自组装铂有可能成为更好的催化剂

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“P E ”出 3 ̄4 n 用一层掩模 ) 5 0m( ,利用一些诀窍 ( 例为将掩模层加倍)可以 “ P E ”出更小 的尺寸。英特尔有一L ndm 装置,用 13m a eo 9 n 光刻可印出 1n ,但不能用单一步骤制 出有 5m
9 Biblioteka ( 杨英惠 摘译 ) 江 艺
英特尔 公司关于 E V的最新报告 U
在 20 年 6 l 09 月 8日举行的 “ 芯片制造者”年会上,英特尔公司介绍了 EV( U 极紫外光 刻 )的现状 。 U 源技术最为关键 ,该工具的 “ EV 第一期 ”( 用于研发)B 源之一可运行的工具 为 1 片/ 1w h ,以 “ O h(0 p ) 爆发”模式运行可将速度提高 5 倍。 目前使用的扫描仪只能在~ 1p w h上 运行 。2 1 0 0年可望 得到 “ 第二 期 ”工具 ( 于开 发 ) 00- 0 3年 间 可望用 于生 用 ,2 1-2 1 - 产,然后要求作 出 “ 第三期”生产工具。英特尔已用 EV“ P U E ”出了 2n 4m特征尺寸,也知 道如何用 13m( 9n 浸入式 )光刻 “ 延伸”这一尺寸 ( 通过添加额外的掩模) 9n 。13m和 EV U 在某些 “ 点”上是交叉的,对存储器来说,这交叉点在 3n 2m工艺代以后。该公司用 1 3m 9 n
规 则 图案 。
研究人员利用这一方法制成 了间隔 1n 0m的六角形空洞铂结构。铂通常用作燃料 电池的 催化剂,这些特制的孔洞结构使燃料更容易流动,因而反应面积也加大 了。
这一技术还可用来在表面上形成具有精细结构的金属,从而可改变等离子场, 这对于研 究金属表面、光、电子密度波相互作用很有价值。
现代材料动 态
连相 比拟;在此基础上进一步优化,其性能将超过 c 互连。 u
21 年 第 3 00 期
( 邓志 杰
摘译)
白组装铂有可能成 为更好 的催化 剂
利用软塑料作引子, 康奈尔大学的研究人员开发 出一个金属 自组装方法将其制成复杂的 造型。这一工作有希望用来制 出燃料电池或工业生产中使用的更高效、 更廉价的催化剂。 它 还可能制出在微芯片间比现有普通传导线传输更多信息的等离子表面结构。 这项工作巧妙地利用了高分子科学原理并将其以全新方式用于金属制造, 从而为许多发 明开辟 了途径 。 研究高分子化学的人曾试 图利用这一技术制造金属长达 2 年之久 。但是金属原子倾向 O 于团聚成不可控结构 。康奈尔大学的研究团队已开发出一个克服金属这一倾向的技术 。 首先, 他们用有机配合体将直径约 2m的金属纳米颗粒包裹, n 配合体在金属原子表面生 成薄膜,从而改变了金属表面的化学性质 ( 配合体薄膜非常之薄,因而当将有机物除掉时, 金属 仍有 足够 的容 体保 持其最 终 结构 ) 。包封 好 的原子 而后 置于 含有 一种 被称 为纳米 搭架 材 料的共聚合物溶液中。配合物涂层使金属纳米颗粒溶于这一溶液中。实验中,配合物包裹的 铂纳米颗粒将分布于这些框架式共聚合物中。 当纳米颗粒与聚合物组装成一个有规则的形状之后 ,将材料在隔绝空气的高温下加热, 使聚合物变成碳框架, 框架被冷却,由于金属纳米颗粒的熔 点很低,失去碳框架它们会顽固 地 以不可控制的形式熔于一体。 冷却后,用酸将碳框架溶去,固体金属则可保持其组装成的