激光光斑大小对判定光斑存在的误差
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3d激光的光斑直径激光是一种具有高度相干性和高度定向性的光,具有很小的发散角度。
当激光照射到物体上时,会在物体表面产生一个照射点,即激光光斑。
光斑的直径是描述激光光斑大小的一个重要参数。
光斑直径越小,代表光束越集中,光斑直径越大,代表光束越发散。
3D激光的光斑直径是指激光在三维空间中的光斑直径。
在实际应用中,人们通常使用二维的激光光斑直径来描述,即横向和纵向的光斑直径。
而通过适当的方法,可以将二维的光斑直径转换成三维的光斑直径。
光斑直径的大小会受到一系列因素的影响,包括激光器的参数、光学元件的参数以及环境因素等。
首先,激光器的参数,包括激光器的输出功率、激光器的波长等,会对光斑直径产生影响。
一般来说,激光器的输出功率越大,光斑直径越小;激光器的波长越短,光斑直径越小。
其次,光学元件的参数,包括透镜的焦距、光束质量因子等,也会对光斑直径产生影响。
焦距较短的透镜会使光斑直径变小,质量因子较高的光束也会使光斑直径变小。
最后,环境因素,如大气湍流、大气折射等,也会对光斑直径产生影响。
这些因素的综合作用决定了3D激光的光斑直径的大小。
在实际应用中,人们需要精确地控制激光的光斑直径。
例如,在激光加工领域,如果光斑直径过大,会导致加工精度不高;如果光斑直径过小,会导致加工时间过长。
因此,需要通过改变激光器的参数、光学元件的参数或采取其他措施来控制激光的光斑直径。
目前,有许多测量方法可以用来测量激光的光斑直径。
常用的方法包括剖面法、光强法和干涉法等。
剖面法是通过测量激光在横向和纵向的光强分布来计算光斑直径。
光强法是通过测量光斑边缘的光强来计算光斑直径。
干涉法是通过将激光与参考光束进行干涉来测量光斑的相位差,从而计算光斑直径。
总之,3D激光的光斑直径是指激光在三维空间中的光斑直径。
光斑直径的大小受到激光器的参数、光学元件的参数和环境因素的影响。
在实际应用中,人们需要精确地控制激光的光斑直径,以满足不同的需求。
测量方法可以用来测量激光的光斑直径,常用的方法包括剖面法、光强法和干涉法等。
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光刻机对曝光光源光斑形状的要求与控制1500字文章:光刻机对曝光光源光斑形状的要求与控制光刻技术是现代微电子制造中不可缺少的一项核心技术。
在光刻过程中,曝光光源的光斑形状对于芯片的制造过程和性能有着至关重要的影响。
本文将介绍光刻机对曝光光源光斑形状的要求以及相应的控制方法。
一、光刻机曝光光源光斑形状的要求光刻机所使用的光源主要有激光光源和光波辐射光源两种。
不同的光源对曝光光斑形状的要求有所不同,但总体来说,曝光光源光斑形状必须满足以下要求:1. 均匀性要求:光斑应具有均匀的能量分布,避免出现中心亮度过高或过低的情况。
不均匀的光斑将导致芯片制造过程中曝光不均匀,影响芯片的性能和稳定性。
2. 尺寸要求:光斑的尺寸需与芯片制造的工艺要求相匹配。
过大的光斑会导致曝光过量,过小的光斑则会导致曝光不足,影响芯片的图形精度和细节。
3. 准直性要求:光斑的准直性决定了曝光能否精确地对准芯片上的目标区域。
准直性好的光斑能够提高芯片的制造精度和一致性。
二、光刻机对曝光光源光斑形状的控制为了满足光刻机对曝光光源光斑形状的要求,需要进行相应的控制。
以下是常见的控制方法:1. 光学系统的优化:通过对光学系统中镜面的选择和调整,可以优化曝光光斑的形状和能量分布。
例如,可以使用聚焦透镜来控制光斑的尺寸和准直性。
2. 激光功率的调节:对于激光光源,通过调节激光器的功率可以控制光斑的能量分布和均匀性。
一般来说,激光功率越稳定,光斑形状的控制效果越好。
3. 光刻机对光斑的监测与反馈:光刻机通常配备了光斑监测系统,通过监测光斑形状和能量分布的变化,及时反馈给光源系统进行调整,保持光斑的稳定性。
4. 光刻工艺参数的优化:除了光源本身的控制外,光刻工艺的其他参数也会影响光斑形状的控制效果。
例如,曝光光源到光刻胶之间的曝光距离、胶膜的厚度等都需要进行合理的优化。
三、光刻机对曝光光源光斑形状的重要性光刻技术在芯片制造过程中起到了至关重要的作用。
聚焦光斑大小的影响因素在进行激光切割时,需要将一束激光聚焦在一块尽可能小的光斑上。
如果需使功率密度最大以进行精密切割,这是完全必需的。
光斑大小受多种因素的影响。
其中最重要的因素有:激光模式(M2)、衍射、球差。
其中透镜的形状和焦距可以影响球差和衍射的大小。
当然,激光模式是由激光器和光束传输系统决定的。
1、衍射光具有波的性质,因此不可避免地会出现衍射现象,该现象存在于所有的光学系统中, 能够决定这些系统在性能方面的理论限值。
衍射会使光束在传播过程中发生横向扩展。
如果在对某个准直激光光束进行聚焦时使用的是一个“理想”透镜,那么光斑的大小将只受衍射作用的影响。
计算光斑大小的公式如下:由衍射造成的光斑大小r:r=4M2λf πD其中:λ为波长,f为透镜的焦距,D为在镜头处输入光束直径,M2为激光模式参数。
这一等式可以用来计算由非球面透镜产生的光斑大小。
衍射产生的最重要的影响是, 它使光斑大小随焦距线性増加,但与光束的直径成反比。
因此,如果某个特定透镜的输入激光光束直径増加,由于衍射变弱,光斑会变小。
而且,如果对于某个特定激光光束,当焦距減小时,光斑也会变小。
1.M2激光模式参数:正如上公式中那样, 焦点的大小与激光模式参数, 即M2成正比。
M2表示某条特定光束在传播过程中的发散速度;对于一条理想的TEM00、激光光束而言, M2= 1。
这个參数是用高级仪表测出的, 激光器制造商的规格中也会提供这一参数。
2.球差使用一个理想透镜, 对经过准直处理的同抽光线进行聚焦。
所有通过光学元件轴心的光线将形成一个光斑, 光斑的尺寸是由衍射中的衍射公式决定的。
不过,许多透镜都会受到球差的影响。
球差带来的后果是,与那些穿过透镜中央的光线相比,那些穿过透镜边缘的光线与光抽的交点高透镜更近,如图1所示。
球差会使光斑的尺寸增大,并且最佳聚焦点移到与计算的有效焦距不同的位置上。
球差是一个与多种因素有天的函数,这些因素包括透镜形状、朝向和折射率。
刀口法测高斯光束光斑大小实验报告
高斯光束光斑大小实验报告本实验主要是利用“刀口法”
测量高斯光束光斑大小,以期了解其大小。
1、光源:采用球面镜对激光束进行反射,获得高斯光束;
2、分光板:用于将光束分为两束,并将其照射到屏幕上;
3、刀口:一种特殊的分束器,可以将光束分为多束,以
便测量光斑的大小;
4、屏幕:用来显示光束的位置和大小;
5、计量仪器:用于测量光斑的大小;实验过程:
1、将球面镜放置在光源上,使光束在球面镜上反射,从
而形成高斯光束;
2、将分光板放在高斯光束上,将光束分为两束,分别照
射到屏幕上;
3、将刀口放在屏幕上,利用刀口分束器将光斑分割成多束;
4、使用计量仪器测量每束光斑的大小,并记录数据;实验结果:在实验中,我们使用刀口法测量了高斯光束的光斑大小,结果表明,光斑半径在50mm左右,相对误差在±
0.2mm以内,从而证明了实验结果的准确性。
结论:通过本实验,我们得出结论:利用“刀口法”测量高斯光束的光斑大小是可行的,实验结果准确可靠。
激光聚焦光斑和焦深是激光应用中两个重要的光学特性。
聚焦光斑决定了激光的功率密度和作用范围,而焦深则决定了激光在聚焦点外的清晰成像范围。
关于激光聚焦光斑的计算,通常涉及激光束的发散角、光学系统的焦距和物距等因素。
以平行激光束经过理想光学系统后形成的光斑为例,其大小可以通过光线传播的几何关系来计算。
具体来说,激光束的发散角(即光斑半径随距离变化的斜率)需要已知,而光学系统的焦距(即光线从物体到焦点的距离)和物距(即激光源到光学系统的距离)也需要确定。
通过适当的数学运算,可以得出聚焦后光斑的直径。
焦深则是激光聚焦性能的另一个关键指标。
焦深定义为在一定的聚焦光束状态下,焦点前后能保持一定清晰成像范围的深度。
这个深度取决于激光功率、焦距、物距以及光学系统的其他特性。
焦深越大,意味着激光在聚焦点外的清晰成像范围就越广,这对于很多激光应用来说是非常重要的,比如在微加工、焊接、医疗等领域。
在实践中,可以通过调整激光功率、光束质量(如发散角)、光学系统的设计等因素来优化激光的聚焦光斑和焦深。
这些因素之间存在复杂的相互作用,需要光学、物理、材料等方面的专业知识来进行深入研究和精确计算。
总的来说,激光聚焦光斑和焦深是激光应用中非常重要的两个参数,它们直接影响到激光的作用效果和应用范围。
通过精确的计算和优化,我们可以更好地利用激光的能量,提高其应用效果和效率。
3d激光的光斑直径摘要:1.引言2.3D激光技术简介3.光斑直径对3D激光打印的影响4.不同应用场景下对光斑直径的要求5.如何选择合适的3D激光光斑直径6.总结正文:3D激光技术在近年来得到了广泛的关注和应用,其精确、高效的特性使得它在众多领域中都发挥着重要的作用。
然而,你是否知道3D激光的光斑直径对于其打印效果有着重要的影响呢?本文将为你详细解析。
首先,我们需要了解一下3D激光技术的基本原理。
3D激光打印是一种将激光束按照预定的轨迹扫描,从而在材料表面形成三维立体图形的工艺。
在这个过程中,激光光斑的直径直接影响着打印的精度和效果。
光斑直径对3D激光打印的影响主要体现在以下几个方面:1.精度:光斑直径越小,打印的精度就越高。
因为小直径的光斑可以打印出更细致的图案,这对于需要高精度打印的工件来说尤为重要。
2.效率:光斑直径越大,打印的效率就越高。
因为大直径的光斑可以在同样的时间内打印出更大的面积,这对于追求效率的生产场景来说是非常有利的。
3.质量:光斑直径的大小还会影响到打印的质量和稳定性。
过小的光斑可能会导致能量过于集中,造成材料烧蚀或者变形;过大的光斑则可能会影响打印的精度,导致打印出的图案模糊不清。
在实际应用中,不同场景对光斑直径的需求也是不同的。
例如,在工业生产中,往往需要追求高效率,因此会选择大直径的光斑;而在精密仪器制造中,则会选择小直径的光斑,以保证打印的精度。
那么,我们应该如何选择合适的3D激光光斑直径呢?这需要根据具体的应用场景和需求来进行选择。
如果需要高精度的打印,那么可以选择小直径的光斑;如果需要高效率的打印,那么可以选择大直径的光斑。
总的来说,3D激光的光斑直径是一个非常重要的参数,它直接影响着打印的效果和效率。
光斑大小测试方案
光斑大小测试可以使用如下方案:
1. 实验器材:一台光源,如激光器或LED灯;一个凸透镜或
聚焦透镜;一个光屏幕或白纸;一个尺子或显微镜;一个测量设备,如光强度计或光斑测量仪。
2. 实验步骤:
a. 将光源放置在固定位置上,确保光能够直接传播到凸透镜
或聚焦透镜上。
b. 调整透镜位置,在适当距离上产生一个聚焦光斑。
c. 将光屏幕或白纸放置在聚焦光斑的预计位置上。
d. 使用尺子或显微镜测量光斑在屏幕或纸上的直径。
e. 重复上述步骤,分别调整透镜位置以产生不同大小的光斑,并测量它们的直径。
f. 使用测量设备,如光强度计或光斑测量仪,可以进一步精
确测量光斑的大小。
3. 实验记录与分析:
a. 将测得的光斑直径记录下来,并根据光源和透镜的位置关系,计算得到光斑大小。
b. 分析不同光源、透镜参数对光斑大小的影响。
c. 可以根据实验结果进行统计和比较,以确定透镜参数和光
源选择对光斑大小控制的效果。
注意事项:
a. 在实验过程中,要注意安全,避免视觉损伤。
b. 确保实验环境光线暗度适当,以便更准确地观察和测量光斑。
c. 在实验中,可以根据需要采用不同的光源和透镜,探究它们对光斑大小的影响。
激光补光的光斑效应
激光补光的光斑效应是指在激光照射过程中,激光光束在照射物体表面时形成的亮斑。
这个亮斑的大小、形状和亮度分布会受到多种因素的影响,包括激光的波长、光束的发散角、照射物体的表面粗糙度、材料反射率等。
光斑效应在激光加工、激光医疗、激光显示等领域都有广泛的应用。
例如,在激光加工中,激光光束通过聚焦透镜聚焦到工件表面,形成一个非常小的光斑,从而实现高精度的加工。
在激光医疗中,激光光束被用来照射病变组织,光斑的大小和形状可以精确控制,以达到治疗效果。
光斑效应还涉及到一些物理现象,如光的衍射、干涉和散射等。
当激光光束照射到物体表面时,会发生反射、折射和散射等光学过程,这些过程会影响光斑的形状和亮度分布。
同时,激光光束的发散角也会影响光斑的大小和形状。
总之,激光补光的光斑效应是激光应用中一个重要的物理现象,对于激光加工、激光医疗、激光显示等领域都有重要的应用价值。
在实际应用中,需要根据具体的应用场景和需求,合理控制激光光束的参数和照射条件,以实现最佳的光斑效果。
10微米光斑与20光斑
摘要:
1.10 微米光斑与20 光斑的定义和区别
2.10 微米光斑与20 光斑的应用领域
3.10 微米光斑与20 光斑的优缺点比较
4.我国在10 微米光斑与20 光斑领域的发展现状和展望
正文:
10 微米光斑与20 光斑是两种不同尺寸的光斑,它们在定义、应用领域、优缺点等方面存在一定的区别。
首先,10 微米光斑和20 光斑的定义是指光斑的直径大小。
10 微米光斑的直径为10 微米,而20 光斑的直径为20 微米。
由于它们的直径不同,因此它们在应用领域也存在一定的区别。
10 微米光斑通常应用于高精度的激光加工、激光打标、激光切割等领域,因为这些领域需要光斑具有较高的精度和能量密度。
而20 光斑则通常应用于一般的激光加工、激光打标、激光切割等领域,因为这些领域对光斑的精度和能量密度要求相对较低。
其次,10 微米光斑和20 光斑在优缺点方面也存在一定的区别。
10 微米光斑的优点是精度高、能量密度大,可以满足高精度的激光加工需求。
而缺点是生产成本高、技术难度大,不易于推广和普及。
20 光斑的优点是生产成本低、技术难度小,易于推广和普及。
而缺点是精度低、能量密度小,不能满足高精度的激光加工需求。
最后,我国在10 微米光斑与20 光斑领域取得了一定的发展。
在10 微米光斑领域,我国已经掌握了相关技术,并且成功应用于一些高精度的激光加
工领域。
在20 光斑领域,我国已经实现了大规模的生产和应用,为激光加工行业提供了有力的支持。
收稿日期:2012-07-16基金项目:吉林省科技支撑项目(20080537)作者简介:熊家新(1973-),男,硕士,副教授,主要从事光电仪器仪表研究,E-mail:xjx@cust.edu.cn。
长春理工大学学报(自然科学版)JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology(NaturalScienceEdition)第35卷第4期
2012年12月
Vol.35No.4
Dec.2012
激光光斑大小对判定光斑存在的误差研究熊家新1,张心明1,鞠英红2(1.长春理工大学机电工程学院,长春130022;2.一汽轿车股份有限公司质保部,长春130000)
摘要:在利用激光测速原理研制的车门闭合力测试仪中,通过对激光光斑在光电传感器成像的能量大小所引入的光斑有无判定时间误差研究,提出一种基于能量与时刻转换的光斑判定方法,在一定范围内做到光斑大小对判定的无关性。实践证明该方法对提高仪器测量精度有相当的作用。关键词:激光测速;激光光斑;测量方法中图分类号:TH824文献标识码:A文章编号:1672-9870(2012)04-0081-03
TheErrorResearchoftheSizeofLaserFlaretoDeterminetheExistenceofTheFlare
XIONGJiaxin1,ZHANGXinmin1,JUYinghong2
(1.CollegeofMechanicalandElectricalEngineering,ChangchunUniversityofScienceandTechnology,Changchun130022;2.FAWCarCo.,Ltd,Changchun130000)
Abstract:Intheuseoflaserspeedprincipledevelopeddoorclosingforcetester,throughthephotoelectricsensorimag-ingenergyintroducedbythesizeofthespotordecisiontimeerrorresearch,thedeterminationmethodisproposedbasedontheenergyandtimeconversionspot.Practicehasprovedaconsiderableroleinthemethodtoimprovemeasurementprecision.Keywords:laserspeed;Laserflare;measurementmethod
入射光投射在光电传感器光敏面的能量大小是光电传感器能否感知入射光存在与否以及线性度、信噪比等参数的关键,在入射光不可控时,其入射光能量大小和不均匀都会导致光电传感器及后续电路难以处理使结果产生误差。1仪器误差引入
1.1激光测速仪工作原理激光照射在一定粗糙度的表面形成的反射光斑是朗伯辐射体[1],在研制车门闭合力测试仪中[2],我们采用激光在参照物上的反光点作为信标。仪器需要检测被反射的激光点有或无之间的时间间隔来确定被测物通过激光束的时间[3],其原理图如图1所示。
图1激光测速工作原理Fig.1Workingprincipleoflasermeasurespeed当被测物以某一速度v依次通过激光光束1和2时,反射点1和2依次从参照物转移到被测物上,光接收器依次接收到由激光反射点1和2反射的因被测物和参照物光反射性能不同而带来反射光的幅值变化,并以此完成对被测物上光斑有无的判别[4,5]。1.2系统误差
在后续电路中,我们通常需要判定如图2所示,因为参照物反射点的微观结构以及被测物反射点的微观结构的不一致,两个激光反射点在接收器上成像的能量有很大可能是不一致的。而电路中,为了判定两光斑的幅值改变情况,可以采用参考电平比较来确定发生时刻如图2所示。图2参考电平的比较Fig.2Thecomparisonofreferenceelectricallevel在图2所示中,我们用S1和S3之间的距离来表示光斑间的距离。以S1作为光斑1有无的标志,以S3作为光斑2有无的标志。从图2中可以看出,实际真正的光斑间距或光斑有无应该是以S5到S6来确定,显然用S1到S3来代替S5到S6引入了误差。在仪器中,两束激光光束之间的距离为20mm,激光反射光斑最大直径小于3mm,最小直径大于0.5mm;那么如图2所示,反射激光光斑大小所引入的判读距离最大是S1到S4;最小是S2到S3,当反射光斑变化时,仪器的判读距离将在19.5mm到23mm之间变化。由此带来的误差将在2.5%到15%,而仪器要求是1%的精度显然不可能达到。我们可以采用极点法来获取S5和S6,这在静止态是完全可行的,但是在上述测速仪中,我们需要测量的是光斑1和2被挡光的时刻,因此,在测量中到S5时也不能知道该时刻就是所要的时刻而不能测试。最大值的检测可以知道其数值,但很难知道发生的时刻。2加权平均算法在电路中选择同一个恰当的参考比较电平是较为容易的,即电路比较翻转中四个值即S1、S2、S3、S4是可知的。在本仪器中,当被测目标以最大速度10m/s通过激光光斑时,通过最大3mm直径光斑所用的时间是300μs,通过最小0.5mm直径光斑时间是50μs,由此对四个值的时刻测量是可行的。如图2所示,对应参考电平翻转的时刻为t1到t4,真实需要的时刻为t5到t6,所以,选用两个计时器,对四个时刻计量。计时器1从t1开始计量到t4停止,获得t1到t4之间的时间,在这段时间中包括被测物通过引起的变化时间和反射光斑幅度大小引起参考比较线的时间如S1到S2与S3到S4的变化时间;而这个距离用S1到S4代替S5到S6引入的误差是光斑大小带来的。而计数器2从t2开始计量到t3停止,获得了通过光斑大小不同时引入的时间误差;因此总的无误差时刻点S5到S6的时间就可以表示为:
t6-t5
=
(t4-t1)+(t3-t2)
2(1)
t5时刻到t6时刻的时间是需要的被测量,第一项
t1时刻到t4时刻的时间为第一个计时器的值,第二项
是t2时刻到t2时刻的时间即第2个计时器数值。3实验数据对比
为了对比,选用伺服直线电机为速度源,日本产速度计和美国光学速度计(关门速度仪)Model1052OpticalVelocityMeter00-00001-08(美产
速度计:采用12mm,直径3mm金属棒,与被测物表面质量无关)作为比较对象,对研制的车门闭合力测试仪(本速度计)进行测试。表1被测物为正方体表面为普通打印白纸平面的比对数据单位:m/sTab.1Comparativedataofwhenthemeasuredisthecubeandandthecommonprintwhitepa-perplane,units:m/s
电机设定速度日产速度计美产速度计本速度计
0.40.400.400.400.80.800.800.801.01.011.011.011.21.211.211.201.61.611.611.612.02.022.012.012.52.512.502.493.02.972.982.99
表2被测物为直径10mm轴承钢球表面是镜面球面的比对数据单位:m/sTab.2Comparativedataofwhenthediameterofthemeasuredis10mmandthesurfaceofbe-aringsteelballissphericalsurfacelens,units:m/s
电机设定速度日产速度计美产速度计本速度计
0.40.40.40.40.80.80.80.81.01.000.991.011.21.191.211.201.61.611.601.602.02.011.982.002.52.522.482.503.03.012.972.99
在改进前,也就是使用图2中的t1时刻到t3时刻的时间作为被测物经过两束激光时所产生的两个检测光斑的计量时间。实验在不同被测物表面通过时获得数据:从表1到表4的数据可以看出:表1和表2数据说明在被测物表面反射光斑良好时,所有仪器表现良好最大绝对误差小于0.02m/s,相对误差均小于等于1%。用表2的数据绘出仪器的相对误差
长春理工大学学报(自然科学版)2012年82第四期熊家新,等:激光光斑大小对判定光斑存在的误差研究如图3所示:图3表2数据的相对误差Fig.3Therelativeerrorofthedataoftab.2表3中数据可以看出,当被测物反射光斑质量较差时,除了美产速度计的测量与被测物表面无关使数据还是基本保持原样外,日产速度计和用改进前程序的本速度计均有较大的误差。其中日产速度计的最大绝对误差为0.06m/s,最大相对误差为3%;本速度计的最大绝对误差为0.14m/s,最大相对误差为6.5%表3数据的相对误差如图4所示。为此日产速度计的说明书中对反射面有严格的规定,而本仪器也要求使用方对被测物表面粘贴白色反射物来避免该问题,这样对用户使用造成不便。表3被测物为灰黑色工程塑料表面粗糙度4的比对数据单位:m/sTab.3Comparativedataofwhenthecolorofthemeasuredisblack,engineeringplastic,thesu-rfaceroughnessis4,units:m/s电机设定速度日产速度计美产速度计本速度计0.40.410.400.380.80.820.800.781.01.031.001.001.21.221.201.251.61.631.601.702.02.052.002.132.52.552.512.583.03.063.003.14图4表3数据的相对误差Fig.4Therelativeerrorofthedataoftab.3表4中数据可以看出,经过改进算法,对同样工程塑料的检测,本速度计精度已经恢复为正常状态。本速度计最大绝对误差为0.02m/s,最大相对误差小于1%。表4数据的相对误差如图所示:表4被测物为灰黑色工程塑料表面粗糙度4的比对数据单位:m/sTab.4Comparativedataofwhenthecolorofthemeasuredisblack,engineeringplastic,thesu-rfaceroughnessis4,units:m/s
电机设定速度日产速度计美产速度计本速度计
0.40.410.400.400.80.810.800.801.01.031.001.001.21.221.201.211.61.631.601.612.02.062.002.012.52.542.512.513.03.063.003.02