EM-EOP-109B 捷佳伟创PECVD设备操作规范
- 格式：doc
- 大小：1.35 MB
- 文档页数：13
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 1 / 13
GM-012B 修订日期 版本 修订说明
2012-12-20
2014-09-17 A
B 新版制定
修订 5.4.2；5.4.3
修订部门 编 制 审 核 批 准
设备部
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 2 / 13
GM-012B 1. 目的
制定捷佳伟创管式PECVD设备规范，以提供捷佳伟创管式PECVD设备装机及使用操作，保养的规范依据。
2. 范围
电池生产车间的设备工程师/设备助理工程师/设备技术员于设备装机及平时操作机台时使用。
3. 定义
无
4. 职责
设备负责本规范的制定及修改，设备人员依据本规范进行相应的设备调整、操作及保养工作。
5. 作业内容
5.1 设备规格
5.1.1 主体部分
5.1.1.1 材质：不锈钢支架、特种钢底座、有机玻璃安全防护门及防漏电油漆金属保护盖板
5.1.1.2 设备所需电力
电力需求
机台 电压 赫兹 相 额定电流 设备功率
item1 380V 50HZ 3F/PE 60A 135KVA
5.1.1.3 设备所需气体要求
设备所需气体
气体名称 压力(bar) 管径（mm）
CDA 6 6
N2 3 8
NH3 2.5-3 4
SIH4 2-2.5 4
5.1.1.4 设备所需抽风要求
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 3 / 13
GM-012B 抽风需求
抽力 管径
printer 250mc/h 100mm
Pump 400mc/h 60mm
5.1.1.5 设备尺寸
设备尺寸（长*宽*高）mm
捷佳伟创 上料箱 24000*15750*32700
（毒气外排柜） 3400*15150*30400
炉管箱 20000*14400*33000
气柜箱 13000*14300*31000
Adixen
pump Pump（真空泵） 9000*4000*8000
5.1.1.6设备所需冷却水要求
设备所需冷却水
进水压力 大于0.5M Pa
进出水压差 大于0.35M Pa
温度 18～23℃
5.1.2 设备示意图
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 4 /
13
GM-012B 5.1.2.1 控制及操作元件
5.1.2.2 装料台
5.1.2.3 带TGA毒性气体抽排装置的抽排系统
5.1.2.4 最多五层的水平式炉体
5.1.2.5 气柜
5.1.2.6 射频电源
5.1.2.7 真空泵
5.2 设备组成及功能
5.2.1装料台：用来将硅片装到工艺舟中去，工艺舟移入水平式炉体中进行工艺加工，工艺过程结束后硅片被卸下。
5.2.2带软着陆系统的装卸机：当管门打开后，装卸机将桨移入水平式炉体的工艺炉管中。 给工艺舟放上硅片，随后装卸机退回。管门气动关闭。选取的工艺程序启动并开始加工。加工完毕后，管门打开，桨移入工艺炉管中取出带加工好的硅片的工艺舟。
5.2.3推车：在工艺中用一部推车来手动将工艺舟移入设备中进行加工，以及在加工
结束后将工艺推车及工艺舟移出设备，推车锁定在设备中用作加工后冷却工艺舟的存放处。
5.2.4工控机：控制实现装卸舟功能等
5.2.5工艺舟：用来在热化学工艺过程中作为硅片的机械承载器，工艺舟用石墨制作。
5.2.6水平式炉体：包括热电偶、加热电偶、炉体
5.2.7加热柜：划分为不同的加热区，各加热区的温度可通过控制器分别设定。每个加热区均配备1个外部热电偶，与温度测量器连接，外部热电偶安装在一个陶瓷管中。该陶瓷管通过一个陶瓷管罩插入到加热箱中。成型热电偶(选项)位于
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 5 / 13
GM-012B 工艺炉管中，用一个石英管罩保护。它们用来测量工艺炉管内每个加热区的内部温度。成型热电偶安装在一个陶瓷管中。在每个加热区，陶瓷管带有一个钻孔，成型热电偶通过它来测量温度。加热箱的运行可采用内部和/或外部温度控制。
5.2.8工艺炉管：水平式炉体的每一层均有一个带一个工艺炉管的加热箱，热化学加工在此工艺炉发生，工艺炉管用石英制作。
5.2.9炉管密封门：炉管密封门用来关闭毒性气体抽排装置(TGA)中的工艺炉管。系统中采用真空炉管密封门。工艺炉管的背面是根据具体工艺对炉管的要求而制作的。在 PECVD工艺中，工艺炉管被一个后法兰关闭。
5.2.10功率电子器件：安装在水平式炉体第一层的下面。一个空气冷却循环用来消散变压器产生的废热，一个用作层热交换器的空气-水热交换器安装在水平式炉体的顶层上。以减小加热箱的热量，避免加热箱的温度过高。冷却器安装在最上面的层的上方。主风扇安装在冷却器的背面，以便将加热箱上方的热空气向上拉。
5.2.11气柜：用户公司内部的供应系统获得气体，并将气体分配给扩散系统中的各个层面
5.2.12毒性气体抽排装置（TGA）：用来吸取装卸过程中或出现故障时排放出来的气体。炉管密封门区域的气体抽排系统由分开通风的不锈钢室组成。可用一个滑动控制器来为每个腔室设定排放量。
5.2.13射频电源
5.2.13.1射频电源开关
5.2.13.2主电源接线盒 1
2 5 4 6
3
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 6 / 13
GM-012B 5.2.13.3冷却水
5.2.13.4电极线接线盒
5.2.13.5电极线
5.2.13.6 PLC信号线
5.2.14真空泵：镀膜时使炉管处于负压状态
5.3操作面板及说明
5.3.1机台指示灯
指示灯 颜色 动作 含义
红色 发光
警报器：开
发光
警报器：关 警报/错误待决，必须立即采取
措施
警报/错误仍然待决，警报器关
闭
黄色 发光
警报器：开
发光
警报器：关 警告
设置模式中警告
绿色 发光
警报器：开
发光
警报器：关 准备好操作
暂停
5.3.2操作界面
5.3.2.1主界面
标题栏
导航栏
任务栏
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 7 / 13
GM-012B 5.3.2.1.1标题行：标题栏包含带有关于当前执行的程序
5.3.2.1.2 导航条：各功能区的信息区标题
5.3.2.1.3 显示介面：各功能区显示
5.3.2.2按钮界面
5.3.2.3标题栏：显示该设备型号；当前时间；退出按钮；红色、黄色、绿色三种警灯信息；八种操作模式切换按钮
5.3.2.4 真空泵界面
5.3.2.4.1 绿灯：正常运转
5.3.2.4.2 黄灯：警告状态，机器仍可继续运转
5.3.2.4.3 红灯：警报错误状态，机器不能运转 急停开关
上电开关 加热开 加热关
■Q □E □S
文件编号：EM-EOP-109
文件名称 PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 校订版别：B
页次/总页次： 8 / 13
GM-012B
5.3.2.4.4 SET：参数设置键按该键可以进入参数设置菜单或者退出各菜单
5.3.2.4.5 +/-"键 ：选择键按该键可移动到前一个或后一菜单，也可以调整参数的数值
5.3.2.4.6 ENTER：设置确认键按该键可以对选择的菜单,设置。参数进行确认。
5.4设备软件操作/显示界面部分
5.4.1系统设置
5.4.1.1控温方式：本型号设备务必选择基本外部控制，串级控制方式用于石英管内与石英管外联合控温
5.4.1.2阀门设置：可以独立开关特气(SiH4,NH3)管路的各个阀门,可以开关主抽阀,排气阀.由于特气管路需谨慎操作,所以在手动开关或清洗特气管路时要在管理员模式下进行各阀体对应管路位置
