多角度激光椭偏仪SE400advanced使用操作说明
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激光测距仪操作说明书一.激光测距仪硬件介绍HUDLCD显示器RS232数据串口扳机LCD显示器二.测距仪的技术指标a)罗盘(抗磁性传感器,Post-Fluxgate 技术)i."0.5 º 精确度b)磁倾仪i."0.1 º 倾斜精度ii."40 º 倾斜范围c)测距i.精度–测85米外的白目标精度为0.1米ii.最大距离–1850米(反射目标)iii.最小距离–3米iv.高压输电线175米v.杆状标志400米vi.树(无叶)400米vii.建筑物,树(有叶)800米三.激光测距仪的基本操作3.1 如何校对激光测距仪●开启电源●按“MENU” 健●用>?键来进行功能选择●选择“COMP” 并按下“Enter” 键●选择“CAL” 并按下“Enter” 键●LCD显示窗显示“Initializing Please Wait!” &“Rotate Unit for Calibration” 信息●以射击的姿势扣住扳机. LCD显示窗显示“Data PointCount” 信息●慢慢转动Contour枪1-2圈. 每圈用45-60秒钟完成●慢慢转动Contour枪1-2圈. 每圈用45-60秒钟完成●在转动中,慢慢地从上到下,从左到右移动(±40º的范围)●虽着 Contour 的移动, 你将看到数据点(Data PointCount) 在增加。
当其值增加到275时,罗盘校对操作就完成了。
松开板机,系统恢复原来的设置●每次系统上电都必须要重复以上操做3.2 开机自检自检信息:仪器开机后将进行自检,自检信息将显示在LCD 显示屏上:Selft TestControur XLRic当自检信息结束后回到以前的测量界面时,说明自检成功,否则会出现以下错误信息:End Of Self Test*** Fall3.3 标准测量模式下的测量标准模式是仪器在开机后默认的模式,在这种模式下,仪器将显示所测目标的距离、方位和倾斜值。
椭偏仪操作规程范文椭偏仪是一种用于测量介质的光学性质的仪器,主要用于测量介质的双折射、石英厚度和光学旋光等参数。
以下是椭偏仪的操作规程,供参考:一、安全操作规范1.椭偏仪操作人员必须维护正常的工作环境,保持仪器周围干燥、清洁,并避免灰尘和其他杂质进入仪器。
2.在操作前,必须检查仪器是否有损坏或松动的部件,及时报修或更换。
3.在使用椭偏仪时,必须戴上防护眼镜,避免强光直接入眼,以减少潜在的伤害。
4.椭偏仪的电源必须接地,电源插头必须可靠固定。
二、仪器准备1.将椭偏仪放置在平稳的台面上,并将电源插头插入电源插座。
2.打开仪器前,先查看相关的仪器操作手册,了解仪器的基本原理和操作步骤。
3.检查椭偏仪的光路是否正常,是否需要调整或清洁。
三、样品准备1.样品必须干燥、洁净,避免有液体残留或灰尘等杂质。
2.样品的厚度和形状需要符合椭偏仪测试的要求。
3.样品放置在样品台上时,要使其平整,避免有空隙或倾斜。
四、仪器操作步骤1.打开椭偏仪电源,仔细检查仪器的显示界面,确保仪器正常启动。
2.调节仪器的照明光源,使其均匀、稳定。
3.进行背景测量:将样品台上放置纯净的玻璃片,调节椭偏仪使得光对样品台背景的偏振角度为45度,进行背景测量并记录相关数据。
4.将待测试样品放到样品台上,调节仪器使得光对样品的偏振角度为45度,进行测量并记录相关数据。
5.根据需要进行多次测量,取平均值作为最终的测量结果。
6.测量完成后,关闭仪器电源,清理仪器和工作区域,确保仪器和工作区域整洁。
五、数据处理和结果分析1.将测量得到的数据输入计算机,使用相关软件进行数据处理和分析。
2.根据测量结果,计算介质的双折射、石英厚度和光学旋光等参数。
六、常见故障排除方法1.仪器显示异常:检查电源是否稳定,重新启动仪器。
2.光路不正常:检查光源和检测器的连接是否正确,调整光路。
3.无法获取数据:检查是否连接了正确的接口,检查样品是否正常放置,重新进行测量。
以上为椭偏仪的操作规程,按照这些规范和步骤操作,能够确保测量结果的准确性和可靠性,同时保证操作人员的安全。
激光测距仪的使用方法与校准步骤激光测距仪是一种利用激光技术进行测距的仪器,广泛应用于建筑、测绘、仓储物流等领域。
它的使用方法和校准步骤对于保证测量精度至关重要。
本文将详细介绍激光测距仪的使用方法以及校准步骤。
使用方法:1. 准备工作:确保激光测距仪的电池充电状态良好,同时检查是否存在光脏污等物质,以免影响测量精度。
打开激光测距仪,等待其处于工作状态。
2. 目标对准:将激光测距仪对准待测目标,确保目标完全位于视场内,且没有任何物体遮挡。
3. 测量距离:按下测量按钮,激光测距仪会发射激光束,并接收反射回来的激光信号。
激光测距仪会自动计算反射激光的飞行时间,从而得到目标物体到激光测距仪的距离。
4. 数据处理:激光测距仪会立即显示测量结果,包括距离值、测量精度等。
若需要多次测量同一目标,应将激光测距仪保持稳定,确保多次测量结果的一致性。
校准步骤:激光测距仪的校准是保证测量精度和稳定性的重要步骤。
以下为激光测距仪校准的基本步骤:1. 高程校准:将激光测距仪放置在一个已知高程的点上,然后测量该点的距离值。
将测得的距离值与该点的实际高程进行比较,如果存在差异,就需要进行高程校准。
根据激光测距仪的说明书进行操作,进行高程校准。
2. 水平校准:水平校准是校准激光测距仪的水平仪器状态,保证测量时的水平度。
通常,激光测距仪自带水平校准功能,可以通过调整激光仪器的底座或其他方式进行水平校准。
3. 镜头校准:激光测距仪的镜头校准是为了保证测量焦点的准确性。
按照激光测距仪的说明书,通过调整镜头位置或使用校准工具进行镜头校准。
4. 温度校准:激光测距仪的工作环境温度会影响测量结果的准确性,因此进行温度校准十分重要。
根据激光测距仪的说明书,将其放置在已知温度的环境中较长时间进行校准。
可以采用外温度源等工具参与温度测量和校准。
需要注意的是,激光测距仪在使用和校准过程中应当避免阳光直射、尘埃和湿度较高的环境,以免影响测距仪的工作效果和精度。
全站仪使用操作说明全站仪是一种测量仪器,广泛应用于建筑、工程、测绘等领域。
它可以实现高精度的距离测量、角度测量以及测量数据的存储和处理。
本文将详细介绍全站仪的使用操作步骤。
一、开机与初始化1.将全站仪放置在平稳的地面上,并连接传输线缆和电源线。
2.按下电源开关,等待全站仪启动。
启动完成后,全站仪会自动进行校准和初始化,此过程需要等待一段时间。
根据具体型号的要求,通过操作面板上的相应按键完成初始化设置。
二、水平中心快速收敛1.在完成初始化后,全站仪会自动进入水平中心快速收敛模式。
此时,需要将全站仪定位到待测点上,并保持水平状态。
在操作面板上选择“水平中心快速收敛”选项,开始进行校准。
2.全站仪会发出激光束,通过观察仪器显示屏上的提示,将目标对准至激光束上。
根据仪器提示进行进一步操作,等待校准完成。
三、测量模式设置1.在校准完成后,可以通过操作面板上的菜单进行测量模式的设置。
常见的测量模式包括:角度测量、距离测量、坐标测量等。
2.根据实际需要选择相应的测量模式,在菜单中进行设置并确认。
四、角度测量1.进入角度测量模式后,全站仪会发出测向目标的激光束。
将目标对准激光束上,并观察显示屏上的读数。
如果有需要,可以通过操纵控制面板上的触摸屏或按键进行校准和调整。
2.在测量完一个目标后,可以通过操作面板上的菜单选择测量下一个目标或者退出角度测量模式。
五、距离测量1.进入距离测量模式后,全站仪会发出激光束测量目标点的距离。
将目标对准激光束上,并观察显示屏上的读数。
需要注意的是,高度差对距离测量有一定影响,如果需要更精确的测量结果,可以通过仪器的高度差补偿功能进行调整。
2.在测量完一个目标后,可以通过操作面板上的菜单选择测量下一个目标或者退出距离测量模式。
六、坐标测量与存储1.进入坐标测量模式后,全站仪会通过角度和距离测量目标点的坐标。
根据仪器的操作提示进行操作,将目标对准激光束上,并观察显示屏上的读数。
2.在测量完一个目标点后,可以通过操作面板上的菜单选择测量下一个目标点或者退出坐标测量模式。
激光测量仪的使用方法内容来源网络,由“深圳机械展(11万㎡,1100多家展商,超10万观众)”收集整理!更多cnc加工中心、车铣磨钻床、线切割、数控刀具工具、工业机器人、非标自动化、数字化无人工厂、精密测量、3D打印、激光切割、钣金冲压折弯、精密零件加工等展示,就在深圳机械展.一、使用前的准备(一)电池的装入/更换打开仪器尾部的固定挡板。
向前推卡钮,向下将底座取下。
按住红色的卡钮推开电池盒盖。
安装或更换电池。
关闭电池盒盖,安装底座和卡扣。
当电池的电压过低时,显示屏上将持续闪烁显示电池的标志{B,21}。
此时应及时更换电池。
1、按照极性正确装入电池。
2、使用碱性电池(建议不要使用充电电池)。
3、当长时间不使用仪器时,请取出电池,以避免电池的腐蚀。
更换电池后,设置和储存的值都保持不变。
(二)多功能底底座固定挡板可以在下面的测量情况下使用:1、从边缘测量,将固定挡板拉出,直到听到卡入的声音。
2、从角落测量,将固定挡板拉出,直到听到卡入的声音,轻轻将固定挡板向右推,此时固定挡板完全展开。
仪器自带的传感器将辨认出固定挡板的位置,并将自动设置测量其准点。
(三)内置的望远镜瞄准器在仪器的右部有一个内置的望远镜瞄准器。
此望远镜瞄准器为远距离测量起到辅助的作用。
通过瞄准器上的十字丝可以精确地观察到测量目标。
在30米以上的测量距离,激光点会显示在十字线的正中。
而在30米以下的测量距离,激光点不在十字线中间。
(四)气泡一体化的水泡使仪器更容易调平。
(五)键盘1、开/测量键2、第二级菜单功能3、加+键4、计时(延迟测量)键5、等于[=]键6、面积/体积键7、储存键8、测量基准边键9、清除/关键10、菜单键11、照明键12、间接测量(勾股定律)键13、减-键14、BLUETOOTH(六)显示屏1、关于错误测量的信息2、激光启动3、周长4、最大跟踪测量值5、最小跟踪测量值6、测量基准边7、调出储存值8、储存常数9、主显示10、单位,包括乘方立方(2/3)11、顶的面积12、墙面积13、3个额外显示(如:测量中间值)14、BLUETOOTH蓝牙开/关15、第二级菜单功能开16、硬件故障17、间接测量-利用勾股定律18、间接测量-利用勾股定律-部分高度19、面积/体积20、带常数的测量21、电池充电量显示二、菜单功能(一)设置在菜单中可以改变设置,并将其长久保存,并在关机和更换电池后不改变。
实验题目:椭偏仪实验目的:利用传统的消光法测量椭偏参数,使学生掌握椭偏光法的基本原理、仪器的使用,并且实际测量玻璃衬底上薄膜的厚度和折射率。
实验原理:见预实验报告。
实验步骤:1、调节仪器共轴。
调节激光与椭偏仪两个光道共轴,具体步骤为取四个中间有小孔的塑料塞,塞在椭偏仪的两个平行光管筒的四个孔上,用激光射向平行光管筒,使激光穿过四个塑料塞的小孔,尽量使四个塑料塞上没有红光,即激光全部从小孔中通过,则说明仪器共轴调好。
调好后将表盘调零。
2、安装检偏器在远离激光器一边的平行光管筒一边插上望远镜筒,在平台上放置一玻璃挡板,将平行光筒调过66°,调节玻璃挡板的角度使得激光射入望远镜筒,在平行光管筒上安上检偏器,内环调到0°,外环调到90°,刻度处竖直向上;然后用眼睛观察望远镜筒,微调检偏器,直至望远镜筒中的红点亮度最小,固定检偏器。
3、安装起偏器与1/4波片将玻璃挡板取下,并将平行光管筒调回0°处,将起偏器内环调到0°,外环也调到0°,刻度竖直向上挂到离激光器较近的平行光管筒上,然后眼睛注视望远镜筒,微调起偏器,直至红点光强最小时停止调整,固定起偏器。
然后将1/4波片安到起偏器上,注意用一只手固定起偏器内环,防止内环转动,同时用另一只手转动波片,眼睛通过望远镜观察红点光强,直至光强最弱,这时停止调整,此时的仪器已调整完毕。
4、寻找消光点将样品放到座台上,将平行光管筒调至40°处,调节样品角度使得激光射到平行光管筒中且可以在望远镜中看到红点。
先将起偏仪内环调到+45°,这时将起偏仪与检偏仪均调至0~90°间任何一值,在0~90°之间调节起偏仪,同时眼睛注视红点,发现红点光强有变化时,调节检偏仪,范围同样是0~90°,可发现光强变小,反复调节二者,直至找到光强最小处,记下此时起偏器与检偏器的读数;再将二者调到90~180°之间重复上述操作,得到另一组数据。
图1
打开软件,点击桌面上的“SE 40advanced”图标;
调整载物台高度、红外激光发射及接收的角度,确保光源发射后经薄膜物理作用能图2 图3 图4
图4
载物台的选择
测量单晶硅片时选用带有斜面的载物台①;测量多晶硅时选用小的圆形的载台②抛光片时选用大的可调高度的圆形载物台③;
图6
测试过程
6.5.1 从石墨舟上每舟抽取镀膜后的片子,共五片,抽取位置为每个温区正中间; 6.5.2 如下图所示,将镀膜后的片子放在椭偏仪SE4000的载物台上;
2
3
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图8
点击程序上的Measure键,等待测试结果出现在“th”和“n”栏,“th”栏显示值为n”栏显示值为折射率;。
椭偏仪操作规程一.目的使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后的SiN膜的厚度(d)和折射率(n).二.适用范围适用于CENTECH公司的SE 400advanced型号的椭偏仪三.设备主要性能及相关参数3.1 设备型号:SE 400advanced3.2 设备构成:A 光学系统部分:由支架、定位显微镜、线偏振光发射器(包括632.8nm 激光源)、椭圆偏振光接受和分析器组成。
此部分完成整个光学部分的测试。
B PC机部分。
此部分完成数据的分析和输出。
四.运行前的检查主要检查设备光学仪器部分是否损坏和电脑是否可正常使用。
五. 设备操作1. 启动软件将椭偏仪控制器和PC的电源打开,为了仪器快速可用和延长激光器寿命,推荐将椭偏仪控制器连续运转。
SE 400advanced程序通常被安装在文件夹:C:\program files\SE 400Adv\ApplicationFrame\SiAFrame.exe.使用资源管理器或者直接双击桌面的SE 400advanced图标,启动软件。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-1: SE 400advanced图标软件打开时会自动进入上次退出时的登陆用户界面。
Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-2: SE 400advanced 用户认证通过菜单"Logon",能够添加、更改或删除用户和用户权限。
2. 用户主窗口1342 Fig. 错误!文档中没有指定样式的文字。
-3: SE 400advanced主窗口最后一次使用的模式会被自动加载。
通过菜单,工具栏或模式列表,能够选择另外的模式。
在软件界面的右下角,一个图标(2)用来显示椭偏仪控制器的连接状态,它通常显示为绿色。
如果显示不为绿色,请检查椭偏仪和控制器之间的网络连接是否正常,并检查屏幕右下角的任务栏的网络状态。
3. 样品测试1)在recipe下拉菜单中选择08 Si3N4 on silicon 100 nm .2)将样品平放于测试台,并定位3)通过按来开始测量,测量完成后,结果被显示在主结果区(3)和protocol区(4)。