防静电工作台检测规范
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防静电工作台检测规范
1 目的
定义防静电工作台检测方法和频率。
2 范围
厂内所有防静电工作台
3 参考文件
阻抗测试仪操作指导书
4 程序
4.1 检测环境
温度:15℃~30℃
湿度:30% ~70%
4.2 检测设备
静电测量仪 (型号:41201-19250)
4.3 表面阻抗检测方法
4.3.1 取点(按照图片取4组点)
4.3.2 将静电检测仪的两极放在指定位置。
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4.3.3 开始测量 (仪器使用方法参考:阻抗测试仪操作指导书)
4.3.4 记录检测结果。(只记录一个点,按照最大的阻值记录)
4.4 对地阻抗检测方法
4.4.1 取点(按照图片取4组点)
4.4.2 将静电检测仪的一个极放在桌面指定位置,一个极放在地上。
4.4.3 开始测量 (仪器使用方法参考:阻抗测试仪操作指导书)
4.4.4 记录检测结果。(只记录一个点,按照最大的阻值记录)
4.5 检测频率:
4.5.1 新铺设防静电皮的工作台。
4.5.2 每半年检测一次。
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工作台垫测试记录表
测试人
日期
区域 位置 表面电阻 系统电阻 测试 结果 备注
测试仪器: 测试人:
环境温度: 环境湿度:
注:工作台的表面电阻值、系统电阻值在106~109之间为合格