真空退火炉真空检测技术研究
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工业技术 2015年第9期l科技创新与应用
真空退火炉真空检测技术研究
李文涛 赵奇 吴公平
(宝鸡宝钛集团有限公司板带厂,陕西宝鸡721014)
摘要:文章详细地介绍了工业真空退火炉的真空测量方法及真空测量真空计的应用;还介绍了真空系统检漏方法。
关键词:真空测量;真空计;真空检漏
1概述 真空退火炉自二十世纪五十年代被广泛地应用,真空退火是其
中间和成品生产的重要工艺过程。真空退火具有防止氧化、真空脱 气、处理工件无氢脆危险,防止钛和难熔金属表面脆化、真空加热受
热均匀,内外温差小,热应力小等作用;真空退火技术是材料改性方
面高精度、优质、节能和清洁无污染加工制造技术,广泛应用于各种 金属材料、合金材料,晶体材料等去应力处理,光亮退火,真空除气 等。而如何测量真空度和检测真空系统泄漏是真空退火炉使用维护
的重要问题,文章介绍了真空退火炉设备管理使用维护中常用的真 空测量方法和真空系统捡漏方法,这些方法和经验可为以后真空退
火炉使用维护、检测和研究方面,提供了一定的实际操作经验和理
论支持。
2真空测量 2.I真空测量的定义 真空测量就是测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度(即真
空度)的技术。真空度常用容器中气体的总压强P来表示。压强高意
味着真空度低;反之,压力低即真空度高。因此,在近代真空测量技 术中,通常应用真空计来直接或间接测量出压强,从而反映出真空
度。气体压强的测量单位是牛顿/米。,简称 ̄t(Pa),传统上气体压强 单位采用毫米汞柱,各种压强单位的换算:1标准大气压,=101325.0
Pa=14.7Psi=760mmHg=29.92inHg=760Torr=-760000micron=1Bar 2.2真空计的分类
用以测量容器中气体压强即真空度的装置称为真空计。按真空 计测量原理分类:直接测量真空计和间接测量真空计。
2.2.1直接测量真空计 直接测量真空计利用液柱差、机械变形等原理直接测量压强,
所测量的压强为真实的压强值与气体种类无关;常用直接真空计有
静态液位真空计、弹性元件真空计等。 水银u型压力计构造简单,无需校准,可以在压力不太低时使 用。一般压力计一端封闭,另一端接人真空系统,封闭端为真空,这
样压力计可直接指示总压力,两边水银柱的高度差即为总压力。对 于精密工作则需进行温度修正。对于压力较低(低于10’Pa)的测量,
油压力计比水银压力计更精确,因为油的密度低得多。 弹性元件真空计通过测量弹性元件位移(直接法)或保持它原 来位置需要的力(回零法)来测定真空度的一种真空计。在结构和外
形上与工业用压力表类似,一般用于粗真空(102—10SPa)的测量。根
据变形弹性元件分类,这类真空计通常有弹簧管式真空计,电容、电 阻薄膜式真空计,布尔登(Bourdon)真空计等。
2.2.2间接测量真空计 间接测量真空计测量气体物理性质,再换算成压力值。常用间
接真空计有压缩式真空计、热传导真空计、离子真空计、热辐射真空 计等。 热传导真空计是利用气体在不同压强下热传导能力随之变化
的原理测量气体压强。它是在一玻璃管壳中由边杆支撑一根热偶
丝,热丝通以电流加热,气体分子的密度越高,从加热元件带走的热 量越多,当气体密度减小,少量热量被带走,加热元件的温度升高。 由热偶温度变化产生的毫伏是由电子真空计显示的压力数值读出。
离子真空计由具有高能量的电子游离在周围附近的气体分子, 而被游离的分子最后被另一极接收,然后被转换成电流。离子数的
多少代表气体分子的多少,间接的表示气体的压力。离子真空计分 为热离子真空计和冷离子真空计。
冷阴极真空计是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有
关的特性,永磁铁产生磁力线,磁力线有助于离子集中,在阳极和阴 极之间运动。发火针和阳极电离被吸引到阴极的气体分子。气体分
子的多少,间接表示气体的压力。
3真空检漏 3.1概述 真空检漏就是解决真空系统或容器内漏孔或缝隙的存在,确定 漏气率,以便修补。真空技术中所指的漏孔是非常微小的,其截面形 状各不相同,无法用具体尺寸表示其大小,加之漏气路径各式各样。
所以一般用漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小,即气体通过漏
孔进入真空系统或容器内的气体量,其物理意义为压强×体积,时 间,漏率的单位是帕斯卡×立方米/秒,记为Pam3/s。 3.2泄漏检测方法 真空系统或容器无法做到完全不泄露,因此要根据真空系统的
实际工作要求,制定合理的泄露率数值,只要漏孔的漏率低于规定
数值,这些漏孑L就是允许的。如果发现泄漏率超过规定数值,说明真 空系统或容器存在漏孑L,这时就需要我们进行真空泄漏检查。真空
检漏方法很多,根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检
漏法及其它检漏法。 3.2.1充压检漏法。压力检漏法是将被检系统或容器抽至真空, 然后充入具有一定压力的示漏物质,如果被检漏容器上有漏孔存
在,示漏物质就会从漏孑L中逸出,从而可以通过一定的方法或检漏 仪器在被检容器外检测出从漏孑L中漏出的示漏物质,判断出漏孔位
置,并估计漏孔漏率的大小。 常用充压检漏有水压法、气压法、超声法、氦质谱检漏仪吸嘴 法、氮气检漏法等。氨气检漏法的原理是把真空系统或容器抽成真
空,在器壁外面可疑有漏孔处贴上具有对氨敏感的指示剂的显影
带,然后在容器内部充人高于一个大气压的氨气,当有漏孔时,氨气 通过漏孔逸出,使显影带改变颜色,据此可找出漏孔的位置,由显影 时间、变色区域大小可大致估计出漏孔大小。
3.2.2真空检漏法。真空检漏法是将被检的真空容器或真空系
统与检漏仪器的检测元件抽成真空状态,将示漏物质依次施加在被 检容器或系统外面的可疑部位。如果被检容器或系统存在漏孑L,示 漏物质不但会通过漏孔进入到容器或系统中去,同时也会进入到检
漏仪器的检测元件所在的空间中去,从而通过敏感元件检测出示漏 物质,以出漏孔的位置和大小。
常用真空检漏法有高频火花检漏器法、真空计法、质谱计法、离 子泵检漏法等。离子泵检漏器的原理是将真空系统或容器和离子泵
抽至真空,然后在被检容器外施加示漏气体,当示漏气体通过漏孑L 进入离子泵时,泵电流将发生变化,根据这种变化可检示真空系统
的漏孑L,并可估算漏孔之大小。 3.2.3其他检漏法。除了充压检漏和真空检漏的其他真空检漏
方法。常用方法有荧光法、背压法、放射性同位素检漏法等。 背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法,多用于
密封件的无损检漏技术中。是利用背压室先将检漏气体由漏孔充入
被检件,然后在真空状态下使检漏气体再从被检件中漏出.以检漏 仪检测漏出的示漏气体,判定被检件的总漏率的方法。过程可分为 充压、净化和检漏三个步骤。
荧光检漏法是把荧光物质溶于有机溶剂中,将此溶液灌注于被 检的容器中,或者使被检部位与溶液接触,如果有漏孔存在,溶液因
毛细作用可渗到漏孑L的另一侧,待溶剂蒸发后,漏子L的另一侧便沉 积了干燥的荧光物质,此时如用紫外线灯照射就可发出荧光,即说
明该处有漏孔。 4结束语
通过文章对真空退火炉使用维护中常用的真空测量方法和真 空捡漏方法的介绍,为以后真空退火炉使用维护、检测和研究方面,
提供了有力的经验理论支持。而随着真空科学技术越来越高,真空 测量计和真空检漏仪器也要进一步的向多元化、自动化及体积小、
外形美等方面发展,追赶当前国际上在极高真空测量和特殊条件下
的真空测量领域中的先进水平。
参考文献 [1]关奎之.真空技术及应用[JJ.真空,1997(5):42---45.
【2】李云奇.真空科学的发展及应用[J】.2003,8(15):5—8
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