TCAD 仿真
刘钺杨 2019.04.13
北京工业大学
BJUT
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主要内容
• TCAD仿真软件简介 • 工艺仿真
• 器件仿真
• IGBT设计实例
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TCAD仿真软件简介
国际上常用的有四套工具:
• Tsuprem4/Medici (Avanti,被Synopsys收购) • ISE TCAD-Dios/Mdraw/Dessis
生长场氧 干氧-湿氧-干氧
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工艺仿真
mask(material=resist, thickness=800nm,xleft=16,xright=18) etch(material=ox,remove=1252nm,over=0,rate(isotropic=10)) etch(material=resist)
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工艺步骤模拟
• 离子注入 • Implant(……) 例如: implant(element=P,dose=4.5e15,energy=110keV, tilt=7,rotation=30)
• tilt=7,rotation=-90为默认参数 • 一般注入默认为“分析注入”,若需要采用其他注入参数, 可使用“MonteCarlo 注入”。
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Implant tilt=0,rotation=0
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Hale Waihona Puke Implant default tilt=7,rotation=-90
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工艺步骤模拟
• 热退火、氧化、外延生长、硅化物生长
• Diffusion(……)可以用于所有高温步骤