一种可回收废气的空气静压轴承及设计方法

引出、回收 ，也可以分别通过排气孔和外部排气管独立将废气
引 出 、 回收 。 技 术 优 势
１ ．首次提 出在空气静 压轴承 内设置封 闭的零压槽 环路 ，
将不同的独立零压槽环路 通过排气管道或排气孔与外部排气管
连接 ，对废气进行有 目的的引导 ，使它与测量环境分离 ，不直
接排到测量环境中去 ，从而消除了因废气 的排放所产生的气体 扰动对测量环境 的影 响，显著提高了测量 系统的测量精度 。
一
种 可回收废气 的空气静压轴承及设计方法
作 面上还设有零压槽 ，它通过排气孔与外界直接相连，作为润 滑剂的气体就通过零压槽 内的排气孔直接排出轴承 ，也有－ｄ ＇ 部分通过主轴 与轴承套之间的间隙直接排到外界 。 在现有 的空气静压轴承的工作过程中 ，高压区通过零压槽 和排气孔 直接与轴承外部环境相连 ，所有高压气体作为润滑剂 工作 完毕后都 被直接排到腔体外 ，而废气 的不断产生 、流 动 ， 使 轴承周 围的环 境在轴 承工作过程 中一直处 于急剧变化 的状
２ ．优化 了空气静压轴承 的结构 ，省去 了大部分的排气孔 。 ３ ．由于轴 承套上没有直接与外界环境相连 的排气孔 ，有 效地防止 了灰尘从排气孔进入轴承 。固
地 址 ：（０ ０ １北京市海淀区中关村南大街 ５号 １０ ８ ）
联 系人 ：赵 维谦
６口 企业 技０发展 ２１． ００ ７ ０
可 以在轴承套 内设 置 ２个或多个封闭的零压槽环路和 １ 个或多
个高压区 ，每个 高压 区两侧都有零 压槽环路分布 ，多个零压槽
环路收集所有废气 ，轴承套两端的零压槽环路还将位于二者之
问的多个高压 区与外部环境隔离。零压槽环路之 间既可以通过 排气管道互相连接 ，通过与排气管道相连的外部排气管将废气
的间隙内形成高压区。高压气体在轴承套与主轴之间形成一层
针对废气干扰测量环境 的状况 ，本发 明提出一种可回收废
极薄的气体润滑膜 ，主轴可近乎无摩擦地在轴承套 内转 动或沿 轴向作直线运动。为了保持空气静压轴承 的稳定 ，在轴承套工
气 的空气静压轴承及设计方法 ，其 目的是彻底根除废气对测量
寿命的优点 ，广泛应用 于现代超精密加工机床和测量仪器 中 ， 实现高精度 回转 和直线运动。现有空气静压轴承一般 由轴承套
和主轴构成 。在轴承套工作面上加工有直径极小的供气孔 ，在
中，气流扰动将产生微振动和空气介质折射率的变化 ，严重影 响仪器装 备的测量精度 。
技 术概 况
轴 承套 的腔体内装入主轴 ，高压 空气通过供气孔喷 向主轴的工 作 面产生气 浮力使主轴与轴 承套分离 ，并 在轴承套与主轴之 间
环 境 的干 扰 。
该发明包括 以下特征 ：首先 ，在轴承套 内设置封闭零压槽 环路 收集 废气 ，将 高压 区设 置在轴 承套两端 的零 压槽环路之 间 ，并通过轴承套两端 的零压槽 环路 与外 部环境隔离 ；其次 ，
用外部排气管将轴承排气孔或排气管道连接起来 ，使从排气孔
或排气管道流出的所有废气都通过外部排气管引出 、回收 。还
态 ，形成很强 的气流扰动 。在精 密测量尤其是 光学精密测 量
技 术领 域
本发 明专利涉及一种空气静压轴承技术 ，可广泛用 于精密 加工及测量装备 中，属于精密加工及测量技术领域 。
技 术 背 景
随着超精密加工和检测技术 的发展 ，超高精度 的回转运动
和直线运动的实现越来越重要 。空气静压轴承 因其高精度、长