段辉高-3-芯片制造中沾污控制
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第一次全国污染源普查工业污染源产排污系数手册第10分册第一次全国污染源普查工业污染源产排污系数手册第十分册 39 电气机械及器材制造业 40 通信设备、计算机及其他电子设备制造业 43 废弃资源和废旧材料回收加工业 44 电力、热力的生产和供应业 45 燃气生产和供应业 46 水的生产和供应业 . 国务院第一次全国污染源普查领导小组办公室第十分册 39 电气机械及器材制造业 40 通信设备、计算机及其他电子设备制造业 43 废弃资源和废旧材料回收加工业 44 电力、热力的生产和供应业 45 燃气生产和供应业 46 水的生产和供应业 . I 鸣谢在国务院第一次全国污染源普查领导小组办公室、第一次全国污染源普查工作办公室、国家环境保护总局相关司局的指导下中国环境科学研究院经过历时一年多的辛勤工作组织中国石油与化学工业协会等25家单位完成了第一次全国污染源普查工业污染源产排污系数的核算及系数手册的编写。
在此对给予项目组大力支持的地方环保部门、行业协会和科研院所、各兄弟单位、相关企业、行业专家、环保专家、向一切支持此项工作的单位和个人、向中国石油与化学工业协会等25家项目参加单位表示衷心的感谢。
II 目录使用说明 ................................................................. ................................................................1 3922电力电容器制造业 ................................................................. ........................................9 3940电池制造业 ..................................................................... .............................................. 13 3951家用冰箱制造业 ..................................................................... ...................................... 25 3952家用空调器制造业 ..................................................................... . (29)4011通信传输设备制造行业 ................................................................. ............................... 33 4012通信交换设备制造行业...................................................................... .......................... 39 4013通信终端设备制造行业...................................................................... .......................... 45 4014移动通信终端设备制造行业 ..................................................................... ................... 51 4019其他通信设备制造行业...................................................................... .. (57)4031广播电视节目制作及发射设备制造行业 ................................................................. .... 61 4032广播电视接收设备及器材制造行业 ..................................................................... ....... 67 4039应用电视设备及其他广播电视设备制造行业 ............................................................. 73 4041电子计算机整机制造行业 ............................................................................................ 79 4042电子计算机网络设备制造行业 ..................................................................... ............... 85 4043电子计算机外部设备制造行业 ..................................................................... ............... 91 4051电子真空器件制造行业...................................................................... .......................... 97 4052半导体分立器件制造业...................................................................... (109)4053集成电路制造业 ..................................................................... ....................................119 4059光电子器件及其他电子器件制造业 ................................................................. ......... 131 4061电子元件及组件制造业...................................................................... ........................ 137 4062印制电路板制造行业 ..................................................................... ............................ 147 4071家用影视设备制造行业...................................................................... ........................ 155 4072家用音响设备制造行业...................................................................... ........................ 161 4090其他电子设备制造行业...................................................................... (167)4310金属废料加工处理行业...................................................................... ........................173 4320非金属废料加工处理行业 ................................................................. ......................... 179 4411火力发电行业 ..................................................................... ........................................ 187 4430热力生产和供应行业包括工业锅炉 ................................................................... 235 4500燃气生产与供应行业 ..................................................................... ............................ 259 4610自来水的生产和供应行业 ..................................................................... (265)4690其他水的处理、利用与分配行业 ..................................................................... .........269 可类比相关行业系数的行业 ................................................................. ............................. 273 1 使用说明第一次全国污染源普查工业污染源产排污系数手册以下简称手册涵盖了占我国工业污染物产排量绝大部分的351个小类行业。
半导体产业之—污染控制(一)这几节小编将为大家解释污染对器件工艺、器件性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存在的污染类型和主要的污染源。
同时,也将对净化间规划、主要的污染控制方法和晶片表面的清洗工艺进行讨论。
首先来看看什么是污染。
污染是可能将芯片生产工业扼杀在摇篮里的首要原因之一。
半导体工业起步于由空间技术发展而来的净化间技术。
然而,事实表明,对于大规模集成电路的生产,这些技术水平是远远不够的。
净化间不得不与芯片设计和密度进步保持同步。
产业生长的能力依赖于每一代芯片提出的污染问题的解决。
昨天的小问题可能变成明天芯片的致命缺陷。
污染物类型半导体器件极易受到多种污染物的损害。
这些污染物可以归纳为四类:1.微粒;2.金属离子;3.化学物质;4.细菌;5.空气中分子污染。
接下来我们逐一的进行介绍。
微粒:半导体器件,尤其是高密度的集成电路,易受到各种污染的损害。
器件对于污染的敏感度取决于较小的特征图形的尺寸和晶片表面沉积层的厚度。
目前的量度尺寸已经降到亚微米级。
1um是非常小的。
1cm是它的1000倍。
人的头发的直径为100um。
这种非常小的器件尺寸导致器件极易受到由人员、设备和工艺操作中使用的化学品所产生的,存在于空气中的颗粒污染的损害。
由于特征图形尺寸越来越小,膜层越来越薄,所允许存在的微粒尺寸也必须被控制在更小的尺度上。
由经验所得出的一条法则是:为例的大小必须是第一层金属半个节距的一半。
半个节距是相邻金属条之间间距的一半。
落于器件的关键部位并毁坏了器件功能的微粒被称为致命缺陷。
致命缺陷还包括晶体缺陷和其他由工艺过程引入的问题。
在任何晶片上,都存在大量微粒。
有些属于致命性的,而其他一些位于器件不太敏感的区域则不会造成器件缺陷。
2011版国际半导体技术路线图良品率增强部分确定缺陷与良品率的相关性,并开发更敏感缺陷和污染检测设备,作为未来技术代良品率增强的基础。
金属离子:之前我们曾介绍过,半导体器件在整个晶圆上N型和P型的掺杂区域,以及在精确的N和P相邻区域,都需要具有可控的电阻率。
专利名称:一种多层次空心结构的二氧化硅包覆银纳米粒子及其合成方法、应用
专利类型:发明专利
发明人:党高飞,沈国栋
申请号:CN201711222501.4
申请日:20171129
公开号:CN107999743A
公开日:
20180508
专利内容由知识产权出版社提供
摘要:本发明公开了一种多层次空心结构的二氧化硅包覆银纳米粒子及其合成方法与应用,制得的纳米粒子尺寸为200‑500nm,比表面积为8~15m·g,外貌为草莓状,二氧化硅壳层中分布着微细孔道,其中银元素的质量分数高达61%,其合成方法具有反应条件温和、易于操作、投入小、能耗低、无污染的特点,空心粒子结构可降低整体结构材料的密度,具有微细孔道的空心粒子内部可作为微反应器进行催化反应,有利于吸附反应物质,增大与银纳米粒子接触面积和几率,充分发挥纳米银粒子的催化效率。
申请人:北京化大宏博应用技术研究院有限公司安庆分公司
地址:246000 安徽省安庆市开发区天柱山路80号市高新技术创业服务中心3号楼3-403、3-404室
国籍:CN
代理机构:合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙)
代理人:丁瑞瑞
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2009第7期绿色质量工程LED 芯片脏污与几种芯片工艺现象的辩识LED Chip Surface Dirt and Several Anomaly Phenomenon斯芳虎(厦门三安光电有限公司,福建厦门361009)Si Fang-hu (Xiamen Sanan Electronics Co.,Ltd.Fujian Xiamen 361009)摘要:文章介绍了几种常见的LED 芯片表面脏污类别以及预防对策,包括芯片制造商生产过程中产生和封装厂生产中带入的脏污,另外列举了几种与脏污容易混淆的芯片工艺异常现象。
关键词:LED 发光二极管;杂质;ITO 粗糙中图分类号:TM 205文献标识码:B 文章编号:1003-0107(2009)07-0030-03Abstract:This article describes several common LED chip surface dirt,including chip manufacturers company bring in the dirt and gpacking producter bring in .Enumerated several anomaly phenomenon of chip craft which easily confused with surface dirt.Key w ords:LED (Light Emitting Diode);Partical;ITO rough CLC number:TM205Document code:BArtecle ID:1003-0107(2009)07-0030-031引言LED 作为节能环保的新型能源材料,这几年在全球迅速发展。
2008年北京奥运开幕式LED 的惊艳亮相,使业界对于LED 的未来充满遐想。
在我国的珠江三角洲与长江三角洲LED 封装厂如雨后春笋般涌现出来。
然而,很多人对于LED 产品还是不了解,特别是对于LED 芯片就更陌生。
LED显示屏高灰阶高刷新技术探讨宗靖国;袁胜春;何国经;杨城;陈小卫【期刊名称】《现代显示》【年(卷),期】2012(000)009【摘要】本文介绍了一种显示屏控制系统的新技术,在基本款驱动IC的显示屏上,采用具有该技术的控制系统,可以实现高灰阶高刷新,保证在高速快门下拍照和摄像无黑线,无亮线,灰度基本完整,画面表现出色。
并且,通过控制系统和驱动IC的配合,突破了传统显示屏一直无法解决的余辉问题。
%By adopting new technologies in LED display control systems, performance of LED displays with common driver ICs are improved, deeper in gray scale, higher in refresh rate. Pictures or video of the display have complete gray scale and are free from dark lines and bright lines even under very quick shutters. The problem of ghost-lighting was solved as well.【总页数】5页(P335-339)【作者】宗靖国;袁胜春;何国经;杨城;陈小卫【作者单位】西安电子科技大学技术物理学院,陕西西安710071;西安电子科技大学技术物理学院,陕西西安710071;西安电子科技大学技术物理学院,陕西西安710071;西安电子科技大学技术物理学院,陕西西安710071;西安诺瓦电子科技有限公司,陕西西安710075【正文语种】中文【中图分类】TN312.8【相关文献】1.高刷新率LED驱动芯片中PWM控制电路的设计 [J], 陈培腾;王卫东;黎官华2.PWM调制LED显示屏高灰度高刷新的一种方案 [J], 袁胜春;刘延;赵小明3.从LED芯片评析LED显示屏的视觉刷新频率、灰度级数与LED利用率效能表现[J], 邱奕翔4.基于FPGA的高刷新率LED显示系统设计 [J], 耿迪;吴忠;张宇宁5.高灰阶硅基OLED微显示器的递归扫描算法 [J], 沈文心;冉峰;郭爱英;沈华明因版权原因,仅展示原文概要,查看原文内容请购买。