1引言微纳光学主要指微纳米尺度的光学效应，以及利用微纳米尺度的光学效应开发出的光学器件、系统及装置。
微纳光学不仅是光电子产业的重要发展方向之一，也是目前光学领域的前沿研究方向。
微纳光学的发展是由大规模集成电路工艺水平的进步所推动的。
早在20世纪50年代，德国著名教授A.W.Lohmann [1]就考虑到利用光栅的整体相移技术对光场相位编码，以实现对光波的人工控制。
1964年夏季，A.W.Lohmann 教授指导大学生Byron ，利用IBM 当时先进的制版设备演示了世界上第一张计算机全息图。
随后的衍射光学进展都可以看作是人为地控制或改变光的波前，从这个意义上说，这个工作具有革命性的意义。
随着半导体工艺技术的进步，微米尺度的任意线宽都可以加工出来。
由此，达曼提出一种新型的微光学分束器件，后人叫做达曼光栅[2]。
达曼光栅通过任意线宽的二值相位调制，将一束激光分成多束等强度的激光。
其制作充分利用了微电子工艺技术，是一个典型的微光学器件[3]。
达曼光栅一般能产生一维或者二维矩阵的光强分布。
周常河等[4]提出了圆环达曼光栅，也就是不同半径的圆孔相位调制，实现多级等光强的圆环分布。
我们知道，圆孔的傅里叶变换是贝塞尔函数，而矩形的傅里叶变换是SINC 函数，因此，虽然达曼光栅和圆环达曼光栅的物理本质一样，但是其数学处理却不相同[5]。
随着制造技术水平的进步，出现了一些纳米光学领域的新概念：光子晶体（Photonic Crystal ）[6]、表面微纳光学结构及应用Micro-&Nano-Optical Structures and Applications摘要简短回顾微纳光学的几个重要研究方向，包括光子晶体、表面等离子体光学、奇异材料、负折射、隐身以及亚波长光栅等。
微纳光学不仅成为当前科学的热点研究领域，更重要的是，微纳光学是新型光电子产业的发展方向，在光通信、光存储、激光核聚变工程、激光武器、太阳能利用、半导体激光、光学防伪技术等诸多领域，起到了不可替代的作用。
