ST2722半导体粉末电阻率测试使用说明

实验一 四探针法测试半导体的电阻率实验项目性质： 普通实验 所涉及课程：半导体物理 计划学时：2学时 一、 实验目的1．掌握方块电阻的概念和意义； 2．掌握四探针法测量方块电阻的原理； 3．学会操作四探针测试仪。

二、 实验原理 1．方块电阻对任意一块均匀的薄层半导体，厚W ，宽h ，长L 。

如果电流沿着垂直于宽和厚的方向，则电阻为hW LR ⋅=ρ，当h L =时，表面成方块，它的电阻称为方块电阻，记为WR 1ρ=口，单位为Ω□ （1）式中的方块电阻口R 与电阻层厚度h 和电阻率ρ有关，但与方块大小无关，这样得到hLR R 口= （2） 对于一扩散层，结深为j x ，宽h ，长L ，则jx h LR ⋅=ρ。

定义L ＝h 时，为扩散层的方块电阻，1jjR x x ρσ==□ (3) 这里的ρ、σ均为平均电阻率和平均电导率。

若原衬底的杂质浓度为()B N x ，扩散层杂质浓度分布为()N x ，则有效杂质浓度分布为()()()eff B N x N x N x =-。

在j x x =处，()eff N x 0=。

又假定杂质全部电离，则载流子浓度也是()eff N x 。

则扩散层的电导率分布为1()()()eff x N x q x σμρ==，对结深的方向进行积分求平均，可得到 011()()jjx x eff jjx dx N x q dx x x σσμ==⎰⎰。

（4）若μ为常数，由（3）式，有01()jx eff R q N x dxμ=⎰□。

其中0()jx eff N x dx ⎰表示扩散层的有效杂质总量。

当衬底的原有杂质浓度很低时，有()()eff N x N x ≈，则()()jjx x eff N x dx N x dx Q ==⎰⎰（单位面积的扩散杂志总量）因此有1R q Qμ≈□。

2．四探针法测扩散层的方块电阻将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在1、4探针间通过电流I （mA ），2、3探针间就产生一定的电压V(mV)。

半导体管特性图示仪操作指导书
1、目的:
规范操作员正确操作，减少事故发生率，确保产品符合要求。

2、范围：
使用于半导体管特性图示仪的操作。

3、操作方法：
3.1确保半导体管图示仪输入电压为220V/AC,开机需预热3分钟后方可进入工作状态;
3.2面板控制键名称说明：
3.3
3.4在面板上选择与被测器件相对应的扫描电压范围，水平电压/档位，选择相对应的测试座，被测器件的脚位插入端口时要正确；
3.5测试时先将阶梯信号及扫描电压调至最小然后由小到大，这样以免对被测器件造成冲击；
3.6对被测器件提供扫描电压与集电极电流，由流过的取样电阻转换成电压值来量度，阶梯信号源提供被测器件基极阶梯信号。

被测器件施加阶梯信号、扫描信号后获得特性曲线并完成输出特性的测量；
3.7测试完成后，将扫描电压调至最小再取下被测器件。

4、注意事项：
4.1非专业人员严禁擅自操作及更改参数；
4.2禁止仪器C、E间的直接短路；
4.3关机后必须大于30秒钟后再开机；
4.4选择高压状态时必须先按入安全罩后再按入测试键，测试完毕后应先将扫描电压回调至零后才
能取下被测器件。

5、设备点检：
设备操作人员于正常工作日每天使用前，按《设备点检记录表》中各项要求进行点检。

6、相关记录表格：
《设备点检记录表》。

关于导电性粉末电阻率测试仪详情介绍标准满足standard：1.YST 587.6-2006 炭阳极用煅后石油焦检测方法第6部分粉末电阻率的测定；概述Overview：1.四端测量法.2.采用4.3吋大液晶屏幕显示.3.显示电阻值、电阻率、电导率值、温度、压强值、单位自动换算.4.液压动力（手动）.5.薄膜按键开关面板，操作简单.6.中文或英文两种语言操作界.原理: Principle:一定量的粉体，在液压动力下压缩体积至设定压力值或压强，无需取出，在线测量粉体电阻、电阻率、电导率，并记录数据.解决粉体难压片成型或压片取出测量误差.适用范围：Scope of application适用于锂电池材料、石墨烯、石墨类、碳素粉末、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部门，是检验和分析导电粉末样品质量的一种重要的工具。

型号及技术指标Models and technical indicators：规格型号 model FT-300I FT-300II FT-300III FT-300Ⅳ1.电阻resistance10-7～2×107Ω10-6～2×106Ω10-5～2×106Ω10-4～1×105Ω2.电阻率范围Resistivity 10-7～2×107Ω-cm 10-6～2×106Ω-cm 10-5～2×106Ω-cm 10-4～1×105Ω-cm3.电导率Conductivity5×10-7～107s/cm 5×10-6～106s/cm 5×10-6～105s/cm 5×10-5～104s/cm4.测试电流范围current1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA 1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，5.测量电压量程Voltage 测量电压量程 voltage：2mV 20mV 200mV 2V测量精度Accuracy±（0.1%读数）分辨率 Resolution： 0.1uV 1uV 10uV 100uV6.电流精度Current±0.1%Accuracy ±0.2% Accuracy ±0.2% Accuracy ±0.3% Accuracy7.电阻精度Resistance Accuracy ≤0.3%标准电阻resistance≤0.3%标准电阻resistance≤0.3%标准电阻resistance≤0.5%标准电阻standardresistance步骤及流程1.运行高度清零.2.将称重样品装入模腔.3.固定上电极旋钮.4.在显示器上设置好参数.5.达到设定压力或压强值.6.读取样品压缩高度数据并输入.7.获得电阻、电阻率、电导率数据.8.记录数据.9. 样品脱模7. 测试结束.优势描述：1.高性价比机型.数据稳定.2.可读取粉末高度数据，无需人工测量.3.可选购PC软件.4.高精度电阻率测量系统.5.配置粉体废料收集盘.6.操作简单. 自动计算出所需数据.7.经济实惠，功能突出.8.获得压实后电阻、电阻率、电导率、高度、直径、压强等数据. 整机示意图操作界面显示：部分客户案例：中科院过程工程研究院河北工程大学温州大学天津大学高确有限公司福建鑫森碳业股份有限公司东莞理工大学北京联合涂层技术有限公司多氟多新能源科技有限公司天元羲王(深圳)新能源材料科技有限公司北京工业大学扬州大学广西大学深圳市国创新能源研究所连云港正道新能源有限公司武汉大学化学院上海交通大学电子科技大学山东联科新材料股份有限公司黑龙江天林科技有限公司西安交通大学常州二维碳素科技股份有限公司中科院广州能源研究所武汉优卓科技有限公司深圳市斯诺实业发展有限公司极限资源科技有限公司湖北泽川科技有限公司贵州安达科技能源股份有限公司服务项目1.质保：12个月，终身维护.2.培训：操作培训：电话教学；视频教学文件；远程视频沟通；现场教学；说明书教学文件3.保养和维护：提供因知保养和维护文件、标识、表格、保养提醒.4.验证文件：3Q验证文件、计量证书5.扩展服务：延保服务，样品测试服务，后延技术服务，仪器租赁服务.粉体行业本机常用配套方案：1.粉体行业常用仪器方案：水分仪，松装密度仪，休止角测试仪，粉体流动性测试仪，筛分粒度仪，振实密度仪，粉末电导率测试仪，体积密度仪.粉体综合分析解决方案：FT-3400粉体流动行为分析仪（静态力学，剪切法）FT-7100粉体流动测试仪（动态力学，转鼓法或旋转圆筒法）FT-3900粉末屈服强度分析仪（单轴压缩法）FT-3500粉体压缩强度测试仪（可压性，压缩方程）FT-2000智能颗粒和粉末特性分析仪系列(传统方法)FT-301系列智能粉末电阻率测试系统（电性能）品牌分享：ROOKO瑞柯品牌-----专注于粉体&新材料测量与分析仪器解决方案---解决粉体表征：流与不流分析；粒度；水分；体积分析；电导性、静电电荷分析.----我们一直在做：研发、生产、销售、租赁、实验室样品分析及后延扩展服务.商标、专利知识产权。

第1篇一、概述半导体测试机是用于对半导体器件进行电参数测试的设备，广泛应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装等领域。

为确保测试结果的准确性和设备的安全运行，特制定本操作规程。

二、操作前准备1. 检查设备外观是否完好，各部件连接是否牢固。

2. 检查电源线、测试线等是否完好，无破损、老化现象。

3. 确认测试样品已准备好，符合测试要求。

4. 检查仪器工作环境，确保温度、湿度等符合仪器要求。

5. 打开仪器电源，等待仪器自检完成。

三、操作流程1. 进入测试软件，选择测试项目。

2. 根据测试项目要求，设置测试参数，如测试电压、电流、频率等。

3. 将测试样品放置在样品台上，确保样品与测试台接触良好。

4. 连接测试线，将测试线与样品、测试台连接。

5. 启动测试程序，仪器开始进行测试。

6. 观察测试过程中仪器的运行状态，如电流、电压、波形等。

7. 测试完成后，关闭测试程序，断开测试线。

8. 将测试样品从样品台上取下，检查测试结果。

四、注意事项1. 操作过程中，严禁触摸测试样品、测试台等设备，以免造成短路或损坏。

2. 操作过程中，注意观察仪器运行状态，如电流、电压、波形等，发现问题及时停止操作。

3. 测试过程中，避免对仪器进行震动、碰撞，以免影响测试结果。

4. 操作过程中，保持仪器工作环境清洁，避免灰尘、水汽等进入仪器内部。

5. 测试完成后，关闭仪器电源，整理测试样品和测试线。

6. 定期对仪器进行维护和保养，确保仪器正常运行。

五、异常情况处理1. 测试过程中，如发现电流、电压异常，应立即停止操作，检查测试线、样品等。

2. 如仪器出现故障，应立即关闭仪器电源，联系专业人员进行维修。

3. 如测试样品出现异常，应立即停止操作，检查测试样品。

六、总结正确操作半导体测试机是获得准确测试结果的关键。

操作人员应熟悉本规程，严格遵守各项操作规程，确保仪器正常运行和样品安全。

同时，不断总结经验，提高操作技能，为实验室的工作提供有力支持。