity Automatic Equipment CO.，LTD目录安全使用仪表………………………………………………………… 1 概述…………………………………………………………………… 3 技术参数……………………………………………………………… 4 结构图………………………………………………………………… 5 电缆的安装方法……………………………………………………… 6 现场仪表安装………………………………………………………… 9 运行调试………………………………………………………………11 附录 1.结构尺寸图……………………………………………………20 附录 2. 故障排除 ……………………………………………………22 附录 3. 一般气体的密度和相对空气的转换系数……………………23 附录 4 常用气体量程上限……………………………………………25※安全使用仪表※感谢选购由我公司自主研发生产热式气体质量流量计， 热式气体质量流量计用户手册记录了如何正确、安全的使用本产品。

本品是气体流量测量的精密电子式仪表。

为了防 止仪表的损坏和发挥最佳性能和稳定运行，请在安装调试前，认真阅读本手册。

  阅读完毕本手册后请妥善并与本仪表一起流动保管。

请将本手册交与终端用户技术部门保存。

本手册中安全主要事项的重要等级以 危险 注意 进行分类。

注意如果忽视该提示警告而进行错误的操作， 可能造成人身伤害， 或者导致此仪表的和其他财产的损坏。

如果忽视该提示警告而进行错误的操作，可能造成人身伤亡，或 者重大安全事故。

危险以下标识可能出现在使用的用户手册中： 左图表示可能会造成危险的事项；左图表示必须引起注意的事项；左图表示禁止的事项。

第 1 页 共 25 页爆炸环境应用时选用防爆型仪表 确认仪表铭牌上是否有防爆认证标识及温度组别标识， 没有此标识的仪表不能用于爆炸的环境。

热式气体质量流量计选项注意事项气体质量流量计如何操作热式气体质量流量计是用于测量和掌控气体质量流量的仪表，区分于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。

一、应用领域：1、半导体制热式气体质量流量计是用于测量和掌控气体质量流量的仪表，区分于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。

一、应用领域：1、半导体制造行业；2、分析仪器设备行业；3、各种形式的真空镀膜设备；4、环境检测与分析设备；5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业；6、特种材料表面处理装置与燃烧；7、混气配气系统和泄露探测系统等。

二、选型注意事项：1.通过的介质。

热式气体流量计适用于各种气体，包括特别气体和腐蚀性气体。

以腐蚀性气体为例：腐蚀性气体通过流量计的时候假如流量计没有经过特别处理过，会由于腐蚀性气体的特性，造成密封元件等方面的故障，从而影响到了流量计的正常使用，因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。

另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。

2.量程范围（或者称之为流量范围）。

在流量计选型的时候，首先要确定所需流量计的量程问题，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算，非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。

3.压力范围。

HORIBAMETRON流量计耐压范围是3MPa,压差范围为（0.05—0.3）MPa。

3MPa以内无需任何补偿可直接安装使用；需注意的是有些行业需要在高压状态下工作，要明确压力范围是否充分。

4.接口通径。

选择接口时需针对管路情形进行选择，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok（或VCR），软管接头Ф4mm～Ф10mm等为主。

5.供电电压和掌控。

以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。

塞尔瑟斯热式气体流量计在CEMS系统中的应用一、问题的提出大多应用在热力厂和发电厂的CEMS系统，测量流量过程分析面对的困难与问题很多：高温、高粉尘、高水份、负压及腐蚀性等；工况条件通常是：烟气介质温度在150℃左右，热电厂的一次风或二次风一般在200℃，但个别也有的400℃左右，；流速一般在30m/s左右；准确度一般要求在1~2%左右；粉尘颗粒0～1000mg/m3；压力测量范围：-70～70mbar。

在这种条件下，应保证必要的检测准确度，应有较快的反应速度；应易安装、易标定；防尘、防溅、防腐等防护要求；应有较高的自动化程度，较少的维护工作量。

针对这些问题，我们通常有两种仪表可以选择：皮托管；热式气体质量流量计二、皮托管流量计与热式流量计的比较1、皮托管流量计结构图原理：通过测量压力来测量流速，操作时将测速管放在管内任意位置，使内管管口与流动方向向垂直，测得该位置上的动压与静压能之差，以hA或△p=RgρA。

一般将测速管放在管中心，测得的是管中心的最大速度。

速度计算公式：V=（2△p/ρ）1/2用皮托管测量流速存在的问题：1）为实现流速的测量，仪表得配备差压变送器，尤其是在小流速（10m/S）的的测量，由皮托管产生的压力很小，目前所配的微差压变送器的精度受本身制造工艺的影响，精度无法考虑；其流量系数受测管大小、工艺管径比、安装等因素的影响。

也就是说，要想兼顾整个量程段的准确度，从原理上是不可能的。

2）抗腐蚀性问题。

一般皮托管应用在CEMS系统中时，材质选用304、316L不锈钢，为了防止腐蚀，采取喷涂或套四氟材料等措施，但通过实际的应用时，都达不到理想的效果。

3）安装、维护问题。

由于用皮托管测量流速采用皮托管+差压变送器来实现，无形中增加了安装的复杂性，增加了整个系统中的结构紧凑性。

由于在CEMS系统中的应用易出现堵塞现象，为此大多采用皮托管测量流速的厂家，增加了反吹装置。

这无形中增加了单位面积的安装复杂度和维护复杂度；4）准确度问题。

关于热式气体质量流量计量原理热式气体质量流量计（Thermal Mass Flow Meter）是一种利用热量传导原理测量气体质量流量的设备。

它适用于测量各种气体的流量，包括常见气体、腐蚀性气体和高纯度气体等。

热式气体质量流量计的基本原理是通过测量气体通过测量管时的热量转移来确定气体的质量流量。

该装置由两个传感器组成，一个称为热丝传感器，另一个是温度传感器。

热丝传感器被加热，当气体通过测量管时，气体带走热量，导致热丝传感器的温度下降。

温度传感器用于测量热丝传感器的温度变化，并将其转换为电信号。

根据热量传导原理，当气体的质量流量增加时，热丝传感器上的温度下降的速率也会增加。

通过测量热丝传感器的温度变化率，可以计算气体的质量流量。

基本的计算公式如下：Qm=C*(Ts-To)其中，Qm表示气体的质量流量，C是一个常数，Ts是热丝传感器的温度下降速率，To是环境温度。

热式气体质量流量计有多种型号和结构，常见的有热丝式、热板式和热膜式三种。

不同类型的气体质量流量计基本原理相同，但具体实现方式略有不同。

热丝式气体质量流量计是最常见的类型之一、它由一个薄丝电阻加热器、两个温度敏感电阻和一个测量管组成。

薄丝电阻加热器通过加热薄丝来保持其温度不变，以消除环境温度的影响。

当气体通过测量管时，它带走薄丝上的热量，导致温度下降。

两个温度敏感电阻被用来测量热丝的温度变化。

通过测量这些温度变化，可以确定气体的质量流量。

热板式气体质量流量计是另一种常见的类型。

它由一个加热电阻、两个温度敏感电阻和一个热板组成。

热板被加热电阻加热，保持其温度不变。

当气体通过热板时，它带走热量，导致热板的温度下降。

两个温度敏感电阻用于测量温度的变化。

通过测量温度变化，可以确定气体的质量流量。

热膜式气体质量流量计是一种较新的技术，它利用微型薄膜作为传感器。

热膜通过热阻变化来识别流体的质量流量。

热膜和热丝式、热板式相比，具有更低的热容灵敏度和响应时间。

各种流量计的优缺点及适合的介质一、电磁流量计1、优点（1）电磁流量计可用来测量工业导电液体或浆液。

（2）无压力损失。

（3）测量范围大，电磁流量变送器的口径从到。

（4）电磁流量计测量被测流体工作状态下的体积流量，测量原理中不涉及流体的温度、压力、密度和粘度的影响。

2、缺点（1）电磁流量计的应用有一定的局限性，它只能测量导电介质的液体流量，不能测量非导电介质的流量，例如气体和水处理较好的供热用水。

另外在高温条件下其衬里需考虑。

（2）电磁流量计是通过测量导电液体的速度确定工作状态下的体积流量。

按照计量要求，对于液态介质，应测量质量流量，测量介质流量应涉及到流体的密度，不同流体介质具有不同的密度，而且随温度变化。

如果电磁流量计转换器不考虑流体密度，仅给出常温状态下的体积流量是不合适的。

（3）电磁流量计的安装与调试比其它流量计复杂，且要求更严格。

变送器和转换器必须配套使用，两者之间不能用两种不同型号的仪表配用。

在安装变送器时，从安装地点的选择到具体的安装调试，必须严格按照产品说明书要求进行。

安装地点不能有振动，不能有强磁场。

在安装时必须使变送器和管道有良好的接触及良好的接地。

变送器的电位与被测流体等电位。

在使用时，必须排尽测量管中存留的气体，否则会造成较大的测量误差。

（4）电磁流量计用来测量带有污垢的粘性液体时，粘性物或沉淀物附着在测量管内壁或电极上，使变送器输出电势变化，带来测量误差，电极上污垢物达到一定厚度，可能导致仪表无法测量。

（5）供水管道结垢或磨损改变内径尺寸，将影响原定的流量值，造成测量误差。

如100mm口径仪表内径变化1mm会带来约2%附加误差。

（6）变送器的测量信号为很小的毫伏级电势信号，除流量信号外，还夹杂一些与流量无关的信号，如同相电压、正交电压及共模电压等。

为了准确测量流量，必须消除各种干扰信号，有效放大流量信号。

应该提高流量转换器的性能，最好采用微处理机型的转换器，用它来控制励磁电压，按被测流体性质选择励磁方式和频率，可以排除同相干扰和正交干扰。