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目录一、晶硅太阳能电池工艺简介二、硅片来料检测项目及标准三、制绒四、扩散一、晶硅太阳能电池工艺简介晶体硅电池工艺分为单晶硅电池工艺和多晶硅电池工艺，它们大体上相同，最大的不同在于第一步的清洗制绒，工艺步骤如下：✓硅片清洗、制绒工艺（单晶硅用碱液制绒面，多晶硅用HF和HNO3混合酸制绒面）✓扩散工艺（企业中采用的是POCl3液态源扩散）✓边缘刻蚀工艺✓PECVD镀膜工艺✓丝网印刷工艺✓烧结测试工艺1、硅片清洗制绒目的：清洗是为了除去沾污在硅片上的各种杂质，包括油脂、金属离子、尘埃等；制绒是为了除去硅片表面的切割损伤层，同时得到合理的粗糙表面，减小光在表面的反射，增加光尤其是长波长光在硅片内传输路径，获得适合扩散制p-n结要求的硅表面。
2 扩散制p-n结PN结是太阳电池的核心部分，扩散的目的：在P型硅片的表面扩散进一薄层磷，以形成p-n 结，p-n结形成后，能在硅片内产生电场，当光照射到硅片上被吸收产生电子-空穴对时，电场能将电子-空穴对分开，产生电流。
3 刻蚀刻蚀有两个目的：一是去除硅片边缘的PN结，扩散过程中，硅片的外围表面导电类型都变成了n型。
此工序就是刻蚀硅片边缘，以使前表面与背表面的n型层隔断，防止电池做出来以后正负极出现短路。
二是去除扩散过程形成的磷硅玻璃。
4 PECVD镀膜PECVD镀膜的目的：太阳光照射到硅片表面被硅片吸收透射的同时，也会有很大一部分光从该面反射掉，虽然绒面可以减少光的反射，但是仍是有一部分光被反射掉，这就大大减少了太阳能的利用率，所以要在硅片表面接触阳光的一侧镀上一层减反射膜，这就大大减少了光的反射损失，增强了吸收光的强度，提高电池效率。
薄膜的其他功能：这层薄膜主要由蓝色的氮化硅组成，除了前面所说的减反射作用外，还能起到钝化的效果。
同时，致密的氮化硅不透潮气，具有极低的氧化速率，还可防止划伤。
5 丝网印刷目的：通过丝网印刷在太阳能电池的背面印刷背电场、背电极，正面印刷正电极，正面收集电子，背面电极利于焊接以及组件的制成，是硅片制成电池的重要环节。
清洗制绒设备设备简介：主要用于单、多晶硅太阳能电池片生产,扩散前的绒面腐蚀和清洗。
2）工艺流程：上料→HF+HNO3腐蚀→QDR+氮气鼓泡+喷淋→KOH腐蚀→QDR+氮气鼓泡+喷淋→H Cl腐蚀→QDR+氮气鼓泡+喷淋→下料→离心机甩干(离线) 3）设备采用龙门式机械手方式移动，其工艺时间可以自行调节，酸碱槽具有自动补液装置，可实现无间断生产。
能显示温度曲线、浓度变化曲线，及各个工位的工作状态。
具有设备报警说明，报警历史查询功能。
对清洗用纯水有电阻率监测装置，能存储10个以上工艺方案；4）标准工艺下产量：125m m×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片，适用于投产厚度为160±30～200±30微米的硅片，硅片产能不低于1200片/小时。
平板式硅片清洗机设备简介：清洗对象是2～8英寸的硅研磨片。
设备整体采用进口PLC控制，通过设定工作节拍传送篮具依次经过各个工序，由上料开始到下料均自动完成。
设备工作节拍，各项参数设定采用触摸屏完成。
设备整体为密闭结构，具有排风装置。
独有的机械手设计使抓取定位更准确。
注重人性化设计，可根据用户要求定制LCD清洗腐蚀设备.用于LCD清洗腐蚀本机设有内外两个清洗槽，内槽为酸洗槽，外槽为水洗槽，内外槽均装在隔离槽内，与底部和周围隔离。
隔离槽底部倾斜，最低处设有排水管，隔离槽后设有排气装置。
半导体硅片去膜/去胶/去蜡清洗机概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行去膜处理，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。
2．整台设备材料均为进口。
3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可独立同时完成相应的工序。
4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。
5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。
6．工作区洁净度：100级。
7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S半导体器件设备-硅片片盒清洗机设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。
太阳能制造工艺清洗制绒1. 引言太阳能是一种可再生能源，其利用太阳能将光转化为电能。
太阳能电池板是太阳能发电的关键组件之一。
该文档将介绍太阳能电池板制造过程中的清洗和制绒工艺。
2. 清洗工艺在太阳能电池板的制造过程中，清洗工艺起着重要的作用。
清洗的目的是去除表面的污垢和污染物，提高太阳能电池板的效率和寿命。
2.1 清洗设备和材料清洗设备主要包括清洗槽、超声波清洗器、喷淋装置等。
清洗剂一般选择无机溶剂或有机溶剂，如去离子水、酒精、甲醛等。
2.2 清洗步骤太阳能电池板的清洗步骤一般包括以下几个环节：2.2.1 预清洗使用喷淋装置将太阳能电池板表面的灰尘和颗粒物清除，减少后续清洗过程中的污染物。
2.2.2 温水清洗将太阳能电池板浸泡在温水中，使用刷子或海绵轻轻擦拭表面。
温水可溶解污垢，并帮助去除粘附在电池板表面的有机物。
2.2.3 超声波清洗将太阳能电池板放入带有清洗剂的清洗槽中，开启超声波清洗器，利用超声波的振动作用，去除电池板表面的污垢和难以清洗的颗粒物。
2.2.4 再次冲洗将电池板从清洗槽中取出，用清水冲洗清洗剂残留物，确保表面彻底清洁。
2.3 清洗注意事项在清洗过程中，需要注意以下几点：•避免使用含有磨粒的清洗剂，以免划伤电池板表面。
•清洗时需轻柔，避免过度施力，以免损坏电池板。
•清洗完毕后，应将电池板放置在清洁的环境中晾干，避免二次污染。
3. 制绒工艺制绒是太阳能电池板制造中的一项重要工艺，其目的是提高电池板的反射率。
制绒可以减少光在电池板表面的反射，提高光吸收率，提高太阳能电池板的效率。
3.1 制绒设备和材料制绒设备主要包括绗缝机、毛毡、胶带等。
制绒材料一般选择质地柔软、具有较好吸水性能的纤维材料。
3.2 制绒步骤太阳能电池板的制绒步骤一般包括以下几个环节：3.2.1 准备工作将太阳能电池板放置在清洁的工作台上，确保表面干净无尘。
3.2.2 母毛膏施加将绗缝机上的毛毡固定在太阳能电池板上，使用母毛膏将毛毡固定在电池板上。
太阳能硅片制绒制程清洗制程说明1.目的确保单晶硅片扩散前的清洗腐蚀的工艺处于稳定的受控状态2.使用范围适用于单晶硅片扩散前的清洗腐蚀工序3.责任本工艺说明由技术部负责4.硅片检验4.1 将包装箱打开，查看规格、电阻率、厚度、单多晶、厂家、编号是否符合要求；4.2 检查硅片是否有崩边、裂纹、针孔、缺角、油污、划痕、凹痕；(见附图一、二)4.3 将不合格品放置规定碎片盒子内，作统一处理。
5.装片（见附图三）5.1 片盒保持干净，片盒底部衬以海绵，将硅片插入片盒中，每盒最多插25片硅片。
5.2 禁止手与片盒、硅片直接接触，必须戴塑料洁净手套或乳胶手套操作。
每插100张硅片，需更换手套。
5.3 操作中严禁工作服与硅片和片盒接触。
6.上料（见附图四）6.1 硅片插完后，取出片盒底部的海绵，扣好压条。
6.2 将已插好硅片的片盒整齐、有序的装入包塑的不锈钢花篮中，每篮12个片盒，片盒之间有适当的间隔。
7化学腐蚀液的配制7.1 准备：将各槽中破损硅片等杂质清除，用去离子水将各槽壁冲洗干净。
7.2 配制：向5、6、8、10#槽中注满去离子水，1-4、7、9#槽中注入约一半深度的去离子水，按照“7.3”比例分别向各槽加入指定量的化学药品，再注去离子水达到指定的高度。
7.4 配制溶液要求：7.4.1 配料顺序：1#槽按水、氢氧化钠的顺序；2-4#槽按硅酸钠、氢氧化钠、异丙醇的顺序。
7#槽按水、氢氟酸、水的顺序；9#槽按水、盐酸、水的顺序。
7.4.2 时间要求：2-4#槽按硅酸钠、氢氧化钠配制完毕后，需等待10分钟之后硅酸钠、氢氧化钠完全溶解后，才能加异丙醇。
1#槽配制完毕后,温度达到工艺要求之后，同时2-4#槽的其中一槽加硅酸钠、氢氧化钠10分钟后，才可进硅片。
7.4.3 异丙醇加液要求：需用塑料管或漏斗将异丙醇加到制绒槽的底部，在硅片进入1#槽之后才能加异丙醇，减少异丙醇的挥发。
8.各化学药品规格及要求8.1 氢氧化钠：电子纯，容量500克/瓶，浓度≥98%。
