设备说明书
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人工智能设备使用说明书尊敬的用户:感谢您选择我们的人工智能设备。
为了确保您能够正确、安全地使用设备,本使用说明书将为您提供详细的使用指南和注意事项,请您仔细阅读。
一、设备介绍1. 设备外观:本设备为小型智能机器人,外观精致、结构简单、色彩鲜艳。
2. 产品构成:包含智能主机、操作面板、摄像头模块、传感器模块等核心部件,以及电源线、数据线等配套器件。
二、准备工作1. 电源:将电源线插入设备背部的电源插口,并接通电源。
2. 连接网络:使用数据线将设备与无线网络连接,确保设备正常工作。
三、基本操作1. 启动设备:按下设备背部的电源按钮,听到启动音后,表示设备已成功启动。
2. 声控功能:设备支持声控操作,在使用中请清晰、明确地发出操作指令,以确保设备能够准确识别并执行您的要求。
3. 触摸操作:操作面板上设有多个触摸区域,根据您需要的操作,轻触相应区域即可实现。
四、主要功能1. 人机对话:本设备通过智能语音识别技术,能够准确识别您的语音指令,并根据您的需求给出相应的答复和建议。
2. 语音助手:设备搭载了人工智能助手,能够为您提供日历管理、天气查询、音乐播放等各类服务。
3. 家居控制:设备支持智能家居控制,可连接您的智能家居设备,通过声音控制,实现灯光调节、窗帘控制等功能。
4. 娱乐功能:设备内置了丰富的儿童教育内容和音乐库,可以为孩子们提供娱乐和学习的机会。
五、注意事项1. 安装场所:请将设备放置在平整、稳固的桌面上,确保设备的稳定性和安全性。
2. 网络环境:确保设备与无线网络的稳定连接,以确保设备的正常使用和数据传输。
3. 使用环境:请避免将设备暴露在高温、潮湿等极端环境下,以免损坏设备。
4. 防护措施:请勿私自拆卸设备,以避免触电或损坏设备,并请勿将设备与水源、易燃物品等接触。
六、故障排除1. 无法启动:检查电源是否插好,并确保电源正常供电。
2. 语音识别异常:请确保使用环境安静,并清楚、准确地发出语音指令。
自动化设备使用说明书一、引言自动化设备使用说明书旨在向用户提供详细的操作指导,以确保设备的正确使用和安全运行。
本说明书适用于X公司生产的自动化设备型号A1。
二、设备概述1. 设备名称:自动化设备A12. 设备型号:A1-20213. 设备用途:自动化设备A1用于工业生产线上的自动化操作,能够提高生产效率和产品质量。
三、安全须知1. 在操作设备之前,请确保已经仔细阅读并理解本使用说明书。
2. 操作设备时,请穿戴适当的防护装备,包括安全帽、护目镜、耳塞等。
3. 在操作设备时,请确保设备周围的工作区域清洁整齐,避免杂物堆积和绊倒危险。
4. 使用设备时,请确保设备接地良好,避免触电危险。
5. 禁止未经授权的人员擅自操作设备,以免发生意外。
四、设备操作步骤1. 准备工作a. 确保设备已经连接到电源,并处于正常工作状态。
b. 检查设备周围的安全环境,确保没有危险物品或障碍物。
c. 穿戴适当的防护装备。
2. 启动设备a. 按下设备的电源开关,待设备启动完成后,进入待机状态。
b. 检查设备的各个部件是否正常运转,如有异常情况,请立即停止使用并联系维修人员。
3. 设备操作a. 根据生产需求,设定设备的工作参数,如速度、温度等。
b. 将待加工的物料放置到设备的进料口,并确保进料口畅通无阻。
c. 按下启动按钮,设备开始自动运行。
d. 在设备运行过程中,及时观察设备的运行状态,如有异常情况,请立即停止使用并联系维修人员。
e. 设备运行完成后,及时清理设备内部的残留物,并进行设备的维护保养。
五、故障排除1. 设备无法启动a. 检查设备是否连接到电源,并确保电源正常。
b. 检查设备的保险丝是否熔断,如有需要,请更换保险丝。
2. 设备运行异常a. 检查设备的各个部件是否正常运转,如有异常情况,请立即停止使用并联系维修人员。
b. 检查设备的工作参数是否正确设定,如有需要,请重新设定参数。
3. 其他故障如遇到其他故障或问题,请立即停止使用设备,并联系维修人员进行检修和维护。
设备使用说明书1. 产品概述本使用说明书旨在介绍和指导用户正确使用我们所提供的设备。
请在使用设备之前仔细阅读本手册,并按照说明进行操作。
本手册将涵盖设备的基本功能、操作步骤、注意事项以及常见故障解决方法。
2. 设备外观本设备外观精美、结构紧凑。
在设备正面,您将看到一个液晶屏显示器,用于显示各种信息和菜单。
设备侧面或后方可能会有各种接口和按键,用于连接外部设备或控制设备功能。
3. 功能介绍我们的设备具备以下主要功能,包括但不限于:- 功能一:详细介绍功能一的操作步骤和使用注意事项。
- 功能二:详细介绍功能二的操作步骤和使用注意事项。
- 功能三:详细介绍功能三的操作步骤和使用注意事项。
4. 使用步骤以下是设备的基本使用步骤,请按照顺序进行操作:步骤一:详细描述步骤一的操作流程和注意事项。
步骤二:详细描述步骤二的操作流程和注意事项。
步骤三:详细描述步骤三的操作流程和注意事项。
5. 注意事项在使用设备之前,请务必注意以下事项:5.1 安全要求:列出相关安全要求,如避免使用过程中接触水或其他液体等。
5.2 电源要求:明确设备的电源要求,如电压范围、插座类型等。
5.3 温度要求:指出设备的工作温度范围,以及应避免的极端温度条件。
5.4 维护保养:建议用户进行定期的设备维护和保养,以确保设备的正常运行。
5.5 其他注意事项:例如在特定环境下使用设备的限制等。
6. 常见问题解决方法本节将列举一些用户在使用设备过程中可能遇到的常见问题,并给出相应解决方法。
如果问题在本节中没有找到解决方法,请联系我们的售后服务部门寻求技术支持。
7. 保修条款我们的设备在正常情况下享有一定的保修期限。
在保修期内,如果设备出现问题,请联系我们的售后服务部门索取保修服务。
详细的保修条款和流程将在设备购买时提供给用户。
8. 联系信息如果您在使用设备过程中有任何疑问或需要技术支持,请联系以下联系信息:公司名称:XXX公司地址:XXX地址电话:XXX-XXXXXXX电子邮件:***********9. 免责声明本使用说明书中的所有信息和内容仅供参考。
机械设备使用说明书一、前言本说明书旨在为用户提供机械设备的正确使用方法和注意事项,确保设备的安全运行和延长设备的使用寿命。
请用户在使用机械设备之前详细阅读本说明书,并按照操作步骤正确操作设备。
二、设备概述本设备为XXX型号机械设备,主要用于XXX领域的XXX功能。
该设备采用先进的技术设计,具有高效、智能、稳定的性能特点,是您工作生活的良好助手。
三、使用步骤1. 开机准备:接通设备电源,确认设备周围环境无安全隐患;2. 调节设备参数:根据实际需求设置设备参数,确保设备运行在最佳状态;3. 启动设备:按照设备启动步骤操作,等待设备正常启动完成;4. 使用设备:根据操作手册指示,进行相应操作;5. 关机步骤:操作完成后,按照设备关机步骤正确关闭设备。
四、注意事项1. 请勿超负荷操作设备,避免对设备造成损坏;2. 使用过程中请保持设备通风良好,避免设备过热;3. 定期对设备进行清洁和维护,确保设备运行畅通;4. 使用过程中如遇异常情况,请立即停止使用并联系售后服务;5. 请避免将设备使用在潮湿、易爆等危险环境中。
五、维护保养1. 定期清洁设备表面和内部,保持设备清洁;2. 定期检查设备零部件是否松动,如有问题请及时固定;3. 定期加注润滑油,保证设备运转畅通;4. 定期检查设备电缆是否磨损,确保安全使用。
六、故障排除1. 如设备出现异常音响、异味等故障,请立即停止使用;2. 根据设备故障代码提示,检查相关部件是否正常;3. 如无法自行排除故障,请及时联系厂家或专业维修人员。
七、总结本说明书中所列内容为使用机械设备的基本操作方法和常见问题处理方法,用户在使用设备时请遵循相关规定,并按照本说明书正确操作设备。
相信通过正确使用和维护,本设备将为您的工作和生活带来便利与安全。
祝您工作愉快!。
自动化设备使用说明书引言概述:自动化设备的广泛应用已经成为现代工业生产的重要组成部分。
为了帮助用户正确、安全地使用自动化设备,使用说明书是必不可少的。
本文将从设备的基本操作、安全注意事项、故障排除和维护保养四个方面,详细介绍自动化设备的使用方法。
一、设备的基本操作1.1 设备启动与关闭- 在启动设备之前,确保所有电源和控制系统都已正确连接。
- 按照设备的操作手册上的指示,按顺序打开设备的电源开关。
- 在关闭设备之前,确保所有工作已经完成,并按照设备的操作手册上的指示,按顺序关闭设备的电源开关。
1.2 设备的操作界面- 熟悉设备的操作界面,包括触摸屏、按钮、开关等。
- 根据设备的操作手册,了解每个按钮和开关的功能和使用方法。
- 在操作设备之前,确保操作界面上的参数设置正确,并根据需要进行相应的调整。
1.3 设备的操作步骤- 根据设备的操作手册,按照正确的操作步骤进行操作。
- 注意设备的操作顺序和时间,避免操作错误导致设备故障或人身伤害。
- 在操作设备时,注意观察设备的运行状态,及时处理异常情况。
二、安全注意事项2.1 个人安全- 在操作设备之前,必须穿戴好个人防护装备,如安全帽、安全鞋、手套等。
- 注意设备周围的安全区域,确保没有其他人员或障碍物。
- 在设备运行时,不要将手、头或其他身体部位靠近运动部件。
2.2 设备安全- 在操作设备之前,确保设备的安全装置完好,并按照设备的操作手册正确设置。
- 避免设备超载或超速运行,以免损坏设备或引发事故。
- 定期检查设备的电气系统和机械系统,确保设备的安全性能符合要求。
2.3 环境安全- 在操作设备时,确保操作环境通风良好,并避免有害气体或粉尘的积聚。
- 注意设备周围的温度和湿度,避免影响设备的正常运行。
- 在操作设备时,避免使用易燃、易爆物品,以防发生火灾或爆炸。
三、故障排除3.1 常见故障- 根据设备的操作手册,了解常见的故障类型和解决方法。
- 注意观察设备的异常现象,及时判断故障的原因。
自动化设备使用说明书一、引言本使用说明书旨在为用户提供关于自动化设备的详细操作指南,以匡助用户正确、安全地使用设备。
本手册包含了设备的基本信息、操作步骤、注意事项以及故障排除等内容,用户在使用设备之前应子细阅读本手册,并按照说明进行操作。
二、设备概述1. 设备名称:自动化设备2. 型号:XYZ-1233. 主要功能:本设备适合于生产线上的自动化加工,能够实现工件的自动装夹、加工、测量、卸载等功能。
4. 技术参数:以下是设备的主要技术参数- 工作电压:220V- 功率:500W- 加工精度:±0.01mm- 最大负载:10kg- 控制方式:PLC控制三、操作步骤1. 设备准备a. 确保设备连接到稳定的电源,并检查电源线是否完好。
b. 检查设备周围是否有杂物,确保设备周围的环境整洁。
c. 检查设备的润滑油是否充足,并按照要求添加。
2. 设备启动a. 打开设备主电源开关,并确认设备显示屏是否正常显示。
b. 按照设备操作面板上的指示,选择相应的加工程序。
c. 按下启动按钮,设备将开始自动加工。
3. 设备操作a. 在设备操作面板上,设置加工参数,如加工速度、加工深度等。
b. 将待加工的工件放置在设备工作台上,并按照要求进行夹紧。
c. 按下加工开始按钮,设备将开始自动加工工件。
d. 在加工过程中,及时观察设备运行状态,确保加工过程正常进行。
e. 加工完成后,按下住手按钮,设备将住手工作。
4. 设备维护a. 每日保养:定期清洁设备表面,检查设备连接是否松动,清理设备内部的杂物。
b. 定期保养:按照设备维护手册的要求,更换润滑油、清洁滚珠丝杆等关键部件。
c. 故障排除:在设备浮现故障时,及时联系售后服务人员,并按照其指示进行故障排除。
四、安全注意事项1. 在操作设备前,务必熟悉设备的操作步骤和安全注意事项。
2. 使用设备时,应戴好防护眼镜、手套等个人防护装备,确保人身安全。
3. 严禁在设备运行时触摸运动部件,以免造成伤害。
设备使用说明书一、引言设备使用说明书是为了帮助用户正确、安全地使用设备而编写的一份指南。
本说明书将详细介绍设备的功能、操作步骤、注意事项和常见故障排除方法,以便用户能够充分了解并正确操作设备。
二、设备概述1. 设备名称:2. 设备型号:3. 设备外观:4. 设备功能:(在此处详细描述设备的功能,例如用途、特点、优势等)三、使用准备1. 开箱检查:(在此处说明用户在购买设备后应进行的开箱检查工作,包括检查设备是否完整、是否有损坏等)2. 电源接入:(在此处说明将设备接入电源的步骤,包括插头的插入、开关的操作等)3. 设备连接:(在此处说明用户根据自身需求所需进行的设备连接步骤,例如与电视连接、与电脑连接等)四、设备操作1. 开机与关机:(在此处详细说明设备的开机与关机操作方法,包括按键操作、遥控器操作等)2. 功能设置:(在此处说明设备的各项功能设置方法,例如屏幕亮度调节、音量调节、语言选择等)3. 操作步骤:(在此处逐步描述设备的操作步骤,例如打开设备后显示的菜单界面、菜单选项的选择方法等)4. 常用功能介绍:(在此处列举并详细介绍设备的常用功能,例如音乐播放、影片播放、拍照等)五、注意事项1. 安全使用:(在此处列举设备使用过程中需要注意的安全事项,例如不靠近易燃物、避免长时间使用等)2. 维护保养:(在此处说明设备的日常维护保养方法,例如定期清洁、避免水浸泡等)3. 使用环境:(在此处描述设备的使用环境要求,例如室内使用、通风良好等)4. 故障排除:(在此处列出常见的故障现象及其可能解决方法,例如设备不能开机、画面模糊等)六、保修信息1. 保修期限:(在此处说明设备的保修期限以及保修覆盖范围)2. 客户服务:(在此处提供客户服务的联系方式,例如电话号码、在线客服等)七、附录(在此处可根据实际情况添加设备的附加信息,例如技术规格、附件列表等)八、结语本设备使用说明书旨在帮助用户正确、安全地使用设备,并及时解决常见问题,提供满意的使用体验。
设备使用说明书一、产品概述本设备使用说明书旨在为用户提供详细的操作指南,帮助用户正确、安全地使用设备。
请在使用设备之前仔细阅读本说明书,并按照说明书的要求进行操作。
二、安全须知1. 在使用设备之前,请确保已经仔细阅读并理解本说明书中的所有内容。
2. 请将设备放置在干燥、通风良好的环境中,避免接触水或其他液体。
3. 在使用设备时,请确保电源插座与设备的电源线连接牢固,避免电源线被拉扯或受到其他物品的压迫。
4. 使用设备时,请勿将金属物品或其他导电物体接触设备,以避免触电事故的发生。
5. 如果设备出现任何故障或异常情况,请立即停止使用,并联系售后服务中心进行维修或更换。
6. 请勿擅自拆卸设备,以免损坏设备或造成人身伤害。
三、设备操作1. 设备开启与关闭a. 将设备连接到电源插座,并确保电源线连接牢固。
b. 按下设备的电源开关,设备将开始运行。
待使用完毕后,按下电源开关,设备将停止运行。
2. 设备设置a. 根据需要,可以使用设备的设置功能进行各项参数的调整。
具体的设置方法请参考设备的说明书。
3. 设备操作a. 使用设备前,请确保已经熟悉设备的各项功能和操作方法。
b. 根据需要,选择合适的操作模式,并按照设备的要求进行操作。
c. 在操作设备时,请注意安全,并遵循设备的操作指南。
4. 设备维护与保养a. 定期清洁设备的外壳,并确保设备通风良好。
b. 如发现设备有异味、漏电等异常情况,请立即停止使用,并联系售后服务中心进行维修。
c. 在设备长时间不使用时,请将设备断开电源,并妥善存放。
四、故障排除1. 设备无法开启a. 检查电源插座是否通电,电源线是否连接牢固。
b. 如电源正常,但设备仍无法开启,请联系售后服务中心进行维修。
2. 设备运行异常a. 如设备在运行过程中出现异常情况,请立即停止使用,并联系售后服务中心进行维修。
b. 在联系售后服务中心前,可以尝试重新启动设备,并检查设备的设置是否正确。
3. 设备故障代码显示a. 如设备显示故障代码,请参考设备的说明书,查找对应的故障解决方法。
设备操作说明书第一部分:设备简介1.1 设备名称及型号1.2 设备功能及特点1.3 适用范围及注意事项第二部分:安全须知2.1 设备安装前的准备工作2.2 设备使用过程中的安全事项2.3 紧急情况下的应急措施第三部分:设备组成及结构3.1 主要部件及功能介绍3.2 设备外观及标识说明3.3 设备结构图示第四部分:设备操作步骤4.1 设备启动与关闭4.2 基本操作功能的使用方法4.3 设备参数调节与设置4.4 操作注意事项和常见问题解答第五部分:保养与维护5.1 设备日常保养方法与周期5.2 设备故障处理与维修5.3 设备存放与运输注意事项第六部分:技术规格和性能参数6.1 设备的技术指标和性能参数6.2 相关标准和法规要求第七部分:附录7.1 常用术语解释7.2 相关图表和示意图7.3 联系方式及售后服务说明7.4 其他附加信息以上为设备操作说明书的基本结构,以下是对每个部分内容的详细描述:第一部分:设备简介本部分简要介绍设备的名称、型号、主要功能及特点,同时明确设备的适用范围并提示用户在使用设备时的注意事项。
第二部分:安全须知在设备启动和使用过程中,用户需要遵守一定的安全规范。
本部分将详细介绍设备安装前的准备工作,设备使用过程中的安全事项,并提供紧急情况下的应急措施。
第三部分:设备组成及结构用户需要了解设备的组成部件及其功能,以便正确操作和维护设备。
在本部分,将逐一介绍设备的主要部件,并附上设备的外观和标识图示。
第四部分:设备操作步骤本部分是整个操作说明书的核心部分,将详细介绍设备的操作步骤。
涵盖设备的启动与关闭方法、基本操作功能的使用方法、设备参数的调节与设置,以及用户在操作设备时需要注意的事项和常见问题解答。
第五部分:保养与维护设备的保养和维护对于设备的正常运行至关重要。
本部分将介绍设备的日常保养方法和周期,设备故障处理与维修的基本方法,以及设备存放和运输时需要注意的事项。
第六部分:技术规格和性能参数为了让用户全面了解设备的技术性能和规格要求,本部分将详细列出设备的技术指标和性能参数,并提供相关的标准和法规要求。
设备使用说明书设备使用说明书简介本文档提供了设备的详细使用说明,旨在帮助用户正确、安全地使用设备。
在阅读本文档之前,请确保您已经仔细阅读了设备的安全须知和注意事项。
目录1. 准备工作2. 设备操作3. 功能介绍4. 故障排除5. 常见问题解决1. 准备工作在开始使用设备之前,请仔细阅读以下准备工作,并确保您已经完成了所有的步骤。
1.1 检查设备请检查设备的外观是否完好,没有损坏或者缺失。
如果发现任何问题,请务必联系售后服务部门进行检修或更换设备。
1.2 电源连接根据设备提供的电源要求,选择合适的电源线,并将其连接到设备的电源插孔和电源插座中。
1.3 设备放置在使用设备之前,请将其放置在稳固的台面上,确保设备处于平稳的工作环境中,避免设备在工作时摇晃或移动。
1.4 附件连接如有附件需要连接,请根据附件使用说明书中的指示正确连接并固定。
2. 设备操作在您完成了准备工作后,可以开始进行设备操作。
请按照以下步骤进行设备操作。
2.1 开机按下设备的电源按钮,等待设备启动并进入工作状态。
在设备启动过程中,请耐心等待,不要进行其他操作。
2.2 操作面板设备的操作面板包含了各种操作按钮和指示灯。
请按照操作要求使用相应的按钮来进行操作。
2.3 菜单导航通过操作面板上的导航按钮,您可以浏览设备的菜单选项。
使用导航按钮上的上下左右键来选择和确认菜单选项。
2.4 功能选择通过菜单导航,选择您需要使用的功能选项。
根据功能的不同,可能需要进一步输入参数或进行其他操作。
2.5 使用结束在使用设备结束时,请按下设备操作面板上的关机按钮,并等待设备完全关闭。
在关闭设备之前,请确保将其连接的电源线拔下。
3. 功能介绍本节将介绍设备的主要功能和操作说明。
请仔细阅读并按照操作要求使用设备的各项功能。
3.1 功能一功能一的具体操作步骤和说明。
3.2 功能二功能二的具体操作步骤和说明。
3.3 功能三功能三的具体操作步骤和说明。
4. 故障排除在使用设备的过程中,可能会遇到一些故障或问题。
目录
1. 使用须知…………………………….. 16.
2.1 开机预热…………………..…… 15 2. 用途和特点………………………… 16.2.2 检查和调整零点………………… 15
3. 主要技术指标……………………… 36.2.3 通气工作………………………… 15
4. 结构和工作原理…………………… 46.2.4 关机……………………………… 15 4.1 结构………………………………… 47. 注意事项…………………………… 15 4.2 工作原理…………………………… 57.1 禁用流量介质……………………… 15
5. 安装和接线……………………… 77.2 使用腐蚀性气体问题……………… 15 5.1 外形及安装尺寸…………………… 77.3 阀口密封问题……………………… 16 5.2 气路接头形式……………………… 87.4 阀控操作注意……………………… 16 5.3 连接电缆插头……………………… 97.5 安装位置问题……………………… 16 5.4 与计算机或外部信号的连接……… 117.6 注意工作压差……………………… 16 5.5调零和外
调零........................... 127.7 标定和不同气体的换算............... 17 6. 使用方法和操作步骤.................. 137.8 D07-7B,7BM标准订单填写格式...... 18 6.1 质量流量控制器的操作............... 138. 故障判断和处理........................ 21 6.1.1 开机操作.............................. 139. 保证、保修与服务........................ 23 6.1.2 清洗功能.............................. 149.1 产品保证和保修.......................... 23 6.1.3 显示仪与计算机连接的操作...... 149.2 保修对使用的要求....................... 23 6.1.4 直接与计算机连接的操作......... 149.3 服务......................................... 23 6.1.5 阀控功能.............................. 1510. 附录....................................... 24 6.1.6 关机操作.............................. 1510.1气体质量流量转换系数............... 24 6.2 质量流量计的操作. (15)
10.2转换系数使用说明 (26)
MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER
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质量流量控制器和质量流量计
使用手册
1. 使用须知
尊敬的用户,感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。
本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者,请务必认真参阅本手册并理解后使用,在使用过程中,请注意带有标
志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害,本公司有权不承担责任。
本手册对您安装、维护及故障维修时,必不可少,请妥善留存保管。
2. 用途和特点
质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM) 用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管
测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图1所示)。
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表2. D07-7BM 型MFM性能指标编号项目 D07-7BM 型 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10) SLM
2 准确度±1.5 % F.S
3 线性±1 % F.S
4 重复精度±0.2 %F.S
5 响应时间
10 sec
6 气压降 <0.01 MPa
7 耐压 3 MPa
8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 9 输出信号 0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
10 电源 +15 V 50 mA -15 V 50 mA
11 外形尺寸
见图5
12 重量 0.92 kg
各型号产品的主要技术指标见表1和表2。
其中7BM型是7B型的流量测量部分,流量计量部分的技术指标相同。
4. 结构和工作原理
4.1结构
质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成;在质量流量计的基础上,再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。
7B型质量流量控制器, 打开外罩后的结构如图2所示。
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图2. 7B型质量流量控制器结构图
7BM型流量计与7B型控制器相比,在结构上的不同点,就是少了电磁调节阀,其它部分基本相同。
4.2工作原理
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与之配套的D08系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3位半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
本控制器与流量显示仪连接后的工作原理如图3所示。