全固态激光器技术
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第49卷第12期Vol.49N o.12红外与激光工程Infrared a n d Laser Engineering2020年12月Dec.2020 L D泵浦的高重复频率全固态飞秒激光器(特邀)郑立s汪会波u,田文龙\张大成\韩海年2,朱江峰、魏志义2(1.西安电子科技大学物理与光电工程学院,陕西西安710071;2.中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家实验室,北京100190)摘要:G H z飞秒激光器相比于传统的百M H z飞秒激光器,其频域中相邻纵模的间隔更大、可分辨 率更高,相同光谱范围内纵模密度更小,每个纵模分得的平均功率相对更高,在梳齿可分辨光谱学、直 接频率梳光谱学、光学任意波形产生以及天文摄谱仪校准等诸多领域有着更重要的应用价值。
文中从G H z飞秒脉冲的产生方案出发,着重对激光二极管泵浦的G H z重复频率全固态飞秒激光的产生方 案以及相应的技术挑战进行了详细介绍,然后重点综述了国际上基于S E S A M被动锁模以及克尔透镜 锁模全固态G H z飞秒激光器的研究进展,并结合笔者所在课题组取得的初步研究结果对全固态G H z重复频率飞秒激光器的应用价值以及笔者所在课题组的研究目标进行了展望。
关键词:G H z重复频率;全固态飞秒激光器;克尔透镜锁模;被动锁模中图分类号:T N242 文献标志码:A D O I:10.3788/I R L A20201069LD-pumped high-repetition-rate all-solid-statefemtosecond lasers {Invited)Zheng Li1,W a n g Hu i b o1'2,Tian W e n l o n g1,Zh a n g D a c h e n g1,H a n Hainian2,Z h u Jiangfeng1,W e i Zhiyi2(1. School of Physics and Optoelectronic Engineering, Xidian University, Xi'an 710071, China;2. Beijing National Laboratory for Condensed Matter Physics and Institute of Physics, Chinese Academy o f Sciences, Beijing 100190, China)Abstract:C o m p a r e d with traditional 〜100 M H z femtosecond lasers,the m o d e spacing i s larger of G H z femtosecond lasers so that each c o m b can simply be resolved.Furthermore,the less dense of longitudinal m o d e s results in higher average p o w e r.Therefore,i t has more important application value in m a n y research fields,such as comb-resolvabled spectroscopy,direct optical frequency c o m b spectroscopy,optical arbitrary waveform generation and astronomical spectrograph calibration.In this review,the generation schemes of G H z femtosecond pulses and the corresponding technical challenges of G H z-repetition-rate all-solid-state femtosecond lasersp u m p e d by laser diode were introduced in detail firsly.Secondly,the international research progresses of all-solid-state G H z femtosecond lasers based on S E S A M passively mode-locking and Kerr-lens mode-locking were summarized.Finally,the application value and research object of our group in all-solid-state G H z-repetition-rate femtosecond lasers were forcasted based on our preliminary research results.K e y w o r d s:G H z repetition rate;all-solid-state femtosecond lasers;Kerr-lens m o d e locking;passively m o d e locking收稿日期:2020-09-12;修订日期:2020-10-14基金项目:国家自然科学基金(11774277, 60808007);中央高校基本科研业务费(JB190501,Z D2006);陕西省自然科学基础研究计划(2019JCW-03)作者简介:郑立(1995-),男,博士生,主要从事全固态激光技术方面的研究。
激光晶体的现状及发展趋势分析激光材料是激光技术发展的核心和基础,具有里程碑的意义和作用:20世纪60年代第一台红宝石晶体激光器问世,激光诞生;70年代掺钕钇铝石榴石(Nd:YAG)[引,固体激光开始大力发展;80年代钛宝石晶体(Ti:A1203)E引,超短、超快和超强激光已成为可能,飞秒(fs)激光科学技术蓬勃发展、并渗透到各个基础研究和应用学科领域;90年代矾酸钇晶体(Nd:YV04) ,固体激光的发展进入新时期一全固态激光科学技术(SSDPL,Solid-state LD Pumped Laser);进入新世纪,上世纪60年代初出现的激光和激光科学技术,正以其强大的生命力推动着光电子技术和产业的发展,激光材料也在单晶、玻璃、光纤和陶瓷等四方面全方位迅猛展开,如微一纳米级晶界,完整性好、制作工艺简单的微晶激光陶瓷和结构紧凑、散热好、成本低的激光光纤,正在向占据激光晶体首席达40年之久的Nd:YAG发出强有力的挑战,激光材料也已从最初的几种基质材料发展到数十种,受到各国政府、科学界乃至企业界的高度重视。
国内外现状和研究进展1、中、小功率激光晶体与Nd:YAG比较,Nd:YV04具有两个突出的特点:受激发射截面大,比Nd:YAG大5倍;808nm 具有相对宽的吸收带。
因此,Nd:YV04具有低的泵浦阈值,特别适合用LD泵浦,从而实现了商品化的全固态激光器。
对于LD泵浦掺Nd介质腔内倍频实现532nm的激光输出,Nd:YV04是一种最重要的材料。
这是因为在端面泵浦的系统中,泵浦光束通常是高度聚焦的,很难在超过几毫米的距离内维持小的束腰,而吸收截面和增益都很高的Nd:YV04晶体就具有很大的优势。
例如,中国科学院北京物理所和福建物构所等采用Nd:YVOt晶体为激光增益介质,LBO为倍频材料,通过腔内倍频,在泵浦功率为21.1W时,获得输出功率为5.25W的连续绿色激光。
但是,Nd:YV04和Nd:GdV04晶体的物化性能差,大尺寸晶体生长有一定的困难.美国曾尝试采用Nd:Sr5(V04)3F(SVAP)取代Nd:YV04.Nd:SVAP是在Nd:FAP晶体的基础上,经离子置换发展起来的一种新晶体,它保留了FAP的增益截面大、泵浦阈值低的优点,而机械性能有较大改进。
第37卷 第7期中 国 激 光V ol .37,N o .72010年7月CHINESE JO URNAL OF LASERSJuly ,2010 文章编号:0258-7025(2010)07-1669-04全固态腔内和频488nm 连续蓝光激光器王君光1 李永亮2 田迎华3 吕 望1 包 琳1 全 慧11长春理工大学理学院,吉林长春130022;2长春理工大学光电工程学院,吉林长春1300223长春理工大学计算机科学与技术学院,吉林长春130022摘要 报道了全固态连续波488nm 蓝光激光器,蓝激光分别由N d :Y LF 4(N d :YL F )和N d :YV O 4晶体的1047和914nm 谱线非线性和频产生,实验中采用复合腔结构,利用LiB 3O 5(LBO )晶体I 类临界相位进行腔内和频,当总注入抽运功率为32.2W (注入到N d :Y LF 晶体和N d :YV O 4晶体的抽运功率分别为13.4和18.8W )时,获得650mW 的T EM 00连续波488nm 蓝光激光输出。
30min 功率不稳定度优于±2.8%。
光束质量因子M 2=1.3。
关键词 激光器;全固态;复合腔;和频;蓝光激光器中图分类号 T N 248.1 文献标识码 A doi :10.3788/CJL 20103707.1669All -Solid -State Continuous -Wave All -Intracavity Sum -Fre quencyMixing Blue Laser at 488nmWang Junguang 1 Li Yongliang 2 Tian Yinghua 3 L ǜWang 1 Bao Lin 1 Quan Hui 11S chool of Science ,Changchun Universit y of Science and Technolog y ,Changchun ,Jilin 130022,China2School of Opto -Electronic Eng ineering ,Changchun University of Science and Technology ,Changchun ,Jilin 130022,China3School of Co m puter Science and Technology ,Chang chun Universit y of Science and Technology ,Changchun ,Jilin 130022,ChinaAb stract An all -solid -state c ohe rent ra dia tion at 488nm by intra cavity sum -fre quency generation of 914nm N d :YVO 4la ser a nd 1047nm Nd :YLF 4(N d :YLF )laser is reported .Blue laser is obtained by using a double cavity and type -I c ritic al phase m atc hing L iB 3O 5(LBO )c rystal sum -frequency m ixing .With total pum p power of 32.2W (13.4W pump power for Nd :YLF la ser and 18.8W pum p power for Nd :YVO 4la ser ),TEM 00m ode blue la ser at 488nm of 650mW is obtained at last .The power stab ility in 30minute s is better than ±2.8%.The M 2factor is 1.3.Key wo rds la sers ;all -solid -state ;double cavity ;sum frequency mixing ;blue la ser 收稿日期:2009-11-12;收到修改稿日期:2010-01-04基金项目:“十一五”预研支撑基金项目(62301110109)资助课题。
全固态266 nm紫外脉冲激光器研究张辰;高兰兰;邵志强【摘要】报道了利用激光二极管端面抽运Nd∶YAG晶体,通过Cr4+∶YAG晶体可饱和吸收被动调Q,KTP晶体腔内倍频及BBO晶体腔外四倍频,实现266 nm连续脉冲输出.通过优化激光器外谐振腔,提高腔外非线性变频转化效率.LD抽运功率为4.6W时,得到532 nm激光平均输出功率为154 mW,与腔外直接倍频相比,532 nm激光的平均功率提高了3倍,单脉冲能量和峰值功率提高了2倍,这有利于四倍频转化效率的提高.266 nm紫外激光平均输出功率为3 mW.【期刊名称】《激光与红外》【年(卷),期】2013(043)012【总页数】4页(P1355-1358)【关键词】全固态;266 nm;外谐振腔;倍频【作者】张辰;高兰兰;邵志强【作者单位】长春理工大学理学院,吉林长春130022;长春理工大学理学院,吉林长春130022;长春理工大学理学院,吉林长春130022【正文语种】中文【中图分类】TN2481 引言紫外波段激光器(UV),由于波长短,能量更集中,分辨率高,在很多领域得到广泛应用[1]。
如工业零部件加工、微电子学、光谱分析、光数据存储、光盘控制、大气探测、光化学、光生物学、空间光通信及医疗等领域有着广泛的应用前景[2]。
特别是在工业加工领域,由于UV激光的短波长和高光子能量特点,其聚焦光斑可以更小,同时高能量UV光子直接破坏材料的分子键,相对于红外激光的“热熔”过程,UV激光加工时是“冷蚀”效应。
这使得加工的尺寸可以更小,加工的精度得到提高[3]。
以355 nm和266 nm为代表的全固态UV激光在工业加工领域已经得到了广泛应用。
2003年,日本三菱公司和大阪大学合作,报道利用200W绿光作为基频光,采用15 mm长的Ⅰ类相位匹配CLBO作为FOHG晶体对绿光倍频,得到了40 W的266 nm UV激光输出。
2006年,中国科学院物理研究所报道了采用CLBO晶体对平均功率120 W绿光激光器进行倍频,得到28.4 W的266 nm UV激光[4]。
高效高峰值功率全固态355nm紫外激光器李玉文;李斌;王靖田;魏艳玲;曹思维【摘要】为了获得结构紧凑的瓦级实用化高峰值全固态355nm紫外激光器,采用简单紧凑的平平直腔结构,使用声光Q开关进行调制,通过LD端面抽运Nd∶ YAG 激光晶体,在重复频率1kHz~50kHz的情况下,产生平均功率1.03W~6.1W的1064nm红外光;采用LBO晶体进行2倍频和3倍频,在重复频率10kHz时得到紫外的最高输出功率1.08W,峰值12kW;在重复频率5kHz时得到紫外的最高峰值功率为17kW.结果表明,该方案满足了实际的应用需求.【期刊名称】《激光技术》【年(卷),期】2010(034)002【总页数】4页(P265-267,271)【关键词】激光技术;全固态;紫外激光器;高峰值功率【作者】李玉文;李斌;王靖田;魏艳玲;曹思维【作者单位】吉林工程技术师范学院,基础科学系,长春,130022;中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033;长春理工大学,理学院,长春,130022;吉林工程技术师范学院,基础科学系,长春,130022;长春理工大学,理学院,长春,130022【正文语种】中文【中图分类】TN248.1引言LD抽运全固态激光器从20世纪80年代以来获得长足的进步,紫外激光器因其在荧光检测、精细加工、光刻等方面的应用[1],一直以来就是人们研究的热点。
从微光刻到打标和打印,紫外激光器的应用是目前工业激光市场增长最快的部分,由于紫外较短的波长能够加工更小的部件。
光束的衍射现象是限制加工部件最小尺寸的主要因素,最小可达到的聚焦点的直径随着波长的增加而线性增加。
高能量的光子可以直接破坏材料的化学键。
紫外光加工材料的过程称为光蚀效应,高能量的光子直接破坏材料的化学键是“冷”处理过程,热影响区域微乎其微;相比之下,可见光和红外激光器利用聚焦到加工部位的热量来熔化材料,热量经过传导会影响到周围的材料,产生热影响区域。