FSI清洗机培训教材
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专业资料
FSI 清洗机培训教材
目录
一、 FSI清洗机介绍：
二、 FSI组成及结构功能：
三、 软件操作介绍：
四、 程序以及输出功能：
五、 流量控制：
六、
七、 Chemical Auto fill 功能介绍： 常见故障以及维修法： FSI清洗机介绍
FSI用途:FSI用于圆片的表面清洗系统，可以去除颗粒、金属离 子 专业资料
以及剥离部分氧化膜；
FSI 设备全称： MERCUR Y MP Surface Co nditi on Divisio n System ，
FSI公司早期的 Spray System Product；
FSI工作原理：在密封的Chamber中,圆片对称放在Turntable上，在
Turntable的旋转的同时利用N2把Chemical形成高雾化或者低雾化 喷洒在圆片表面，有两个喷嘴： Spray post和Side-bowl spray post，
达到去除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜的目的，然后用 DI
Water冲洗圆片表面，最后通过 Turntable的高速旋转（500 rpm）
以及N2 Purge来使圆片的表面干燥。
FSI用到的原料：主要有 5 种 Chemical:H2SO4，HCL, HF，NH4OH，
H2O2 ;还有DI Water （去离子水）、 N2和CDA （压缩空气）。
FSI常用工艺菜单：B-CLEAN，S*P5/1，POLY-BCLN, BP-BCLN；
安全措施：设备的每个部分都安装有In terlock开关，禁止工艺时打 开门、盖子等组件，如果In terlock开关被打开，则会使设备停机， 工艺中断；警告：工艺时禁止对 FSI清洗机的任部分进行任操作。 设备学习参考资料： 《FSI清洗机操作规》；
《6” FSI清洗机PM操作规》；
二、FSI组成及结构功能
FSI由五部分组成，各单元相互独立：
Electronic Consol ；Process Consol；Canister Consol ；Booster Pump ；Hellos 专业资料
52 DI Water Heater 。（其中前两部分放在白区，后三部分放在灰区） 结构及其功能：
1. Electronic Consol ：监视和控制程序的运行， 是系统的核心部分， 部由 7 个抽屉构成，可以拉出来，便于查看，主要有： 286
的 单片机以及控制组件，Touch screen（触摸式显示屏），软盘驱动 器，流量控制组件以及 N2 管路的过滤器和压力调节阀；
2. Process Consol： 主要由 Cover、Process Chamber、Motor 、
Turntable 、下排管道、以及流量控制的 FOLW PICKUP 等，每
次作业可以清洗 6 批圆片，门盖安装了 Spray post, 在 chamber
壁上安装了 Side-bowl spray post ，这两个 Spray post 就是工艺
时的酸液喷嘴。
3. Canister Consol ：主要用于存放 5 种化学液，有两个存放柜， 每个柜中存放三个 Canister，每个Canister连接四个管道，依 次是：酸液输入管道、酸液输出管道、破裂阀连接管道、 N2 输 专业资料 Special Fun cti ons 3-Clear Alarms
入管道（通过22号阀实现加压及释放压力），动力课通过SDC 供液系统统一供应化学溶液，每次工艺结束，系统发个自动灌 酸指令“ 50”，酸液从动力管道灌到酸桶 Canister中，工艺时 再从酸桶中把酸液压到 Chamber中。
4. Booster Pump : DI Water增压系统，动力提供的 DI Water压 力不能满足FSI的需求，所以增加了增压泵，由两个增压泵和 两个过滤器构成，当系统压力达不到要求时，增压泵开始工作。
5. Hellos 52 DI Water Heater :用于 DI Water 的加热，由主机和
一个监视器构成，监视器放置在 Electronic Consol的顶部，目 的是为了 DI Water加热器的工作状态。
三、件操作介绍:
FSI的自动控制是通过286结构的单片机来控制的，由于没有硬盘及
ROM，只有NVM （非易失存储器），所以程序就保存在软盘上，通过 软盘驱动器来读取程序，而且启动时要插入启动软盘，启动结束后再插入 程序软盘。至于显示器用的是 Touch screen（触摸式显示屏），这种显示器 可以用手指直接点击，这样就不需要键盘了。
软件的结构介绍，主界面视图下图所示：
Name: vprocess n ame>
Time: XX: XX
Step: XX
Outputs XX, XX, XX
1- Select Process Temp: XXX
Speed: XXX rpm Sec: XXX
0-Other status 专业资料
0- other status:按“0”后可以进入另一界面，在工艺时可以浏览工 艺
菜单的每一步容；
1- Select Process按“ 1”后可以进入程序界面，用向键选取菜单，按
“ En ter ” 确认。
2- Special Functions：按“2”后可以进入特殊功能界面（为了安全起
见该功能设有密码），在这里面可以编辑所有的 Recipe,可以进入
维修模式，可以看到所有报警信息等功能。
3- Clear Alarms :按“ 3”后可以进入报警界面，输入密码按“ Enter”
确认后就可以消除报警了。
四、程序以及输出功能:
FSI在生产中常用到的就四个菜单： B-CLEAN, S*P 5/1, POLY-BCLN,
BP-BCLN;程序是由特定数字组成的程序代码，下面举例说明程序的结构：
Step Time Speed Output
6 20 500 21,22,43
7 90 60 22,31,43,44,45,220,250
程序就由上面一些特定的数字构成，其中:
Step-表示步骤; 专业资料
Time-表示当前步骤的工艺时间；
Speed -表示Turntable的转速，最高转速为 500转/分;
Output-输出功能指令，参考输出功能代码表（如下表示）；
OUTPUT FUNCTION
Output Description Incompatible Outputs
*** Chemical 21,26,37,38,46,47,48,50,91,96,97,98
9 Blanket Heater
10 Chemical Heater
11 Drain #1-N/O 12,13,14,85,86
12 Drain #2-N/C 11,13,14,85,86
13 Drain #3-N/C 11,12,14,85,86
14 Drain #4-N/C 11,12,13,85,86
19 (Reserved)
21 Solution Line Purge Chemicals,37,38,91,100
22 Canister Pressure 50
26 Manifold Bypass Chemicals,100
29 (Reserved)
31 Low Atomizer 32
32 High Atomizer 31
34 Cold Chamber Rinse 36
36 Chamber Dry 34,91
37 Cold Line Rinse Chemicals,21,91,100
38 Hot Line Rinse Chemicals,21,91,100
39 (Reserved)
41 Cold Di Mix
42 SB Rinse Atomizer
43 Bypass Shuttoff
44 Hot Di Bypass
45 Plenum Rinse
46 Wafer Dry Chemicals,47,48,91,100
47 Cold Wafer Rinse Chemicals,46,91,100
48 Hot Wafer Rinse Chemicals,46,91,100
49 (Reserved)
50 Programmed Autofill Chemicals,22,100
59 User-Defined
69 User-Defined
71 Fill Recirc 1 Tank
72 Fill Recirc 1 Tank
73 Unused
74 Recirc Manifold On/Off
75 Recirc 1 Pump On
76 Recirc 1 Loop
77 Recirc 1 Drain Open
78 Recirc 1 Drain Closed
专业资料
79 User-Defined
81 Recirc 2 Pump On
82 Recirc 2 Loop
83 Recirc 2 Drain Open
84 Recirc 2 Drain Closed
85 Drain #5-N/C 11,12,13,14,86
86 Drain #6-N/C 11,12,13,14,85
89 User-Defined
91 Low Pressure Purge Chemicals, 21,36,37,38,46,47,48,50
92 Low Flow Rinse
93 Divert to Plenum
94 User-Defined
95 User-Defined
96 SB Purge Chemicals, 97,98
97 SB Cold Wafer Rinse 96
98 SB Hot Wafer Rinse 96
100 Hot DI Mix 21,26,37,38,46,47,48,50
100X HELIOS 52 Outputs
102X IR Chemical Heater Outputs
11XX Output Functions for Generalized Analog Inputs
12XX Output Functions for Generalized Discrete Inputs
200X Output Functions for Variable 0-10 Vdc Outputs
备注:
五、流量控制
系统对流量控制主要通过以下几部分来实现： Flow pickup、DAC、
ADC、E/P、Manifold Valve等；流量控制的原理图如下图示： 100-DI WATER
230- HCL
400- HF 220- H2SO4
250- H2O2
760- NH4OH
