多靶溅射PLC控制类
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多靶共溅/直溅设备计算控制软件
简明使用手册
中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
一、软件功能
该软件用于控制磁控靶带挡板的多靶设备，最多可控制六靶及一
个样品挡板，本设备只有五个挡板。
软件与挡板控制电源之间采用RS232通讯进行控制。
该软件为通用型软件，所以针对不同设备，可能会有些功能无法
使用。
在使用该软件前先要将控制电源打开，并确认串行口电缆已经连
接，否则会有通讯失败的提示
在把挡板控制电源后端插着一根黑色的屏蔽通讯电缆，将标有
“com”的DB9针借口插到计算机的com口上
二、界面介绍
软件运行后，显示界面如下：
挡板控制及状态
控制并显示各个挡板的状态。当用户点击“开（关）”的按钮时
候，在挡板没有到达相应的“开（关）”位置时，该按钮是闪烁的，
当到位时，按钮时亮的。
运行状态
显示命令执行过程中的状态，包括在挡板打开时间（共溅）/靶
位下的停留时间（直溅），循环次数，完成进度等。
运行设置
使用命令语句方式设置挡板或样品的动作过程。当做平行溅射的
时候要将界面上的“直溅/共溅”按钮点到“直溅”的位置上；在作
共溅射的时候，要把该按钮点到“共溅”的位置上。点击“运行设置”
文本输入框的“设置”按钮，文本框将变成可操作模式，这时用户可
自行输入控制语句，在确认输入无误时，点击“关闭”按钮，所设置
的语句就可以输入给控制系统。
共溅射的时候使用的控制关键字是：a，b，c，d，ab，ac，，bc，
abc
平行溅射的时候使用的关键字是：ta，tb，tc，td,te
循环控制语句为：for…………next;
例子，for =2;
ab=2;
bc=2;
abc=2;
next;
代码解析，循环次数为2，先是a靶和b靶同时打开2秒，然后，b
靶和c靶同时打开2秒，最后a、b、c三靶同时打开2秒。
每行代码的结尾必须使用“；”，
样品速度
显示并设置样品自转（共溅）/公转（直溅）的速度，自转的启
停。
样品编号及位置
显示并设置样品编号及位置。
三、挡板控制及状态
退出控制系统
远程 将挡板控制电源置为远程状态，此时控制电源前面板的按钮动作失效，但按钮指示灯正常显示挡板状态。
本地
将挡板控制电源置为本地状态，此时控制电源前面板的
按钮动作有效。
控制A靶的挡板，显示挡板状态。
控制B靶的挡板，显示挡板状态。
控制C靶的挡板，显示挡板状态。
控制D靶的挡板，显示挡板状态。
控制E靶的挡板，显示挡板状态。
控制F靶的挡板，显示挡板状态。
控制样品挡板，显示挡板状态。
单击挡板的开/关，相应的挡板执行开/关动作，在挡板动作过程
中，指示灯闪烁，动作完成，相应指示灯亮。
四、运行设置
修改程序设置。
结束程序设置，并将新命令写入到软件。
运行 按照设置运行。
停止 在运行状态时停止程序的执行。
共溅 设置挡板系统为共溅模式。
直溅 设置挡板系统为直溅模式。
命令采用指令形式书写。具体指令参见指令说明。
五、样品速度
速度显示窗口，在拖动滑块时，数字颜色为淡粉色，确
认后颜色为蓝色。
样品自转的启动/停止。
速度调整：拖动滑块调整转动速度。
样品转动的最大速度为5转/分。
样品转动过程中不能调整速度（包括共溅和直溅2种模
式）。
在直溅状态下，样品自转功能无效。
六、样品编号及位置
样品编号，直接点击编号将把样品更换样品。
样品位置，直接点击编号将把样品移动到该处位置。
在共溅状态下，样品编号及位置无法使用。
由于不同设备靶位个数不同，有些不存在的样品位置和编号可能
无效。
