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半导体器件失效分析基础大全

半导体器件基础测试题

第一章半导体器件基础测试题(高三) 姓名班次分数 一、选择题 1、N型半导体是在本征半导体中加入下列物质而形成的。 A、电子; B、空穴; C、三价元素; D、五价元素。 2、在掺杂后的半导体中,其导电能力的大小的说法正确的是。 A、掺杂的工艺; B、杂质的浓度: C、温度; D、晶体的缺陷。 3、晶体三极管用于放大的条件,下列说法正确的是。 A、发射结正偏、集电结反偏; B、发射结正偏、集电结正偏; C、发射结反偏、集电结正偏; D、发射结反偏、集电结反偏; 4、晶体三极管的截止条件,下列说法正确的是。 A、发射结正偏、集电结反偏; B、发射结正偏、集电结正偏; C、发射结反偏、集电结正偏; D、发射结反偏、集电结反偏; 5、晶体三极管的饱和条件,下列说法正确的是。 A、发射结正偏、集电结反偏; B、发射结正偏、集电结正偏; C、发射结反偏、集电结正偏; D、发射结反偏、集电结反偏; 6、理想二极管组成的电路如下图所示,其AB两端的电压是。 A、—12V; B、—6V; C、+6V; D、+12V。 7、要使普通二极管导通,下列说法正确的是。 A、运用它的反向特性; B、锗管使用在反向击穿区; C、硅管使用反向区域,而锗管使用正向区域; D、都使用正向区域。 8、对于用万用表测量二极管时,下列做法正确的是。 A、用万用表的R×100或R×1000的欧姆,黑棒接正极,红棒接负极,指针偏转; B、用万用表的R×10K的欧姆,黑棒接正极,红棒接负极,指针偏转; C、用万用表的R×100或R×1000的欧姆,红棒接正极,黑棒接负极,指针偏转; D、用万用表的R×10,黑棒接正极,红棒接负极,指针偏转; 9、电路如下图所示,则A、B两点的电压正确的是。 A、U A=3.5V,U B=3.5V,D截止;

半导体器件失效原因分析

半导体器件失效原因分析 发信站: 紫金飞鸿 (Mon Oct 2 12:02:48 2000) 多年来,用户要求有更可靠的电子设备,而与此同时,电子设备发展得越来越复杂。这两个因素的结合,促使人们更加关注电子设备在长期运行中确保无故障的能力。通过失效分析可以深入理解失效机理和原因,引导元器件和产品设计的改进,有助于提高电子设备(系统)的可靠性。 半导体器件的失效通常是因为产生的应力超过了它们的最大额定值。电气应力、热应力、化学应力、辐射应力、机械应力及其他因素都会造成器件失效。半导体器件的失效机理主要划分成以下6种: 一、包封失效。这类失效发生在用于封装器件的包封出现缺陷,通常是开裂。机械应力或热应力以及包封材料与金属引线之间热膨胀系数的不同都会引起包封开裂,当环境湿度很高或器件暴露在溶剂、清洗剂等中时,这些裂缝会使湿气浸入,产生的化学反应会使器件性能恶化,使它们失效。 二、导线连接失效。由于通过大电流造成过量的热应力、或由于连接不当使连接线中产生机械应力、连接线与裸芯之间界面的开裂、硅中的电致迁移、以及过量的连接压力,都会引起导线连接失效。 三、裸芯粘接故障。裸芯与衬底之间粘接不当时,就会恶化两者之间的导热性,结果会使裸芯过热,产生热应力和开裂,使器件失效。 四、本征硅的缺陷。由晶体瑕疵或本征硅材料中的杂质和污染物造成的缺陷使器件失效,在器件制造期间扩散工艺产生的工艺瑕疵也会造成器件失效。 五、氧化层缺陷。静电放电和通过器件引线的高压瞬时传送,可能会使氧化层(即绝缘体)断开,造成器件功能失常。氧化层中的开裂、划伤、或杂质也会导致器件失效。 六、铝金属缺陷。这类缺陷往往由下列几种情况造成:由于大电场导致在电流流动方向上发生铝的电迁移;由于大电流造成过量电气应力,导致铝导体断裂;铝被腐蚀;焊接引起铝金属耗损;接触孔被不适当地淀积上金属;有小丘和裂缝。 半导体器件应该工作在由生产厂确定的电压、电流和功耗限定范围内,当器件工作在这个“安全工作范围(SOA)”之外时,电气应力过 度(EOS)就会引起内部电压中断,导致器件内部损伤。如果EOS产生大电流,会使器件过热,形成热应力过度而使器件失效,即增加的热应力会导致“二次状态”失效。

4.制造基础技术与关键部件重点专项2018年度项目申报指南建议

制造基础技术与关键部件””重点专项 “制造基础技术与关键部件 建议 年度项目申报指南建议 2018年度项目申报指南 为落实《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006—2020年)》、《国家创新驱动发展战略纲要》和《中国制造2025》等规划,国家重点研发计划启动实施“制造基础技术与关键部件”重点专项。根据本重点专项实施方案的部署,现发布2018年度项目指南。 本重点专项总体目标是:以高速精密重载智能轴承、高端液压与密封件、高性能齿轮传动及系统、先进传感器、高端仪器仪表以及先进铸造、清洁热处理、表面工程、清洁切削等基础工艺为重点,着力开展基础前沿技术研究,突破一批行业共性关键技术,提升基础保障能力。加强基础数据库、工业性验证平台、核心技术标准研究,为提升关键部件和基础工艺的技术水平奠定坚实基础。 本重点专项按照产业链部署创新链的要求,从基础前沿技术、共性关键技术、示范应用三个层面,围绕关键基础件、基础制造工艺、先进传感器、高端仪器仪表和基础技术保障五个方向部署实施。专项实施周期为5年(2018—2022年)。

1.关键基础件 1.1高速精密悬浮轴承(基础前沿技术类) 研究内容:研究过临界磁悬浮转子动力学行为及控制理论;研究磁悬浮轴承测控模块的优化设计方法及保护轴承的失效与寿命演变机理;研究磁悬浮轴承与支承部件的耦合作用机理及设计方法;研究新型气体动压轴承设计方法及其支承转子动力学特性,研究高承载、大阻尼新型轴承结构;研究新型气体动压轴承关键制造技术及性能测试技术。 考核指标:高速电主轴验证用磁悬浮柔性转子原理样机1套,跨临界工作转速≥6×104r/min,回转精度优于0.003mm;能源动力装备用气体动压轴承原理样机1套,径向/轴向承载能力≥0.6MPa/0.4MPa,d m n值≥4.5×106mm·r/min,最高工作温度≥650℃。 1.2轴承服役性能演变机理与数字化设计方法(基础前沿技术类) 研究内容:研究高速精密轴承服役性能演变规律与轴承动静刚度特性、热特性、精度特性设计理论与方法;研究轴承在变载、变速、非正常润滑、乏信息等复杂工况下早期失效机理与轴承服役寿命预测方法;开发包含轴承性能试验数据资源的工程数据库。 考核指标:开发具备轴承数字化结构设计、轴系仿真、寿命预测功能的设计工具,设计结果与试验偏差≤20%;工程

失效分析基础知识

您现在位置:失效分析 广告 失效分析基础知识 钟群鹏 (北京航空航天大学,北京100083) 1基本概念 1.1失效和失效分析 产品丧失规定的功能称为失效。 判断失效的模式,查找失效原因和机理,提出预防再失效的对策的技术活动和管理 活动称为失效分析。 1.2失效和事故 失效与事故是紧密相关的两个范畴,事故强调的是后果,即造成的损失和危害,而 失效强调的是机械产品本身的功能状态。失效和事故常常有一定的因果关系,但两者 没有必然的联系。 1.3失效和可靠 失效是可靠的反义词。机电产品的可靠度R(t)是指时间t内还能满足规定功能产 品的比率,即n(t)/n(0),n(t)为时间t内满足规定功能产品的数量,n(0)为产品试验总数量。 累积失效概率F(t)就是时间t内的不可靠度,即F(t)=1-R(t)=[n(0)-n(t)]/n(0)。 1.4失效件和废品 失效件是指进入商品流通领域后发生故障的零件,而废品则是指进入商品流通领 域前发生质量问题的零件。废品分析采用的方法常与失效分析方法一致。 1.5失效学 研究机电产品失效的诊断、预测和预防理论、技术和方法的交叉综合的分支学科。

失效学与相关学科的边界还不够明确,它是一个发展中的新兴学科。 2失效的分类 2.1按功能分类 由失效的定义可知,失效的判据是看规定的功能是否丧失。因此,失效的分类可以按功能进行分类。例如,按不同材料的规定功能可以用各种材料缺陷(包括成分、性能、组织、表面完整性、品种、规格等方面)来划分材料失效的类型。对机械产品可按照其相应规定功能来分类。 2.2按材料损伤机理分类 根据机械失效过程中材料发生变化的物理、化学的本质机理不同和过程特征差异,可以分类如图1所示。 图1失效的分类 2.3按机械失效的时间特征分类 (1)早期失效可分为偶然早期失效和耗损期失效。 (2)突发失效可分为渐进(渐变)失效和间歇失效。 2.4按机械失效的后果分类 (1)部分失效 (2)完全失效

半导体元器件的制造工艺及其失效

半导体元器件的制造工艺及其失效 一、元器件概述 1、元器件的定义: 欧洲空间局ESA标准中的定义:完成某一电子、电气和机电功能,并由一个或几个部分构成而且一般不能被分解或不会破坏的某个装置。GJB4027-2000《军用电子元器件破坏性物理分析方法》中的定义:在电子线路或电子设备中执行电气、电子、电磁、机电或光电功能的基本单元,该基本单元可由一个或多个零件组成,通常不破坏是不能将其分解的。 2、元器件的分类:两大类 a)元件:在工厂生产加工时不改变分子成分的成品,本身不产生电子,对电压、电流无控制和变换作用。 b)器件:在工厂生产加工时改变了分子结构的成品,本身能产生电子,对电压电流的控制、变换(放大、开关、整流、检波、振荡和调制等),也称电子器件。分类(来源:2007年版的《军用电子元器件合格产品目录》) ? 3、电气元件 (1)电阻

最可靠的元器件之一,失效模式:开路、机械损伤、接点损坏、短路、绝缘击穿、焊接点老化造成的电阻值漂移量超过容差。 ? (2)电位器 失效模式:接触不良、滑动噪声大、开路等。 (3)二极管 (4)集成电路 失效模式:漏电或短路,击穿特性劣变,正向压降劣变,开路可高阻失效机理:电迁移,热载流子效应,与时间相关的介质击穿(TDDB),表面氧化层缺陷,绝缘层缺陷,外延层缺陷

(5)声表面波器件 (6)MEMS压力传感器 MEMS器件的主要失效机理: a.粘附两个光滑表面相接触时,在力作用下粘附在一起的现象; b.蠕变机械应力作用下原子缓慢运动的现象;变形、空洞; c.微粒污染阻碍器件的机械运动;

d.磨损尺寸超差,碎片卡入; e.疲劳断裂疲劳裂纹扩展失效。 (7)真空电子器件(vacuum electronic device) 指借助电子在真空或者气体中与电磁场发生相互作用,将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。具有真空密封管壳和若干电极,管内抽成真空,残余气体压力为10-4~10-8帕。有些在抽出管内气体后,再充入所需成分和压强的气体。广泛用于广播、通信、电视、雷达、导航、自动控制、电子对抗、计算机终端显示、医学诊断治疗等领域。 真空电子器件按其功能分为: 实现直流电能和电磁振荡能量之间转换的静电控制电子管; 将直流能量转换成频率为300兆赫~3000吉赫电磁振荡能量的微波电子管; 利用聚焦电子束实现光、电信号的记录、存储、转换和显示的电子束管; 利用光电子发射现象实现光电转换的光电管; 产生X射线的X射线管; 管内充有气体并产生气体放电的充气管; 以真空和气体中粒子受激辐射为工作机理,将电磁波加以放大的真空量子电子器件等。 自20世纪60年代以后,很多真空电子器件已逐步为固态电子器件所取代,但在高频率、大功率领域,真空电子器件仍然具有相当生命力,而电子束管和光电管仍将广泛应用并有所发展。[1] 真空电子器件里面就包含真空断路器,真空断路器具有很多优点,所以在变电站上应用很多。真空断路器已被快易优收录,由于采用了特殊的真空元件,随着近年来制造水平的提高,灭弧室部分的故障明显降低。真空灭弧室无需检修处理,当其损坏时,只能采取更换。真空断路器运行中发生的故障以操作机构部分所占比重较大,其次为一次导电部分,触头导电杆等。 二、元器件制造工艺与缺陷 1、芯片制造缺陷的分类: 全局缺陷:光刻对准误差、工艺参数随机起伏、线宽变化等;在成熟、可控性良好的工艺线上,可减少到极少,甚至几乎可以消除。 局域缺陷:氧化物针孔等点缺陷,不可完全消除,损失的成品率更高。 点缺陷:冗余物、丢失物、氧化物针孔、结泄漏 来源:灰尘微粒、硅片与设备的接触、化学试剂中的杂质颗粒。 2、混合集成电路的失效混合集成电路工艺:

《材料失效分析》实验教案2014上.

课程教案 课程名称:材料失效分析实验 任课教师:刘先兰 所属院(部):机械工程学院 教学班级: 2011级金属材料工程教学时间:2013—2014学年第二学期 湖南工学院

《材料失效分析》实验 实验课程编码: 学时:6 适用专业:金属材料工程 先修课程:材料科学基础、材料力学性能、金属塑性成型原理、现代材料检测技术等 考核方式: 一、实验课程的性质与任务 帮助学生进一步理解所学知识,加深对一般工程结构和机械零件失效分析的基础知识、基本方法和基本技能的掌握;能够利用所学的知识建立失效分析方法和思路(故障树);熟悉判断失效零件裂纹源的方法;熟知各类断裂件的断口形貌及断裂机制,分析各种断裂类型、起裂点及断裂过程。 二、实验项目 实验一材料失效中的金相分析法实验(2学时) 实验二零件失效的宏观分析法(2学时) 实验三静载荷作用下的金属材料断裂失效断口分析(2学时) 三、实验报告要求 每个实验均应写实验报告。按统一格式,采用统一封面和报告纸。实验报告内容应包括实验名称、目的、内容和理论基础、实验设备(名称、规格及型号)及材料名称,实验步骤、实验结果、结果分析。 四、其它要求 实验中,注重知识、能力、素质的协调发展,突出学生的创新精神与创新能力的培养。 五、教材和参考资料 1教材: 《材料失效分析》,庄东汉主编.华东理工大学出版社. 2.参考资料: [1]《机械零件失效分析》,刘瑞堂编,哈尔滨工业大学出版社.. [2]《材料成形与失效》,王国凡主编,化学工业出版社. [3]《材料现代分析方法》,左演声主编,北京工业出版社. [4] 《断口学》,钟群鹏主编,高等教育出版社. [5] 《金属材料及其缺陷分析和失效分析100例》,候公伟主编,机械工业出版社.

汽车零部件的失效模式及分析

汽车零部件的失效模式及 分析 专业: 班级学号: 姓名: 指导教师: 年月

摘要 汽车零件失效分析,是研究汽车零件丧失其规定功能的原因、特征和规律;研究其失效分析技术和预防技术,其目的在与分析零部件失效的原因,找出导致失效的责任,并提出改进和预防措施,从而提高汽车可靠性和使用寿命。

目录 第一章汽车零部件失效的概念及分类 (1) 一、失效的概念 (1) 二、失效的基本分类型 (1) 三、零件失效的基本原因 (2) 第二章汽车零部件磨损失效模式与失效机理 (3) 一、磨料磨损及其失效机理 (3) 二、粘着磨损及其失效机理 (4) 三、表面疲劳磨损及其失效机理 (5) 四、腐蚀磨损及其失效机理 (5) 五、微动磨损及其失效机理 (6) 第三章汽车零部件疲劳断裂失效及其机理 (8) 第四章汽车零部件腐蚀失效及其机理 (9) 第五章汽车零部件变形失效机理 (10) 参考文献 (11)

第一章汽车零部件失效的概念及分类 一、失效的概念 汽车零部件失去原设计所规定的功能称为失效。失效不仅是指完全丧失原定功能,而且功能降低和严重损伤或隐患、继续使用会失去可靠性及安全性的零部件。 机械设备发生失效事故,往往会造成不同程度的经济损失,而且还会危及人们的生命安全。汽车作为重要的交通运输工具,其可靠性和安全性越来越受到重视。因此,在汽车维修工程中开展失效分析工作,不仅可以提高汽车维修质量,而且可为汽车制造部门提供反馈信息,以便改进汽车设计和制造工艺。 二、失效的基本分类型 按失效模式和失效机理对是小进行分类是研究失效的重要内容之一。失效模式是失效件的宏观特征,而失效机理则是导致零部件失效的物理、化学或机械的变化原因,并依零件的种类、使用环境而异。 汽车零部件按失效模式分类可分为磨损、疲劳断裂、变形、腐蚀及老化等五类。 汽车零件失效分类 一个零件可能同时存在几种失效模式或失效机理。研究失效原因,找出主要失效模式,提出改进和预防措施,从而提高汽车零部件的可靠性和使用寿命。

半导体器件失效分析的研究

半导体器件失效分析的研究Research on Semiconductor Device Failure Analysis

中文摘要 半导体失效分析在提高集成电路的可靠性方面有着至关重要的作用。随着集成度的提高,工艺尺寸的缩小,失效分析所面临的困难也逐步增大。因此,失效分析必须配备相应的先进、准确的设备和技术,配以具有专业半导体知识的分析人员,精确定位失效位置。在本文当中,着重介绍多种方法运用Photoemission 显微镜配合IR-OBIRCH精确定位失效位置,并辅以多项案例。 Photoemission是半导体元器件在不同状态下(二极管反向击穿、短路产生的电流、MOS管的饱和发光,等等),所产生的不同波长的光被捕获,从而在图像上产生相应的发光点。Photoemission在失效分析中有着不可或缺的作用,通过对好坏品所产生的发光点的对比,可以为后面的电路分析打下坚实的基础,而且在某些情况下,异常的发光点就是最后我们想要找到的defect的位置。 IR-OBIRCH(Infrared Optical beam Induced Resistance Change)主要是由两部分组成:激光加热器和电阻改变侦测器。电阻的改变是通过激光加热电流流经的路径时电流或者电压的变化来表现的,因此,在使用IR-OBIRCH时,前提是必须保证所加电压两端产生的电流路径要流过defect的位置,这样,在激光加热到defect位置时,由于电阻的改变才能产生电流的变化,从而在图像上显现出相应位置的热点。 虽然Photoemission和IR-OBIRCH可以很好的帮助我们找到defect的位置,但良好的电路分析以及微探针(microprobe)的使用在寻找失效路径方面是十分重要的,只有通过Photoemission的结果分析,加上电路分析以及微探针(micr oprobe)测量内部信号的波形以及I-V曲线,寻找出失效路径后,IR-OBIRCH才能更好的派上用场。因此,在失效分析中,各个步骤缺一不可。 关键词:失效分析;Photoemission;IR-OBIRCH;微探针(microprobe);

失效分析知识点

失效分析知识点 第一章概论 1.失效的定义:当这些零件失去其应有的功能时,则称该零件失效。 2.失效三种情况: (1).零件由于断裂、腐蚀、磨损、变形等从而完全丧失其功能; (2).零件在外部环境作用下,部分的失去其原有功能,虽然能工作,但不能完成规定功能,如由于磨损导致尺寸超差等; (3).零件能够工作,也能完成规定功能,但继续使用时,不能确保安全可靠性。 3.失效分析定义:对失效产品为寻找失效原因和预防措施所进行的一切技术活动。也就是研究失效的特征和规律,从而找出失效的模式和原因。 4.失效分析过程:事前分析(预防失效事件的发生)、事中分析(防止运行中设备发生故障)、事后分析(找出某个系统或零件失效的原因)。 5.失效分析的意义: (1).失效分析的社会经济效益:失效将造成巨大的经济损失;质量低劣、寿命短导致重大经济损失;提高设备运行和使用的安全性。 (2).失效分析有助于提高管理水平和促进产品质量提高; (3).失效分析有助于分清责任和保护用户(生产者)利益; (4).失效分析是修订产品技术规范及标准的依据; (5).失效分析对材料科学与工程的促进作用:材料强度与断裂;材料开发与工程应用。 第二章失效分析基础知识 一.机械零件失效形式与来源: 1.按照失效的外部形态分类: (1)过量变形失效:扭曲、拉长等。原因:在一定载荷下发生过量变形,零件失去应有功能不能正常使用。 (2)断裂失效:一次加载断裂(静载荷):由于载荷或应力超过当时材料的承载能力而引起; 环境介质引起的断裂:环境介质和应力共同作用引起的低应力脆断; 疲劳断裂(交变载荷):由于周期作用力引起的低应力破坏。 (3)表面损伤失效:磨损:由于两物体接触表面在接触应力下有相对运动,造成材料流失所引起的一种失效形式; 腐蚀: 环境气氛的化学和电化学作用引起。 (4).注:断裂的其他分类 断裂时变形量大小:脆性断裂、延性断裂; 裂纹走向与晶相组织的关系:穿晶断裂、沿晶断裂; 2.失效的来源:

螺纹紧固件失效分析案例(第1部分)

螺纹紧固件失效分析案例 全国紧固件标准化技术委员会 机械工业通用零部件产品质量监督检测中心 二〇〇八年6月

序 机械产品失效是一门关于研究机械产品质量的综合性技术学科,主要研究失效的规律与机理。机械零件的失效是在特定的工作条件下,当其所具备的失效抗力指标不能满足工作条件的要求时发生的。导致零件失效的本质原因可能是材料本身的失效抗力不足,也可能是零件存在与设计或制造等过程有关的缺陷。产品的早期失效往往是产品质量低劣或质量管理不善及科学技术水平不高的直接反映。失效发生后能否尽快作出正确的判断,确定失效原因,制定防止失效的措施,则是衡量有关科技人员技术水平的重要标志。加入WTO后,我国的产品将参与国际市场的竞争,于是提高产品质量成为提高竞争力的关键因素。失效分析则是定量评定产品质量的重要基础,也是保证产品可靠性的重要手段。 机械科学研究总院、机械工业通用零部件产品质量监督检测中心在进行大量失效分析的基础上(包括对断裂、腐蚀和磨损的深入研究,特别是断口、裂纹和痕迹分析),分析了可能出现失效的形式和类型,以供大家在生产中借鉴,在生产工艺中加以避免出现失效的可能;同时,在今后的质量纠纷中维护自己的正当权益。 机械工业通用零部件产品质量监督检测中心熊学端研究员从事了几十年失 效分析研究工作,有很深的理论造诣,积累了丰富的失效分析经验,本文中列举了部分螺纹紧固件失效分析案例,希望能够为生产企业及用户提供良好的参考和借鉴;同时,中心愿为生产企业和用户在今后的失效分析中提供技术咨询和指导。 全国紧固件标准化技术委员会

目 录 第一部分 失效分析概述 (1) 1. 失效定义 (1) 2. 失效分析的意义、目的 (1) 3. 失效的来源 (1) 4. 失效分析的思路、方法 (1) 5. 断口分析 (2) 6. 断口分析部分名词术语 (3) 第二部分 失效分析案例 (7) 1. 汽车上臂螺栓断裂原因分析 (7) 2. 溜冰鞋螺钉、螺母断裂原因分析 (12) 3. 紧定螺钉断裂原因分析报告 (20) 4. 连杆螺栓断裂原因分析 (25) 5. 汽车轮毂螺栓断裂原因分析 (29) 6. M8×55高强度螺栓断裂原因分析 (33) 7. 高压开关螺栓断裂原因分析报告 (37) 8. 沟槽刚性接头紧固螺栓断裂原因分析报告 (42) 9. 定位螺钉断裂原因分析 (47) 10. M36×280高强度螺栓断裂原因分析 (53) 11. 高压线塔联结螺栓断裂原因分析 (59) 12. 中压电器用螺栓断裂原因分析报告 (64) 13. 网架螺栓断裂原因分析 (66) 14. 螺钉断裂原因分析 (69) 15. 吊环螺钉断裂失效分析 (73) 16. 螺栓失效原因分析 (79)

电子元器件失效分析技术与案例

电子元器件失效分析技术与案例 费庆学 二站开始使用电子器件当时电子元器件的寿命20h. American from 1959 开始:1。可靠性评价,预估产品寿命 2。可靠性增长。不一定知道产品寿命,通过方法延长寿命。通过恶裂环境的试验。通过改进提高寿命。―――后来叫a.可靠性物理—实效分析的实例b.可靠数学 第一部分:电子元器件失效分析技术(方法) 1.失效分析的基本的概念和一般程序。 A 定义: 对电子元器件的失效的原因的诊断过程 b.目的:0000000 c.失效模式――》失效结果――》失效的表现形式――》通过电测的形式取得 d.失效机理:失效的物理化学根源 ――》失效的原因 1)开路的可能失效机理 日本的失效机理分类:变形变质外来异物 很多的芯片都有保护电路,保护电路很多都是由二极管组成正反向都不通为内部断开。 漏电和短路的可能的失效机理 接触面积越小,电流密度就大,就会发热,而烧毁 例:人造卫星的发射,因工人误操作装螺丝时掉了一个渣于继电器 局部缺陷导致电流易集中导入产生热击穿(si 和 al 互熔成为合金合金熔点更低) 塑封器件烘烤效果好当开封后特性变好,说明器件受潮或有杂质 失效机理 环境应力:温度温度过低易使焊锡脆化而导致焊点脱落。 , 2.失效机理的内容 I失效模式与环境应力的关系 任何产品都有一定的应力。

a当应力>强度就会失效 如过电/静电:外加电压超过产品本身的额定值会失效 b应力与时间应力虽没有超过额定值,但持续累计的发生 故:如何增强强度&减少应力能延长产品的寿命 c.一切正常,正常的应力,在时间的累计下,终止寿命 特性随时间存在变化 e机械应力如主板受热变形对零件的应力认为用力 塑封的抗振动好应力好陶瓷的差。 f重复应力如:冷热冲击是很好的零件筛选方法 重复应力易导致产品老化,存在不可靠性 故使用其器件:不要过载;温湿度要适当 II如何做失效分析 例:一个EPROM在使用后不能读写 1) 先不要相信委托人的话,一定要复判。 2) 快始失效分析: 取NG&OK品,DataSheet, 查找电源断地开始测试首先做待机电流测试(IV测试) 电源对地的待机电流下降 开封发现电源端线中间断(因为中间散热慢,两端散热快,有端子帮助散热)因为断开,相当于并联电阻少了一个电 阻,电流减小。 原因:闩锁效应应力大于产品本身强度 责任:确定失效责任方:模拟试验->测抗闩锁的能力 看触发的电流值(第一个拐点的电流值),越大越好,至少要大于datasheet或近似良品的值在标准范围内的。看维持电压(第二个拐点的电 压),若大于标准值,则很难回到原值。若多片良品抽测都OK, 说明使用者使用不当导致。 改善措施:改善供电,加保护电路。 III失效分析技术的延伸 失效分析的关键是打开样品 进货分析:不同的封装厂,在 芯片面积越小(扫描声学检测器,红的部分为空气,可用于辨别尺寸的大小),受应力越小。版本过新的产品也有可能存在可靠性问 题。可能存在设计的问题。 良品分析的作用:可以采取一层一层的分解拍照,找捷径

失效分析技术之基础知识篇

失效分析技术之基础知识篇 摘要:本文介绍失效分析与预防技术相关的概念、失效及失效分析分类、失效分析的目的、特点及作用,以及对失效分析实验室、人员和管理的要求等。 关键词:失效,失效分析,失效预防 1基本概念[1] 1.1失效 产品丧失规定的功能称为失效。 1.2失效分析 判断失效的模式,查找失效原因和机理,提出预防再失效的对策的技术活动和管理活动称为失效分析。 1.3失效模式 失效的外在宏观表现形式和规律称为失效模式。 1.4失效机理 失效机理是指引起失效的微观物理化学变化过程和本质。 1.5失效学 研究机电产品失效的诊断、预测和预防理论、技术和方法的交叉综合的分支学科。失效学与相关学科的边界还不够明确,它是一个发展中的新兴学科。 1.6风险 风险是失效的可能性与失效后后果的乘积,风险评估就是对系统发生失效的危险性进行定性和定量的分析。 1.7失效和事故 失效与事故是紧密相关的两个范畴,事故强调的是后果,即造成的损失和危害,而失效强调的是机械产品本身的功能状态,如由于涡轮叶片的疲劳断裂失效,

导致某型号的某某事故。失效和事故常常有一定的因果关系,但二者没有必然的联系。 1.8失效和可靠性 失效是可靠性的反义词。产品的可靠度R(t)是产品在规定的条件下、规定的时间内完成规定的功能的能力。失效率F(t)是指工作到某一时刻尚未失效的产品,在该时刻后,单位时间内发生失效的概率,即F(t)=1-R(t)。 1.9失效件和废品 失效件是指进入商品流通领域后发生故障的零件,而废品则是指进入商品流通领域前发生质量问题的零件。废品分析采用的方法常与失效分析方法一致。 1.10失效分析和状态诊断 失效分析是指事后的分析,而状态诊断是针对可能的主要失效模式、原因和机理方面事先的,即在线、适时、动态的诊断。 1.11失效分析和安全评定 失效分析是指事故后的失效模式、原因和机理诊断,而安全评定是指事故前,按“合于使用”原则的安全与否的评价。 1.12失效分析与维修 维修是维护和修理的总合,维护指将可能造成维修对象功能缺损的因素排除掉,修理指将维修对象缺损的功能恢复,主要是以替换失效件的方式进行。而失效分析是针对失效件的失效模式、原因和机理进行分析。维修主要是针对整机进行修复,而失效分析是对已经定位的失效构件或材料进行分析。 1.13痕迹[2] 主要指力学、化学、热学、电学等因素单独地或共同地作用于制件,而在制件上形成的各种印迹、颜色或材料粘结等。 1.14痕迹分析 对痕迹进行诊断鉴别,找出其形成和变化的原因,为失效分析提供线索和依据的过程。

半导体器件失效分析与检测

半导体器件失效分析与检测 半导体元件的失效将直接影响相关产品的正常使用,文章主要就对半导体器件的失效原因进行了细致地分析并提出了几种检测的方法,供相关人士借鉴。 标签:半导体;器件;失效分析;检测 1 半导体器件失效分析 通过分析可知造成半导体器件失效的因素有很多,我们主要从几个方面进阐述。 1.1 金属化与器件失效 环境应力对半导体器件或集成电路可靠性的影响很大。金属化及其键合处就是一个不容忽视的失效源。迄今,大多数半导体器件平面工艺都采用二氧化硅作为掩膜钝化层。为在芯片上实现互连,往往在开窗口的二氧化硅层上淀积铝膜即金属化。 从物理、化学角度分析,金属化失效机理大体包括膜层张力、内聚力、机械疲劳、退火效应、杂质效应及电迁移等。 1.2 晶体缺陷与器件失效 晶体缺陷导致器件失效的机理十分复杂,有些问题至今尚不清楚。晶体缺陷分晶体材料固有缺陷(如微缺陷)和二次缺陷两类。后者是在器件制造过程中,由于氧化、扩散等热处理后出现或增殖的大量缺陷。两种缺陷或者彼此相互作用,都将导致器件性能的退化。二次击穿就是晶体缺陷招来的严重后果。 1.2.1 位错 这种缺陷有的是在晶体生长过程中形成的(原生位错),有的是在器件工艺中引入的(诱生位错)。位错易沿位错线加速扩散和析出,间接地促成器件劣化。事实证明,外表杂质原子(包括施主和受主)沿位错边缘的扩散比在完美晶体内快很多,其结果往往使P-N结的结平面不平整甚至穿通。鉴于位错具有“吸除效应”,对点缺陷如杂质原子、点阵空位、间隙原子等起到内部吸收的作用,故适量的位错反而对器件生产有利。 1.2.2 沉淀物 除位错造成不均匀掺杂外,外界杂质沾污也会带来严重后果,特别是重金属沾污,在半导体工艺中是经常发生的。如果这些金属杂质存在于固溶体内,其危害相对小一些;但是,一旦在P-N结处形成沉积物,则会产生严重失效,使反

半导体器件烧毁的物理机理

半导体器件烧毁的物理机理* 余稳蔡新华黄文华刘国治 摘要叙述了半导体器件烧毁的物理机理、目前的研究进展及作者正在开展的工作. 关键词半导体器件,烧毁,高功率微波 MECHANISM OF BURNOUT OF SEMICONDUCTOR DEVICES Yu Wen Cai Xinhua (Institute of EM Theory, Changde Teachers' College,Hunan415000) Huang Wenhua Liu Guozhi (Northwest Institute of Nuclear Technology, Xi'an710024) Abstract The general mechanism of burnout of semiconductor devices is described,as well as recent progress and our present research. Key words semiconductor devices, burnout, high power microwave(HPM) 1前言 高功率微波(HPM)对电子系统进行破坏,可使系统暂时失灵或永久失效,这直接涉及系统内部电子元器件的暂时失灵或永久失效.因此要研究HPM对电子系统的破坏机理,首先要研究半导体器件烧毁的物理机理.另外,从系统的抗辐射能力和加固方面看,也需要对电子系统进行在电过应力(EOS)环境下的易损性评估.以下几个问题使得评估很困难:(1)对任意一个电子器件,很难得到精确的理论或实验失效阈值;(2)实际的EOS应力参数必须与用于理论或实验上确定失效阈值时使用的理想参数相比较,过度保守的估计将导致系统的超加固,增加不必要的成本,拖延进度,降低系统性能,而过高的估计则可使系统易损;(3)器件的复杂性问题[不同的制造过程、不同种类的器件(甚至同种器件间)有变化];(4)产生EOS的电磁环境问题[如电磁脉冲(EMP)、核电磁脉冲(NEMP)、光电磁脉冲(LEMP)、电磁干扰(EMI)、静电放电(ESD)、系统电磁脉冲(SGEMP)、微波(MW)等等];(5)同一批器件,数据变化也很大,不同一批器件和不同厂家的产品,数据变化就更大.因此,从理论上探讨器件烧毁的物理机理,找出大致规律,很有意义. 2器件烧毁的物理机理 半导体器件承受EOS测试时,将表现出很多失效物理机理[1],几乎器件的每一部分都有可能失效:(1)敷金属和引线能被熔化,电迁移能使金属膜导体变薄,甚至导致开路;(2)在器件的绝缘材料或氧化区或器件表面,可产生导致局部高温的电击穿;(3)在有源结区,可产生导致强流和高温的二次击穿. 根据研究,对双极型器件,90%的失效是由结区击穿引起的,敷金属失效仅占10%,但对MOS 器件,则63%的失效来源于敷金属失效,27%则属于氧化物击穿. 通常在局部温度升高到熔点时发生敷金属和引线失效,该热量来自于金属中的强流密度或金属附近的热硅(由其他地方的强流密度引起).敷金属失效将因线路分开(有点像保险丝烧毁)而导致开路.引起失效的强流可能来自于击穿或器件其他地方的失效,所以敷金属和引线失效可能只是一种结果而不是器件失效的原因.电迁移应用于强流密度情形下金属中的质量输运.最近,人们认为,对金属膜导体截面不够的半导体器件,电迁移可能是一种消耗失效模式,该失效将导致电路开路.当半导体或绝缘体两条蚀刻导电通道之间的电场超过中间介质击穿极限时,将因产生电弧形成熔融金属通道而使电路短路,器件线度越小,该失效机制越重要. PN结的表面条件将影响其电特性.依赖于表面条件的表面复合过程,对自由载流子来说像一个阱.强场表面击穿是表面损伤的原因之一.对半导体器件,该强场发生于靠近结区与表面的交界处.器件绝缘区失效主要是高压击穿(由材料中的强瞬间电场或硅材料附近热点的热损伤或机械损伤所致).半导体器件有源结区的失效通常来自于局部熔化及随后的硅再结晶,或来自于从结表面来的实际热注入,该热量由通过结的强流密度引起,反过来又导致热或电流二次击穿. 二次击穿模式有热模式和电流模式两种[2—4]. 随入射EOS功率不同而采取不同的模式,

半导体器件失效分析_半导体器件芯片焊接技巧及控制

半导体器件失效分析_半导体器件芯片焊接技巧及控制 随着技术的发展,芯片的焊接(粘贴)技巧也越来越多并不断完善。半导体器件焊接(粘贴)失效主要与焊接面洁净度差、不平整、有氧化物、加热不当和基片镀层质量有关。树脂粘贴法还受粘料的组成结构及其有关的物理力学性能的制约和影响。要解决芯片微焊接不良问题,必须明白不同技巧的机理,逐一分析各种失效模式,及时发现影响焊接(粘贴)质量的不利因素,同时严格生产过程中的检验,加强工艺管理,才能有效地避免因芯片焊接不良对器件可靠性造成的潜在危害。 本文首先介绍了芯片焊接(粘贴)技巧及机理,其次介绍了失效模式分析,最后介绍了焊接质量的三种检验技巧以及焊接不良原因及对应措施,具体的跟随小编一起来了解一下。 芯片焊接(粘贴)技巧及机理芯片的焊接是指半导体芯片与载体(封装壳体或基片)形成牢固的、传导性或绝缘性连接的技巧。焊接层除了为器件提供机械连接和电连接外,还须为器件提供良好的散热通道。其技巧可分为树脂粘接法和金属合金焊接法。 树脂粘贴法是采用树脂粘合剂在芯片和封装体之间形成一层绝缘层或是在其中掺杂金属(如金或银)形成电和热的良导体。粘合剂大多采用环氧树脂。环氧树脂是稳定的线性聚合物,在加入固化剂后,环氧基打开形成羟基并交链,从而由线性聚合物交链成网状结构而固化成热固性塑料。其过程由液体或粘稠液→凝胶化→固体。固化的条件主要由固化剂种类的选择来决定。而其中掺杂的金属含量决定了其导电、导热性能的好坏。 掺银环氧粘贴法是当前最流行的芯片粘贴技巧之一,它所需的固化温度低,这能够避免热应力,但有银迁移的缺点。近年来应用于中小功率晶体管的金导电胶优于银导电胶。非导电性填料包括氧化铝、氧化铍和氧化镁,能够用来改善热导率。树脂粘贴法因其操作过程中载体不须加热,设备简单,易于实现工艺自动化操作且经济实惠而得到广泛应用,尤其在集成电路和小功率器件中应用更为广泛。树脂粘贴的器件热阻和电阻都很高。树脂在高温下简单分解,有可能发生填料的析出,在粘贴面上只留下一层树脂使该处电阻增大。因此它不适于要求在高温下工作或需低粘贴电阻的器件。另外,树脂粘贴法粘贴面的机械强

塑封料对半导体器件的失效应力影响

塑封器件是指用塑料等树脂类聚合物材料封装的半导体器件。由于树脂类材料固有的特点,限制了塑封器件在卫星、军事等一些高可靠性场合的使用[1]。虽然自20世纪70年代以来,封装 关键词:塑封器件热膨胀 1 引言 塑封器件是指用塑料等树脂类聚合物材料封装的半导体器件。由于树脂类材料固有的特点,限制了塑封器件在卫星、军事等一些高可靠性场合的使用[1]。虽然自20世纪70年代以来,封装材料、芯片钝化和生产工艺得到了极大的改进,塑封器件的可靠性也随之提高,但仍存在许多可靠性问题。这些可靠性问题大致可以分为:塑封材料固有的密封问题导致的腐蚀失效、爆米花失效等;生产工艺问题导致的芯片粘接缺陷、封装缺陷以及钝化层缺陷等[2];由于塑封材料与芯片之问的热膨胀系数(CTE)不匹配导致的低温/温冲失效。本文主要讨论最后一种缺陷。 2 CTE不匹配导致的失效及其机理分析 通常由元器件生产厂商提供的塑封器件对温度的要求不高,能满足如下3种温度范围的要求即可:0℃-70℃(商业温度)、-40℃~+85℃(工业温度)、-40℃~+125℃(汽车温度)。大量的失效案例表明[3],在以上3种温度范围内,器件失效的比例很高。对失效器件的分析表明,外界的温度冲击或低温环境造成的塑封材料对芯片的应力是主要机理。 2.1封装分层 在从室温到极端寒冷环境的温度循环过程中,模压复合物与基片或引线框之间的热膨胀系数(CTE)差异会造成分层和开裂。在极端低温下,由于与贮存温度和包封温度之间的差很大,可能会导致模压复合物与基片或引线框之间分层和开裂。并且,随着极端低温的下降,开裂的可能性还会随之增加(封装经过-55℃~+125℃的热循环时,引线框尖锐边缘处就会出现开 裂和分层)。另外,潮气会使低温下基片与封装材料界面上的分层加速。这种加速是由封装内凝结水汽的冻结所引起。 2.2对芯片的机械应力 由于塑封料和硅的线性热膨胀系数相差一个数量级(塑封料≈25×10-6℃-1,硅 ≈2.3×10-6℃-1,当温度变化时,它们的尺寸变化相差会较大。例如,对角线为1cm的芯片,温度每变化1℃,芯片对角线的长度可变化2.3×10-2μm;变化100℃,长度可变化2.3μm。而同样长度的塑封料每变化1℃,其长度将变化25×10-2μm;温度变化100℃,其长度将 变化25μm。如果塑封料与芯片表面是分离的,塑封料将会在芯片表面移动,它的最大位移量将会大于11.35μm。然而在一般情况下,塑封料是黏附在芯片表面的,它不可能在芯片表面移动(但存在这种趋势)。于是,在芯片和塑封料界面就会存在剪切应力。这个力可能会使芯片上附着力弱的金属化层产生滑移(温度升高,向芯片边缘滑移;温度降低,向芯片中

半导体器件芯片焊接失效模式分析与解决探讨

半导体器件芯片焊接失效模式分析与解决探讨半导体器件芯片焊接失效模式分析与解决探讨芯片到封装体的焊接(粘贴)方法很多,可概括为金属合金焊接法(或称为低熔点焊接法)和树脂粘贴两大类。它们连接芯片的机理大不相同,必须根据器件的种类和要求进行合理选择。要获得理想的连接质量,还需要有针对性地分析各种焊接(粘贴)方法机理和特点,分析影响其可靠性的诸多因素,并在工艺中不断地加以改进。本文对两大类半导体器件焊接(粘贴)方法的机理进行了简单阐述,对几种常用方法的特点和适用性进行了比较,并讨论了在半导体器件中应用最为广泛的金-硅合金焊接失效模式及其解决办法。 1、芯片焊接(粘贴)方法及机理 芯片的焊接是指半导体芯片与载体(封装壳体或基片)形成牢固的、传导性或绝缘性连接的方法。焊接层除了为器件提供机械连接和电连接外,还须为器件提供良好的散热通道。其方法可分为树脂粘接法和金属合金焊接法。 树脂粘贴法是采用树脂粘合剂在芯片和封装体之间形成一层绝缘层或是在其中掺杂金属(如金或银)形成电和热的良导体。粘合剂大多采用环氧树脂。环氧树脂是稳定的线性聚合物,在加入固化剂后,环氧基打开形成羟基并交链,从而由线性聚合物交链成网状结构而固化成热固性塑料。其过程由液体或粘稠液→凝胶化→固体。固化的条件主要由固化剂种类的选择来决定。而其中掺杂的金属含量决定了其导电、导热性能的好坏。 掺银环氧粘贴法是当前最流行的芯片粘贴方法之一,它所需的固化温度低,这可以避免热应力,但有银迁移的缺点。近年来应用于中小功率晶体管的金导电胶优于银导电胶。 非导电性填料包括氧化铝、氧化铍和氧化镁,可以用来改善热导率。树脂粘贴法因其操作过程中载体不须加热,设备简单,易于实现工艺自动化操作且经济实惠而得到广泛应用,尤其在集成电路和小功率器件中应用更为广泛。树脂粘贴的器件热阻和电阻都很高。树脂在高温下容易分解,有可能发生填料的析出,在粘贴面上只留下一层树脂使该处电阻增大。因此它不适于要求在高温下工作或需低粘贴电阻的器件。另外,树脂粘贴法粘贴面的机械强度远不如共晶焊接强度大。 金属合金焊接法主要指金硅、金锗、金锡等共晶焊接。这里主要以金硅共晶焊为例加以讨论。金的熔点为1063℃,硅的熔点为1414℃,但金硅合金的熔点远低于单质的金和硅。含有31%的硅原子和69%的金原子的

汽车零部件失效分析

汽车零部件失效分析 摘要:随着汽车的不断普及和机械设备事故的频发,汽车的安全性和可靠性逐渐成为人们关注的焦点。论文通过研究汽车零部件失效的类型,丧失功能的原因、特征和规律,提出相应的改进和预防措施,为汽车制造部门提供便于改进制造工艺和汽车设计的反馈信息,进而提高汽车可靠性、使用寿命和维修质量。 关键词:汽车零部件;失效模式;磨损 1.汽车零部件失效的概述 1.1汽车零部件失效的概念 所谓失效是指汽车零部件失去原设计所规定的功能,导致汽车技术状况变差,包括完全丧失原定功能,功能降低和严重损伤等,如果继续使用将会失去安全性和可靠性。因为汽车零部件的技术状况会随着零部件的使用过程逐渐发生变化,因此通过分析汽车零部件的性能恶化过程,然后有针对性的采取改进措施,对于维持汽车的技术水平具有非常重要的作用。 1.2汽车零部件失效的分类 汽车零部件按失效模式分类可以分为:一是磨损,包括粘着磨损、表面疲劳磨损、磨料磨损、微动磨损、腐蚀磨损,如齿轮表面和滚动轴承便面的麻点、曲轴“抱轴”等。二是疲劳断裂,包括低应力高周疲劳、高应力低疲劳周疲劳、热疲劳、腐蚀疲劳,如齿轮轮齿折断、曲轴断裂等。三是腐蚀,包括化学腐蚀、穴蚀、电化学腐蚀,如湿式汽缸套外壁麻点。四是变形,包括过量弹性变形、过量塑性变形和蠕变,如曲轴弯曲、基础件变形等。五是老化,如橡胶轮胎、塑料器件龟裂、变硬等。失效模式是研究汽车零部件失效的关键,同一个零件可能同时存在集中失效模式。 2.汽车零部件失效的原因 2.1设计制造方面的原因 汽车零部件的设计制造不合理是造车汽车零部件早期失效的主要原因之一。如汽车零部件的材料选择方面,我国GB5216标准规定的齿轮钢淬透性带宽为12HRC,而美国休斯通用公司为8HRC,日本小松为5HRC,远远不及国外汽车生产企业的标准要求。如汽车零部件的设计方面,轴的台阶处直角过渡、过小的圆角半径、尖锐的棱边等造成的应力集中处,都会成为汽车零部件破坏的成因。 2.2工作条件方面的原因 汽车零部件失效工作条件方面的原因主要包括:一是工作环境,由于汽车零

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