各种真空泵的应用
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各种真空泵的应用 ———————————————————————————————— 作者: ———————————————————————————————— 日期: 目录 1.爪型干式真空泵 ........................................................................................................... 1 1.1 爪型干式真空泵概述1ﻩ 1.2 爪型干式真空泵的结构.............................................................................. 1 1.3 爪型干式真空泵的特点 .............................................................................. 2 1.4 爪型干式真空泵的应用...................................................错误!未定义书签。 2. 水环式真空泵 .................................................................................................................... 4 2.1 水环式真空泵的基本类型4ﻩ 2.2 水环式真空泵的特点 .....................................................错误!未定义书签。 2.3 水环真空泵的应用5ﻩ 2.4 水环式真空泵的选择要点 ............................................................................ 6 3. 干式螺杆真空泵8ﻩ 3.1 真空泵特征 .......................................................................错误!未定义书签。 3.2 螺杆式干式真空泵的应用ﻩ错误!未定义书签。 4. 往复式真空泵 .................................................................................................................. 10 4.1 W型往复式真空泵的结构组成:11ﻩ 4.2 W型往复式真空泵的应用1ﻩ1 4.3 往复式真空泵选型须知11ﻩ 5.水喷射真空泵 ................................................................................................................... 12 5.1 水喷射真空泵原理与用途12ﻩ 5.2 水喷射真空泵结构优点12ﻩ 5.3 喷射式泵的种类13ﻩ 5.4 喷射泵的应用 .............................................................................................. 14 6. 旋片式真空泵 .................................................................................................................... 16 6.1 旋片式真空泵的结构说明ﻩ16 6.2 旋片式真空泵的特点及适用范围17ﻩ 6.3 旋片式真空泵的应用........................................................错误!未定义书签。 6.4 旋片式真空泵的使用18ﻩ 6.5 性能特点 ..................................................................................................... 18 6.6 旋片式真空泵的使用特点18ﻩ 7.滑阀式真空泵 ................................................................................................................. 20 7.1 滑阀式真空泵的结构特点 ............................................................................. 20 7.2 滑阀真空泵的应用范围2ﻩ1 8.罗茨真空泵........................................................................................................................ 23 8.1 罗茨真空泵的结构形式.............................................................................. 23 8.2 泵的传动方式 ................................................................................................ 23 8.3 罗茨泵的特征 .................................................................................................. 24 8.4 罗茨真空泵的应用.......................................................错误!未定义书签。 9. 扩散泵 ............................................................................................................................... 25 9.1 性能参数25ﻩ 9.2 扩散泵的应用范围 ...................................................................................... 26 9.3 影响油扩散泵性能的因素.......................................................................... 26 10. 分子泵......................................................................................................................... 27 10.1 工作条件 ........................................................................错误!未定义书签。 10.2 分子泵特点 .................................................................................................. 28 10.3 其他常见应用 ............................................................................................. 28 11. 钛升华泵ﻩ29 11.1 简介 ...............................................................................错误!未定义书签。 11.2 钛升华泵的特性 ........................................................................................ 31 11.3 影响因素31ﻩ 11.4 钛升华泵的应用 ..................................................................................... 31 11.5 使用要求 ...................................................................................................... 31 11.6 其他不得不看的真空泵选型策略32ﻩ 12. 真空泵最佳工作范围 ........................................................................................... 33 各种真空泵的应用 1.爪型干式真空泵 1.1 爪型干式真空泵概述 爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。
1.2 爪型干式真空泵的结构
爪型干式真空泵的结构,一般采用多级转子串联,或罗茨转子与多级转子串联的形式,组成多级爪型干式真空泵。