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氦检漏步骤
1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”
灯亮起，等待系统运行
3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，
一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待
几分钟）
4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过
10MPa,否则机器易损坏，
5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”
6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
全部完成充氦
后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。
氦气检漏仪操作方法
氦气检漏仪是一种常用的气体检测仪器，用于检测气体泄漏。
下面是一般的氦气检漏仪操作方法：
1. 准备工作：确认氦气检漏仪内部的氦气供应充足，并确保仪器与气源（通常是氦气罐）连接良好。
2. 打开氦气供应：打开氦气检漏仪上的气源开关，让氦气进入仪器。
3. 设置检测灵敏度：根据需要，使用仪器上的调节钮或菜单设置灵敏度。
如果需要更高的灵敏度，可以选择较低的数字或更窄的范围。
4. 目标定位：将氦气检漏仪靠近要检查的目标区域，使用仪器上的探头或喷嘴对准目标区域。
5. 开始检测：按下仪器上的检测按钮或触发器，开始释放氦气。
仪器将开始检测周围空气中的氦气浓度，并显示结果。
6. 观察仪器显示：观察仪器上的指示灯、数字显示或屏幕，以确定是否检测到气体泄漏。
一般情况下，如果检测到泄漏，仪器会发出声音或显示相关警告。
7. 确认检测结果：如果仪器显示检测到了泄漏，可以通过改变仪器位置或调整
灵敏度来定位泄漏源的具体位置。
8. 关闭氦气供应：检测完成后，关闭气源开关，停止供氦。
9. 清洁和存储：清洁仪器的外壳和探头，将仪器存放在安全干燥的地方，避免物品压迫或受潮。
请注意，以上仅为一般操作步骤，具体操作方法可能会因仪器型号和制造商的不同而略有差异。
因此，在使用氦气检漏仪之前，最好阅读并按照制造商提供的操作手册进行操作。
同时，确保在操作中遵守相关安全操作规程，并使用个人防护设备，如手套和眼镜。
氦质谱检漏仪校准方法
氦质谱检漏仪广泛应用于空调、制冷、化工、航空航天等领域，用于检测系统中的泄漏点。
为了确保检测精度和可靠性，应定期对氦质谱检漏仪进行校准。
校准前准备：
1.确认所需校准气体类型及浓度；
2.检查仪器是否处于正常工作状态。
校准步骤：
1.连接校准气体并进入“校准”模式；
2.将氦质谱检漏仪置于校准室内，在室内进行预热处理；
3.根据校准气体类型及浓度设置仪器参数，确保仪器读数正确；
4.开始校准，根据校准气体设置参考值，比较仪器读数与参考值的误差，根据误差调整仪器灵敏度；
5.校准后进行零点校准，将仪器读数调整至零点。
校准后测试：
校准后应进行测试，检测仪器是否能够准确检测泄漏点。
如有异常，应重新进行校准。
总结：
氦质谱检漏仪是一种高精度检测仪器，校准是确保其准确性和可靠性的重要步骤。
根据需要，建议定期进行校准，以保证检测结果的准确性。
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SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
正压法氦质谱检漏
正压法氦质谱检漏是一种常用的气体检漏方法，它利用氦气的小分子直径和低扩散系数特性，通过正压法将氦气注入被检测物体的内部，然后使用氦质谱仪检测被检测物体表面或密封边界是否存在漏气点。
正压法氦质谱检漏主要包括以下几个步骤：
1. 准备工作：将氦气充入质谱仪并建立质谱仪与被检测物体之间的连接。
2. 真空处理：在被检测物体内部建立一定的真空，以确保检测结果的准确性。
3. 注氦：将一定压力的氦气注入被检测物体的内部。
通常可以使用氦气罐或氦气压缩机进行注氦。
4. 检测：打开质谱仪，并进行氦气泄漏检测。
质谱仪将通过检测氦气的质谱信号，确定是否存在氦气泄漏点。
如果存在泄漏点，质谱仪将显示泄漏量的大小。
正压法氦质谱检漏的优点是灵敏度高、精确度高，能够检测到微小的气体泄漏点。
同时，由于氦气是稀有气体，对环境的影响较小。
然而，正压法氦质谱检漏也存在一些局限性，如设备价格较高，操作复杂，需要专业的操作人员等。
因此，该检漏方法主要适用于对泄漏点精确度要求高的场合。
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。
其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。
具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。
2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。
3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。
4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。
5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。
6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。
7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。
需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。
此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。
氦质谱检漏试验是一种常用的无损检测方法，主要用于检测设备或容器的密封性能。
其基本原理是通过氦气的渗透或压力差，检测设备或容器的漏气情况，从而判断其密封性能的好坏。
氦质谱检漏试验方法一般包括以下几个步骤：
1.准备测试设备：将待检设备或容器进行清洗和干燥处理，确保表面干净无油污和杂质。
2.安装氦质谱检漏仪：将氦质谱检漏仪安装到测试设备上，并连接好气源和检漏探头。
3.进行氦质谱检漏测试：在测试设备的接口处注入氦气，并通过检漏探头监测氦气泄漏的情况。
氦气泄漏的情况可以通过氦质谱检漏仪的显示屏或声音提示来判断。
4.分析测试结果：根据测试结果，判断设备或容器的密封性能是否符合要求，并确定是否存在漏气问题。
需要注意的是，氦质谱检漏试验需要在无风的环境下进行，以避免氦气的外泄。
同时，氦质谱检漏试验也不能完全替代其他检漏方法，应根据实际情况选择合适的检测方法。
氦检漏工艺规程（嗅吸法）Procedure For Helium Leak Detection(Method: Sniffer)1.仪器：INFICON UL200Equipment: INFICON UL2002.氦气：纯度＞99%Helium: Purity＞99%3.应用范围：换热器管子与管板焊接接头。
Application: welding joint of tube and tube-sheet for heat exchanger4.试验：Detection procedure:(1)准备：设备内，外表面应保持清洁，干净，干燥，不允许有焊渣，油污及其他影响检漏的物质存在。
Preparation: vessel to be tested shall be kept clean, nest and dry withoutany welding slag, oil contamination and foreign material that may affectdetection precision.(2)预检：壳程内充入0.3Mpa的干净，无油，无水压缩空气作气密试验，保压时间不小于1小时，然后对所有焊接接头喷皂液检漏，不允许有任何泄露发现。
Pre-inspection: purge shell side with clean, oil-less and dry compressed airfor pneumatic test. Soap bubble spray shall be used to check all weldingjoints after pressure holding time is more than one hour. No leaking meansqualified.(3)干燥：预检合格后，卸压，然后用干净、无油，无水的压缩空气吹扫管板表面。
Drying: holding pressure can be released when pre-inspection is qualified.Then purge tube-sheet with clean, oil-less and dry compressed air.(4)检漏：Leak detection:(5)利用仪器自带的内置式标准漏孔，对仪器作内校准。
氦气检漏仪精度检验作业指导书一、目的：对设备的精度进行检验，提高设备的检验精度，保证产品的检测精度。
二、范围适用于公司所有设备三、检验周期每周对设备进行定期检验四、职责1.设备的检验操作由设备部安排人员进行操作，并且对设备的精度进行校正。
2.检验和校正的结果由质检部进行记录和存档。
五、操作程序从吸入口，拆下分流组件，将打开的氦测试漏孔连到吸入口。
再按一次START按钮图。
吸入口被抽空，然后测量和显示测试漏孔漏率。
按STOP按钮图中止测量。
将显示“待机”模式。
再按一次STOP按钮图，直到显示器出现STAND-BY/VENTED 信息为止，于是入口被破空放气，从吸入口拆掉氦测试漏孔，再把分流组件装回吸入口5.1氦测试漏孔的应用5.1.1用于真空泄漏检测CALIBRATED LEAK TL 4-6用小法兰接头接到检漏仪上，而且可用于微调质谱仪并用于检查时间回应和检测灵敏度。
5.1.2 微调检漏仪在粗率真空范围中。
为了校准检漏仪在总的泄漏范围内，使用泄漏校准瓶本身给出的名义泄漏率。
该泄漏率通过操作出口螺钉（2/3）来获得，这样压力表上显示的压力bar将是零，为了该目的，贮水槽的闭塞阀（2/2）必须要关闭。
泄漏校准瓶TL4-6直接连到泄漏检测仪的检测端口。
现在，检漏仪可以被校准到泄漏校准瓶的名义泄漏率了。
当关闭闭塞阀隔膜片（2/6）时，也有可能可以检查零水平。
尽管闭塞阀隔膜片（2/6）很长时间保持关闭状态，开口上（“吞”氦气）将不会发生不好的峰值。
微调检漏仪后，如果需要——也作为压力计压力的功能（它能够使用TL 4-6的总的泄漏流动范围）可以画出一条独立的泄漏流动率的校准曲线。
对于工业校准曲线请参照第6节。
5.1.3 确定真空系统的监测灵敏度和回应时间。
为了该目的，TL 4-6应该装在设备的最远点。
关闭泄漏关闭阀（2/6），用出口螺钉调节压力表上指示的压力，这样，泄漏校准瓶就会提供想要的的泄漏率，但这仍要监测。
氦质谱检漏方法
氦质谱检漏方法是一种常用的检测气体泄漏的方法，使用氦气作为探测气体。
具体步骤如下：
1. 将被检测的系统或设备充满氦气，通常使用氦气罐或氦气瓶进行充气。
2. 在系统或设备的周围布置氦气检测仪器，包括质谱仪、探测器和监测器等设备。
3. 打开质谱仪和探测器等设备，使其开始工作。
4. 然后，在被检测的系统或设备上寻找潜在的泄漏点，可以使用氦气探测仪进行寻找。
5. 当氦气从泄漏点泄漏出来时，探测器会将泄漏气体中的氦气探测到，并转变成质谱信号。
6. 质谱仪会将探测到的质谱信号转化为相应的电信号，并通过监测器进行显示和记录。
7. 根据监测器上显示的信号强度，可以判断泄漏的位置和程度。
8. 检测完毕后，关闭质谱仪和探测器等设备，并及时排放残余的氦气。
氦质谱检漏方法的优点是敏感度高，能够检测到非常微小的气体泄漏。
而且氦气为无毒、无害的气体，对环境和人体无害。
因此，氦质谱检漏方法被广泛应用于空调、制冷、真空、压缩空气、液化气体等行业中的泄漏检测。
Revision修订号：1Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page页码：1 of 41General概述This specification covers the procedure of helium leak test.本规程规定了氦检漏的操作规程。
2Notes注意事项2.1Helium is lighter than air and can cause choking. The operator should pay attention to self-protection.氦气比空气轻且能令人窒息，操作人员应注意自我防护。
2.2The test site should be dry, lightful, with no airflow or electromagnetic disturbances.试验场地应干燥，光线明亮，无明显的气流和电磁场等外界干扰。
2.3The test site environmental humidity should be less than 75%; the test site environmental temperature shallnot be lower than 15.6 ℃ when the equipment needs to be vacuumed.试验场地环境湿度应＜75%，待设备需抽真空时，试验场地环境温度不低于15.6℃。
2.4All of the components shall be verified that they can withstand the pressure, vacuum or heating during thetest.应确认待检设备的所有组件可承受试验过程的增压、保压、真空或加热干燥。
2.5Helium leak test to be carried out prior to hydro-test.氦检漏应在设备耐压试验前进行。
2.6Make sure no dirt on welding seams which may affect the leak test. All open nozzles should be closed. Theequipment should be stable when being tested.焊缝表面无可能遮蔽泄漏的污物；检验时，所有敞口管应密闭，设备应稳固。
3Test Procedure检验程序3.1Mounting and connecting equipment and instruments according to the diagram.Revision修订号：1Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page页码：2 of 4按图安装和连接设备与仪器。
3.2The helium leak detector should be preheated before the test and the preheating time shall not be less than10 minutes; Calibrate the detector with the permeability type standard hole in the test instrument, theinstrument sensitivity shall be at least 1×10-10Pa•m3/s (=1×10-9mbar•l/s).试验前，检测用氦质谱检漏仪应先通电预热，预热时间不得少于10分钟；使用检测仪所配带的渗透型标准孔进行校准，仪器灵敏度每刻度至少为1×10-10Pa•m3/s(=1×10-9mbar•l/s)。
3.3System calibration: after sniff probe and mass spectrometer connected, a system calibration shall be takenprior to leak test. The distance between the sniff probe and the standard leaking hole shall be within 3.2 mm during calibration. The scanning rate shall not exceed the detected leak rate of standard leakage hole, determining the response time of the system and the cleaning time, cleaning time should be as short as possible.系统校准：嗅吸探头与质谱检漏仪连接后，应进行检验前系统校准，校准时，探头嘴与标准漏孔保持在3.2mm以内，对检验系统的扫查速率不应超过能检出标准漏孔泄漏率，确定系统的响应时间和净化时间，净化时间应尽可能短。
3.4Use blank flanges and gaskets to seal all open nozzles.使用盲法兰和垫片封堵所有的接管。
3.5Fill helium into vessel, helium concentration should be greater than or equal to 10% volume concentration.The equipment test pressure shall not be more than 25% of the design pressure or 0.103MP. After reaching the concentration and pressure, close the inlet valve, hold for 30 min under the test pressure.内部充氦气，氦气浓度应≥10%体积浓度，设备试验压力为不大于设备设计压力的25%或0.103MPa，达到规定的浓度和压力时，关闭进气阀，在试验压力下保压30min。
3.6Sweep the vessel surface by sniff probe, scanning rate shall be according to the scanning rate of systemcalibration.用嗅吸探头嘴扫过检查表面，要求扫查速率按校准时规定。
3.7During the scanning period, the distance between the sniff probe and the inspection surface shall be keptwithin 3.2 mm.扫查期间探头嘴与检查表面之间的距离保持在3.2mm以内。
3.8Scanning direction starting from the lowest point of the vessel, and then move upwardgradually.Revision 修订号： 1 Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page 页码：3 of 4扫查方向从容器最低点开始，而后渐进向上扫查。
3.9 The vessel can be accepted if the leakage rate of sniff probe detected is no more than 1×10-6Pa •m 3/s (=1×10-5mbar •l/s). When detected leakage is out of the acceptable range, use color pen to mark the area and test again after repaired. 嗅吸探头检测的泄漏量不超过1×10-6Pa •m 3/s (=1×10-5mbar •l/s)，则该容器可验收；当检测到超标的泄漏时，用色笔对泄漏的位置作出标记，卸压后按相关要求返修，返修后重新检测。
3.10 A ll involved inspectors shall sign the report as per AFW/Evonik approved ITP after successful completion of helium leak test. 所有相关检验人员需要按照AFW/Evonik 批准的质量检验计划在氦检漏完成后在检验报告上签字。
1- Helium mass spectrometer 2-sniff probe detection 3-Vessal 4-Helium 5-Calibration holeRevision修订号：1Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page页码：4 of 4Appendix附录氦检漏检验报告HELIUM LEAK TEST REPORT产品名称Product Name 产品编号Serial No.标准检漏孔漏率Leak Rate of Standard hole 最小可检漏率Min. Test Leak Rate检漏仪型号Leak Detector Model技术要求Specification 检测过程Test Procedure检测结果Test Result备注Remark检验员/日期Examiner/Date 质控经理/日期QC Manager/Date。
