第六章半导体材料
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第一章 固体晶体结构
小结
1. 硅是最普遍的半导体材料
2. 半导体和其他材料的属性很大程度上由其单晶的晶格结构决定。晶胞是晶体中的一小块体积,用它可以重构出整个晶体。三种基本的晶胞是简立方、体心立方和面心立方。
3. 硅具有金刚石晶体结构。原子都被由4个紧邻原子构成的四面体包在中间。二元半导体具有闪锌矿结构,它与金刚石晶格基本相同。
4. 引用米勒系数来描述晶面。这些晶面可以用于描述半导体材料的表面。密勒系数也可以用来描述晶向。
5. 半导体材料中存在缺陷,如空位、替位杂质和填隙杂质。少量可控的替位杂质有益于改变半导体的特性。
6. 给出了一些半导体生长技术的简单描述。体生长生成了基础半导体材料,即衬底。外延生长可以用来控制半导体的表面特性。大多数半导体器件是在外延层上制作的。
重要术语解释
1. 二元半导体:两元素化合物半导体,如GaAs。
2. 共价键:共享价电子的原子间键合。
3. 金刚石晶格:硅的院子晶体结构,亦即每个原子有四个紧邻原子,形成一个四面体组态。
4. 掺杂:为了有效地改变电学特性,往半导体中加入特定类型的原子的工艺。
5. 元素半导体:单一元素构成的半导体,比如硅、锗。
6. 外延层:在衬底表面形成的一薄层单晶材料。
7. 离子注入:一种半导体掺杂工艺。
8. 晶格:晶体中原子的周期性排列
9. 密勒系数:用以描述晶面的一组整数。
10. 原胞:可复制以得到整个晶格的最小单元。
11. 衬底:用于更多半导体工艺比如外延或扩散的基础材料,半导体硅片或其他原材料。
12. 三元半导体:三元素化合物半导体,如AlGaAs。
13. 晶胞:可以重构出整个晶体的一小部分晶体。
14. 铅锌矿晶格:与金刚石晶格相同的一种晶格,但它有两种类型的原子而非一种。
第二章 量子力学初步
小结
1. 我们讨论了一些量子力学的概念,这些概念可以用于描述不同势场中的电子状态。了解电子的运动状态对于研究半导体物理是非常重要的。
第6章 p-n结
1、一个Ge突变结的p区n区掺杂浓度分别为N
A=1017
cm-3
和N
D=5
´1015
cm-3
,
求该pn结室温下的自建电势。
解:pn结的自建电势结的自建电势
2(ln)DA
D
iNNkT
V
qn=
已知室温下,0.026kT
=
eV,Ge的本征载流子密度133
2.410 cm
in-
=´
代入后算得:1517
13251010
0.026ln0.36
(2.410)DVV´´
=´=
´
4.4.证明反向饱和电流公式(证明反向饱和电流公式(证明反向饱和电流公式(6-356-356-35)可改写为)可改写为)可改写为
2
0
211
()
(1)i
s
nnppbkT
J
bqLLs
ss=+
+
式中n
pbm
m=,
ns和
ps分别为n型和p型半导体电导率,
is为本征半导体电导率。
证明:将爱因斯坦关系式
ppkTD
qm=
和
nnkTD
qm=
代入式(式(6-356-356-35))得
00
00()pnp
n
Spnnp
npnppnnp
JkTnkTpkT
LLLLm
m
mm
mm=+=+
因为
0
02
i
p
pn
n
p=
,
0
02
i
n
nn
p
n=
,上式可进一步改写为,上式可进一步改写为
00221111
()()
Snpinpi
npppnnnppnJkTnqkTn
LpLnLLmmmm
mmss=+=+
又因为又因为
()
iinpnqsmm
=+
22222222
()(1)
iinpipnqnqbsmmm
=+=+ 即
22
2
22222
()(1)ii
i
nppn
qqbss
mmm==
++
将此结果代入原式即得证将此结果代入原式即得证 2
2
22221111
()()
(1)(1)npi
i
S
pnppnnppnqkT
bkT
J
qbLLqbLLmms
s
mssss=+=××+
++
注:严格说,迁移率与杂质浓度有关,因而同种载流子的迁移率在掺杂浓度不同的p区和n
区中并不完全相同,因而所证关系只能说是一种近似。
5.一硅突变pn结的n区r
n=5
W×cm,t
p=1
ms;p区r
p=0.1
W×cm,t
半导体器件物理 教案 课件 PPT
第一章:半导体简介
1.1 半导体的定义与特性
1.2 半导体材料的分类与应用
1.3 半导体的导电机制
第二章:PN结与二极管
2.1 PN结的形成与特性
2.2 二极管的结构与工作原理
2.3 二极管的应用电路
第三章:晶体三极管
3.1 晶体三极管的结构与类型
3.2 晶体三极管的工作原理
3.3 晶体三极管的特性参数与测试
第四章:场效应晶体管
4.1 场效应晶体管的结构与类型
4.2 场效应晶体管的工作原理
4.3 场效应晶体管的特性参数与测试
第五章:集成电路
5.1 集成电路的基本概念与分类
5.2 集成电路的制造工艺
5.3 常见集成电路的应用与实例分析
第六章:半导体器件的测量与测试 6.1 半导体器件测量基础
6.2 半导体器件的主要测试方法
6.3 测试仪器与测试电路
第七章:晶体二极管的应用
7.1 二极管整流电路
7.2 二极管滤波电路
7.3 二极管稳压电路
第八章:晶体三极管放大电路
8.1 放大电路的基本概念
8.2 晶体三极管放大电路的设计与分析
8.3 晶体三极管放大电路的应用实例
第九章:场效应晶体管放大电路
9.1 场效应晶体管放大电路的基本概念
9.2 场效应晶体管放大电路的设计与分析
9.3 场效应晶体管放大电路的应用实例
第十章:集成电路的封装与可靠性
10.1 集成电路封装技术的发展
10.2 常见集成电路封装形式与特点
10.3 集成电路的可靠性分析与提高方法
第十一章:数字逻辑电路基础
11.1 数字逻辑电路的基本概念
11.2 逻辑门电路及其功能 11.3 逻辑代数与逻辑函数
第十二章:晶体三极管数字放大器
12.1 数字放大器的基本概念
12.2 晶体三极管数字放大器的设计与分析
12.3 数字放大器的应用实例
第十三章:集成电路数字逻辑家族
13.1 数字逻辑集成电路的基本概念
13.2 常用的数字逻辑集成电路
半导体物理教案-22
1 §6.3 单边突变结
一、零偏置状态下的突变结
1、势垒区的电荷密度
在pn结势垒区中,在耗尽层近似以及杂质完全电离的情况下,空间电荷区中的电荷全部由电离施主和电离受主组成。其中靠近n区一侧的电荷密度完全由施主浓度决定,靠近p区一侧的电荷密度完全由受主浓度所决定。对突变结来说,n区有均匀施主杂质浓度ND,p区有均匀受主杂质浓度NA,若正负空间电荷区的宽度分别为xn和xp,且取交界面为x=0,如图6-10所示,则势垒区的总宽度XD = xn + xp,而正负空间电荷区的电荷密度分别为
(x)=-qNA (-xp< x < 0)
(x)=qND (0< x < xn)
为满足电中性条件,势垒区内正负电荷总量须相等,即
qNAxp=qNDxn=Q
Q就是势垒区单位面积上积累的空间电荷数。此关系表明,势垒区正负空间电荷区的宽度与其杂质浓度成反比,势垒区主要在杂质浓度低的一边扩展。
2、势垒区的电场
突变结势垒区内的泊松方程为
)0()(0212xxqNdxxVdprA
)0()(0222nrDxxqNdxxVd
式中V1(x)、V2(x)分别是负、正空间电荷区中各点的电势。为了了解pn结两边电场随x变化的情况,将以上两式分别从-xp到x和从xn到x积分一次,并注意到E=–dV/dx,即得
)()()(011prApxxqNxExE
)()()(022nrDnxxqNxExE
因为电场集中在势垒区内,势垒区外电场为零,即E1(-xp)=0
E2(xn)=0,所以,由以上两式知pn结两侧的电场分布分别为
)0()()(01xxxxqNxEpprA
)0()()(02nnrDxxxxqNxE
以上两式表明,在零偏置状态下的突变结势垒区中,电场强度是位置x的线性函数。电场方向从n区指向p区。在x=0处,