激光干涉仪应用原理(八)——激光干涉测量

激光干涉仪的原理
激光干涉仪的工作原理主要基于试验光线和参考光线间的相干干涉现象。

通过干涉方式，可以直接或间接地测定物质的光学性质和几何参数，如折射率、厚度、温度、压力、振动、应力等。

首先，由激光源发出的激光经过分光器被分成两束。

一束作为参考光定向传播，另一束作为试验光无规则传播。

由于试验光经过物质介质后，其相位会发生改变，而参考光的相位则保持不变。

当参考光和试验光在相干条件下汇聚到一点时，两束光波的相位差就会在图像中形成干涉暗纹和亮纹。

干涉图案由于光波的干扰而产生。

当两束光的光程差为整数倍的波长时，干涉图案呈现亮纹。

当光程差为半整数倍的波长时，干涉图案呈现暗纹。

通过观察和分析这些干涉纹，可以精确地测定物质的光学性质和几何参数。

激光干涉仪的优点在于其测量的精度和灵敏度都非常高。

可以实现纳米级甚至皮米级的测量精度，广泛适用于国防科技、生命科学、物理化学、微电子制造等各个科技领域。

要点: 1) 激光干涉仪通过激光干涉的原理来测定物质的光学性质和几何参数；2) 激光干涉仪的测量精度和灵敏度都非常高，可达到纳米级甚至皮米级。

激光干涉测量xxxxxxxxxxxxxxx 摘要：干涉测量技术是以光波干涉原理为基础进行测量的一门技术。

20世纪60年代以来，由于激光的出现、隔振条件的改善及电子与计算机技术的成熟，使干涉测量技术得到长足发展。

本文介绍了激光干涉的基本原理。

关键词：激光干涉测量双频激光干涉仪由于科学技术的进步，干涉测量技术已经得到相当广泛的应用。

一方面因为微电子、微机械、微光学和现代工业提出了愈来愈高的精度和更大的量程，其它方法难以胜任；另一方面因为当代干涉测量技术本身具有灵敏度高、量程大、可以适应恶劣环境、光波和米定义联系而容易溯源等特点，因而在现代工业中应用非常广泛。

激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。

用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以大大的扩展；而且由于它的光束发散角小，能量集中，因而它产生的干涉条纹可以用光电接收器接收，变为电讯号，并由计数器一个不漏的记录下来，从而提高了测量速度和测量精度，比如说我国自行设计与制造的以氦氖激光器作为光源的光电光波比长仪，可以在20分钟之内把1米线纹尺上1001条刻线依次自动鉴定完毕，精度达到±0.2μm，这就是激光干涉仪的成功例证。

一、激光干涉仪的介绍激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量，有单频的和双频的两种。

1、单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。

当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。

使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

2、双频激光干涉仪双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪，，双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定，既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。

激光干涉仪原理及应用
激光干涉仪是一种利用激光光束干涉现象进行测量和检测的仪器。

它利用激光的单色性、相干性和定向性等特点，通过激光光束的干涉现象来测量光线的相位和波前差，从而达到测量目的。

激光干涉仪的原理和应用都具有重要的科学研究价值和实际应用意义。

激光干涉仪的原理可以简单描述为：两束激光光束通过分束器分开，分别在一边经过样品（或目标物）后再次合并在一起，然后通过干涉物后进入光电探测器进行信号采集。

当两束光经过样品后的相位有差异时，就会产生干涉，形成干涉条纹。

通过观察和分析干涉条纹的变化，可以得到样品的相关信息，如形状、厚度、折射率等。

激光干涉仪的原理中，常见的有两种干涉方式，即自由空间干涉和光纤干涉。

自由空间干涉指的是激光光束在空气中进行干涉，可用于测量样品的曲率、平面度、倾斜度等参数。

而光纤干涉则是将激光光束传输到光纤中进行干涉，可用于对光纤的插入损耗、光纤传输的延迟等进行测量。

激光干涉仪的应用非常广泛。

首先，在科学研究中，激光干涉仪可用于测量光学元件的表面形貌，如透镜、棱镜等，以及光学薄膜的厚度和折射率。

其次，激光干涉仪在工业领域中也得到广泛应用，如测量金属工件的平面度、光滑度等，以及检测半导体器件的曲率、形状等。

此外，激光干涉仪还可用于测量纳米颗粒、生物细胞和薄膜等微小尺度的物体，应用于生物医学领域，如细胞生长的监测、精确测量等。

总之，激光干涉仪作为一种精密测量和检测仪器，在科学研究和工业应用中具有重要意义。

其原理的理解和应用的熟练掌握可推动光学测量和微纳技术的发展，为实现精确测量和控制提供基础和技术支持。

激光干涉仪原理
激光干涉仪是一种利用激光干涉现象进行测量的仪器。

其原理基于激光的相干性，通过将激光分成两束并使其相互干涉，从而获得待测物体的形状、尺寸等信息。

激光干涉仪由激光源、分束器、反射镜、检测器等主要组成。

激光源产生高强度、单色、相干性极好的激光束。

通过分束器，激光束被分成两束：参考光束和测量光束。

参考光束经过反射镜，反射回检测器。

测量光束则经过一系列光学元件，照射到待测物体上并反射回检测器。

在检测器上，参考光束和测量光束会发生干涉现象。

干涉引起的光强变化将被转换为电信号。

通过处理检测器输出的电信号，我们可以得到待测物体的干涉图样，从而获得其形状、尺寸等信息。

由于激光干涉仪具有高精度、高灵敏度等优点，在工业制造、光学测量等领域得到广泛应用。

需要注意的是，在激光干涉仪中，要确保激光束的相干性，以保证干涉现象的有效发生。

因此，在仪器的设计和操作中，要考虑消除外界干扰、控制光程差等因素，以提高测量的准确性和可重复性。

激光干涉仪测量原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器，主要用于测量长度、角度和平面度等。

它通过利用激光的干涉现象，实现高精度测量。

激光干涉仪有多种类型，包括腔长度干涉仪、双光束干涉仪和多光束干涉仪等。

激光干涉仪的原理基于干涉现象，即光的波动性质，当两束光线相遇时，在空间中形成干涉图案。

这个干涉图案的形状和光线的相位差有关，而相位差又与参考光线和测量光线的路径差有关。

在激光干涉仪中，激光器产生的强度稳定且单色的激光通过分束器被分成两束光线，一束作为参考光线，另一束被引导到待测物体上，形成测量光线。

当测量光线经过待测物体反射或透射后再次与参考光线相遇时，两束光线会发生干涉现象。

干涉现象会产生干涉条纹，这些条纹反映了两束光线间的相位差，从而反映了待测物体上的形状、位移或折射率等信息。

为了更好地观察干涉条纹，激光干涉仪通常使用干涉仪，例如迈克尔逊干涉仪或菲涅尔干涉仪。

在迈克尔逊干涉仪中，参考光线和测量光线分别通过反射镜和半透镜被反射或透射，然后再次相遇形成干涉条纹。

在菲涅尔干涉仪中，参考光线和测量光线分别通过透镜和透明棱镜后再次相遇。

为了测量待测物体的形状、位移或折射率等信息，需要通过改变参考光线和测量光线的光程差来修改干涉图样。

常见的方法是通过改变光程差来改变干涉环的位置或数量。

光程差可以通过调整反射镜或透镜的位置来实现。

通过测量干涉条纹的位置和数量的变化，可以获得待测物体的形状或位移的信息。

激光干涉仪具有高精度、高分辨率和快速响应的特点，因此被广泛应用于各种测量领域。

例如，激光干涉仪可用于测量长度、角度和平面度等机械工件的精度。

它还可以用于光学元件的制造和表面形貌的测量。

此外，激光干涉仪还可以应用于光学实验、光学校准和科学研究等领域。

总之，激光干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量仪器。

它通过利用激光的干涉现象来实现高精度测量，并广泛应用于各种测量领域。

激光干涉仪在工业界和科学研究领域具有重要的应用价值。

激光干涉仪工作原理
激光干涉仪就是用激光束来测量物体表面的几何形状和尺寸特性的几何测量仪器，是
物理量测与检测领域精密度最高的仪器。

快速、精确地测量、分析和监测物质的基本形态，激光干涉仪已经在品质检测、发动机研究、航空航空制造等多个行业得到广泛运用和发展。

激光干涉仪的工作原理是通过发射两束相互垂直的干涉线，其中一束为引射激光束，
另一束为参考激光束，把它们对准物体平面（对平轮廓进行量测），当物体表面有波动时，随着距离的变化，引射激光束发生位移，从而使参考激光束与引射激光束的相位发生变化，从而形成激光干涉图像，再结合光栅尺或者线阵扫描仪的辅助便可以获取物体面的形状、
尺寸等参数的测量信息。

激光干涉仪系统通常包括发射激光器、反射镜、振荡器、编码器及扫描仪等结构以及
检测调整、数据输出等电子电路和软件系统。

发射激光器发出的激光束经过反射镜和振荡器，形成垂直或水平的引射激光束和参考激光束，然后在物体表面反射干涉，并被传阅到
外部扫描仪进行线阵扫描量测，编码器根据测量结果输出数据，电脑就可以实现对表面粗
糙度、有效形状等的快捷准确的测量分析。

激光干涉仪具有精度高、量测速度快等特点，广泛应用于机械加工行业，例如电器机
壳及其它零件加工，可以迅速测出零件形状、尺寸以及轮廓等参数，精确控制零件质量，
满足生产的要求。

如检测汽车发动机活塞缸筒内表面粗糙度，滚道弯曲度，筒体管口头椭
圆度，螺旋角矩形性检测等参数，外部曲面等参数，有助于发动机研究和开发，确保了零
件的质量。

激光干涉仪测量原理及应用激光干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量仪器，广泛应用于科学研究、工业制造和医疗领域。

本文将介绍激光干涉仪的测量原理、测量对象以及应用领域。

一、测量原理激光干涉仪利用激光光束的干涉现象进行测量。

首先，通过激光发生器产生一个相干的激光束，然后将光束分为两束，其中一束通过参比光路径传播，另一束通过待测物体的表面反射。

两束光束重新合并后，通过干涉现象形成干涉条纹。

根据干涉条纹的变化，可以计算出待测物体的表面形态、位移或变形信息。

在激光干涉仪中，常用的测量原理有两条著名的分支：相位差法和长度差法。

1. 相位差法相位差法通过测量干涉条纹的相位差来确定待测物体的形态、位移或变形信息。

当待测物体发生形变或位移时，相位差会发生变化。

利用激光干涉仪测量相位差，并通过相位差与位移间的关系，可以获得待测物体的位移信息。

2. 长度差法长度差法通过测量干涉条纹的长度差来确定待测物体的形态、位移或变形信息。

待测物体的表面形态、位移或变形导致光程差的改变，进而影响干涉条纹的长度差。

通过测量长度差，并通过长度差与位移间的关系，可以获得待测物体的位移信息。

二、测量对象激光干涉仪广泛应用于各个领域的测量任务中，包括科学研究、工业制造和医疗领域。

1. 科学研究在科学研究领域，激光干涉仪常用于测量微小位移和形变。

例如，在光学领域，激光干涉仪可用于测量光学元件的表面形态和位移，以及光学系统的变形；在材料科学中，激光干涉仪可用于测量材料的热膨胀、压力变形等。

2. 工业制造在工业制造领域，激光干涉仪被广泛应用于检测和测量任务中。

例如，激光干涉仪可以用于检测零件的形状和尺寸，以确保制造过程的准确性和一致性。

此外，激光干涉仪还可以用于测量机械零部件的运动、振动和变形。

3. 医疗领域在医疗领域，激光干涉仪被应用于眼科手术和体内干涉成像。

在眼科手术中，激光干涉仪可以测量眼角膜的形态和厚度，以辅助眼科医生进行手术；在体内干涉成像中，激光干涉仪可以测量生物组织的纤维结构和表面形态，以帮助医生进行疾病诊断。

激光干涉仪检测与调整过程讲解激光干涉仪是一种常用的光学测量工具，可以用于测量非常小的距离和角度变化。

它通常由两个关键组件组成：稳定的激光源和一个高质量的干涉仪。

在本文中，我们将介绍激光干涉仪的工作原理、使用方法和调整过程。

激光干涉仪的工作原理激光干涉仪的设计基于激光干涉原理，该原理是将激光束分为两个光束，分别通过被测物体的两个侧面，然后将两束光重新合成。

当光束互相干涉时，它们会产生间隔的明暗条纹，这些条纹的间隔可以被用于测量小的长度变化。

在实践中，激光干涉仪使用的激光源通常是由半导体光源提供的，这种光源在可见光范围内有非常狭窄的频谱分布。

可以使用反射镜和分束器将光分为两束。

在光路上分别安装一个光栅使得干涉仪可以使用逆反射干涉，提高测量的精度。

使用激光干涉仪进行测量在进行测量时，需将两束光线分别传输给要被测量的物体的两个侧面。

当两束光线重新合并时，它们会形成明暗相间的条纹图案，这是干涉产生的结果。

通过测量条纹的间隔，我们可以轻松地计算出被测物体的位移变化。

激光干涉仪可用于测量非常小的长度、位移和角度变化，其度量精度可以达到亚微米级别。

此外，通过使用高质量的干涉仪，我们可以将其用于高精密表面形貌测量。

调整激光干涉仪如果干涉仪的调试不当，会导致干涉条纹模糊或者严重扭曲的情况，降低干涉仪的度量精度。

因此，在使用激光干涉仪进行测量之前，必须对其进行调整。

以下是调整激光干涉仪的步骤：1.调整激光源：确保激光源光束的宽度和强度足够稳定。

可以将激光传输到墙上的标定留置板来检查光束的准直性和焦点。

2.双色干涉圈合并：在数字式激光干涉仪中，需要将蓝色和红色光线重合在一个干涉圈内。

使用向一侧旋转/切向板识别同步点，其中图案由蓝色和红色光线表示。

提示：每次转动方向8分钟。

3.气象因素：排除湿度、温度固定输出、地面震动等因素的影响。

工作时确保放在一个平稳的场所，切不可震动。

4.探头选择：一般选其低灵敏度的测头。

不完全平整的表面则需要高灵敏度的探头。