洁净车间环境监测
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洁净室环境控制要点 洁净车间环境监测分类及参数标准 车间环境监测方法 纯化水的检验方法及结果标准
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一、洁净室环境控制要点
温湿度、压差风速、 尘埃粒子、沉降菌、 浮游菌
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注:静态a:洁净室(区)在净化空气调节系统已安装完 毕且功能完备的情况下,生产工艺设备已安装、洁净室( 区)内没有生产人员的状态。 静态b:洁净室(区)在生产操作全部结束,生产操作人 员撤离现场并经过20min自净后。 动态:洁净室(区)已处于正常生产状态,设备在指定的 方式下进行,并且有指定的人员按照规范操作。
监测状态
静态测试(or动态)
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洁净度控制标准
不同洁净级别生产区域的控制标准
洁净度级别
静态尘粒最大允许数/立方米
≥0.5μm
≥5μm
100级
3,500
0
10,000级
350,000
2,000
100,000级
3,500,000
20,000
300,000级
10,500,000
60,000
动态测试时以低一级洁净度级别的静态标准为参考。
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二、洁净车间环境监测分类及监测结果标准
监测分类
试剂生产部
温湿度、压差、 风速
质量管理部
尘埃粒子、沉降菌、 浮游菌
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十万级洁净室参数标准
序号 1 2
项目 温度 相对湿度
3
压差
4
尘埃粒子
5
沉降菌/皿
6
浮游菌/m3
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