金刚石线锯截断机的设计与应用

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0 引言
硅 片 是 半导 体 工 业 的基 础 ,也 是 构 成 太 阳 能
光 伏 电池 的 核心 元 件, 的制造 工 艺 和 质量 直 接影 它
外 现 在 虽 有 一 些 硅 锭 金 刚 石 线 锯 截 断 机 设 备 生
产 ,但 由于 机 床 的机 构 设 计 复 杂 、体 积 较 大 、价
提 高 切 割 效 率 等方 面 。现 有 的 硅 锭截 断 ( 括 头 包 尾切 割 )设 备大 多采 用 金 刚 石外 圆切 割 、带 锯切
割 等 方 法 来解 决 。外 圆切 割方 法 简 单 ,但 刀 片 刚 性 差 ,易 产生 侧 向摆 动 ,切 缝 大 ,材 料 浪 费 大 。 特 别 是 对 于 切 割 大 尺 寸 的单 晶 棒 或 铸 成 多 晶 硅 块 ,为保 证 刀 片 刚 性 需要 其 自身 厚 度大 ,切 缝 更
大 , 材料 浪 费 尤 为 明 显 ,很 不 ห้องสมุดไป่ตู้ 济 。这 种 切 割 方
法 已逐 步 淘 汰 。 目前较 常 用 的 方法 是 带 锯 切 割 。 带 锯 切 剖 解 决 了 外 圆切 割 切 缝 大 的 问题 ,但 由于 锯 片 薄 了以 后也 存 在 稳 定性 的 问题 。切 割 过 程 中 容 易 产 生 偏斜 或 产 生 波 浪形 。 同样 也 产 生 材 料 的 浪 费 。且带 锯 切 割 也 只能单 件 切 割 ,效 率 低 。 国
金 刚石线锯截断机 的设计 与应用
Desi gn and appl i caton o am on 。e cut i achi i f di dw i r tng m ne
杜 红文 。 ,席珍 强
DU Ho g we . en qa g n — n‘Xl Zh . in
1 一一工 件 6 导 轮 ~ 2 - 身 -机 7 线架 - 3- 丝系 统 储 8 : [作 台 4 - 渡 轮 -过 9 张 紧 机 构 5 驱 动 系 统 ~
图 1 截 断 机 结 构 示 意 图
收稿日期:2 0 -1- 4 0 9 0 2 基金项目:浙江省教育厅科研计 划项 目 ( 0 9 9 7 ) “ Y20 0 2 8 硅材料 金刚石线锯技术的研究与应用” 作者简介:杜红文 ( 96 16 一),女 ,浙江杭州人,副教授 ,硕士 ,主要从事数控 、C D C M等方 向教学和科研工作。 A /A 【 2 第3 卷 5】 2 第6 期 21- 0 6 0
石线 锯截 断机 。
响 到 成 品太 阳能 电 池 发 电转 换 效 率 、 使 用寿 命 等 性 能 。 硅 片 的制 造 主 要 包括 晶 体 生 长一 截 断 一 磨 外 圆一 切 片一 倒 角一 研 磨一 腐 蚀一 抛 光 一 清 洗 等
工序 。其 中 ,截 断工 序 的 目的 是切 除硅 锭 ( ) 棒
切割损耗及切割效率等方面对研制设备的使用 效果进行 了比较说明。
关键词 :硅材 料 ;固结磨料 ;金刚石线锯 ;截断机 中图分类号 :T 9 P31 文献标识码 :B 文章编号 :1 0 —0 3 (0 ) 6 0 2 3 9 1 4 2 1 0 —05 —0 0 0
Doi 1 3 6 /iis 1 0 -0 4 2 1 0 . : 9 9 .s n. 0 9 1 . 0 6 1 0. 3 O. 8

截 断 工 具 ( 刚 石 线 )的 选 用 :本 设 备 的 截 金
、 l
截 断 机 主 要 由 固 结 磨 粒 金 刚 石 线 网 运 动 系
统 ,截 断 进 给 系统 和 电 器 控 制 系统 等 组 成 。启 动 机 床 , 金 刚 石 线 网运 动 系 统 驱 动 固 结 磨 粒 金 刚 石 线高 速 运动 , 同时 截 断 系统 通 过 工 作 台带 动 硅 锭 向上 进 给 ,硅 锭 得 到 多 线 同 时切 割 ,截 断 成 等距 多段 工 件 。 当储 丝 系统 运 行到 接 近 线 的 尾 断时 ,
格 昂贵 等 因 素 , 在 国 内推 广 受 到 局 限 。本 文 针 对
上 述 现 有 加工 技 术和 设 备 存 在 的不 足 ,着 手 研 究
切 割 加 工材 料 浪费 大 、效 率 低 ,表 面 质 量 差 等 问 题 的 解 决方 法 ,设 计 并研 制 了硅 锭 固 结 磨 粒金 刚
的 头 部 、 尾 部 及 超 出客 户 规 格 的 部 分 , 将 硅 锭
( )分 段 成 客户 切 片 设 备可 以处 理 的 长 度 ,或 棒
1 硅锭 ( )金刚石 线锯截 断机 的结 棒 构 方 案
根 据 硅 片材 料 的特 点 , 以及 实 现 硅 锭 截 断 的 工 艺 要 求 , 同时 考 虑 经济 效 益 和 生 产 效 率 , 经过 分析 计算 ,截断机 采 用图 1 示 的结构 形式 。 所

切 取试 片测量 硅锭 ( )的 电阻率 、含氧 率 。 棒
近 年 来 ,随 着 太 阳能 工 业 的迅猛 发展 , 材 料 硅
的 需 求 量 不 断 增 加 , 割 加 工 量 大 幅 增 长 。 目前 切
的硅 片 切 割技 术 研 究 方 向 主要 在 于 硅 锭 ( )截 棒
断 、切 片 时如 何 减 小 切 缝损 失 、 增大 切 割 尺 寸 及
(. 1 浙江机 电职业技术学院 现代制造工程系,杭州 3 0 5 ;2 浙江理工大学 材料研究 中心 ,杭州 3 0 5 ) 103 . 1 0 1 摘 要 :随着l产 业与光伏产业的迅速发展 ,硅片的应用 范围越来越大 ,对硅片加工技术越来越重视 。 c 与发达 国家相比 ,我 国在 硅材料的截 断、切片等切割技 术及设备等方 面的研究与制 造还相对 落后。本文较 详细地介绍 了采 用固结磨 粒金钢石线切割技 术的截 断机设计 ,并从切 割尺 寸 、