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GXS干式螺杆真空泵-EdwardsVacuum

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GXS泵型 应用 LD 轻负荷 只配有轴封 吹扫 退火处理 CVI化学气相浸渍 电子束焊接 气体淬火 LPC低压渗碳 LPN 低压渗氮 烧结 (金属注射成 型) & 脱蜡 油淬火 PIC 精密熔模铸造 & 快速循环 离子渗碳(PN) 回火 真空钎焊 VAR真空电弧精炼 VIM真空感应熔炼 ** * MD 中等负荷 轴封吹扫+可变气镇 启动和关闭时进气 吹扫 MD 中等负荷450 / 750 同标准中等负荷吹扫方 式+可选附加气镇 MD+ 中等负荷+ 同中等负荷吹扫 方式+ 只在关闭时 进行高流流吹扫 MD+ 中等负荷+ 关闭时高流 速吹扫及溶剂 冲洗
GXS 创新螺杆转子技术
4 3 2 2 5 1
1
双端轴支撑 • 非悬臂式支撑设计实现了可靠的转子支 撑， 振动极低， 并且拥有超强的启动可靠 性， 尤其适合苛刻的工艺制程。 • 超强的液体和粉尘处理能力。 测试显示 拥有5升水和1公斤粉尘的侵入处理能力
2
轴承和润滑 • 齿轮箱采用油润滑， 无需定期维护 • 使用优质陶瓷轴承和全氟润滑油， 饱和 蒸汽压力低， 适和各种应用， 并拥有超长 的使用寿命。
机载式智能控制系统 • 采用面板按钮控制， 并有的运行状态和故障状态指示灯 • 真正的 “即插即用” 能力 • 使用智能编程可实现自动开机/停机和AUC降频运行节能模 式， 可选配泵腔自动溶剂冲洗功能 • 通过以太网和串行接口(有Profibus协议、 简单文本控制协 议SIM和RS232)和I/O并行通讯实现远程控制和监控功能 • 可选配泵显示终端(PDT)， 提高诊断和参数配置能力
GXS 干式螺杆真空泵
Giving you a clear edge
EDWARDS – 您的首选合 作伙伴
Edwards 在真空泵的设计、技术和制造领域处于世 界领先地位，并具有超过 95 年的历史和超过 75 年 的制造经验。
Edwards的经营理念：通过利用丰富的工业生产经验，为客 户带来价值，并为客户提供最佳解决方案。利用最具创新 的建模技术，优化泵系统结构，以便为客户提供全套系统 设计，从而以最可靠和经济有效的方式让泵的性能达到最 佳状态。
为您的应用专门定制的解决方案
无论您是需要单个真空泵、真空泵罗茨泵泵组、还是完整的真空系统，我们生产的各种泵型可以 为您的众多应用提供最佳性能的解决方案。 下表是GXS系列真空泵适用的某些典型应用。当然，除此之外还有其他GXS适用的应用。如果您想 要获得具体的建议，详细了解GXS的适用性，请联系我们的应用工程师。
4 3 6 2 2
应用
冶金 • 真空钎焊 • 电子束焊接 • 氮碳共渗 • 低压渗氮 • 低压渗碳 • 化学气相浸渍 • 烧结 • 金属注射成型 • 精密熔模铸造 • 电渣重熔 • 真空感应熔炼 • 真空电弧精炼 • 钢液脱气 镀膜 • 卷绕镀膜 • 硬质镀膜 (CVD/DLC) • 表面活化 • 等离子喷涂 • 玻璃镀膜 干燥 • 冷冻干燥 • 套管填充 • 变压器干燥 • 管道干燥 • 电容器干燥 • 锂电池干燥 等离子工艺 • 等离子焊接 • 离子渗碳 太阳能 • 硅晶提拉 • PV层压 LED制造 真空室清空 • 航天模拟舱 • 气体回收 /循环 • 真空锁室抽空
6Hale Waihona Puke 罗茨泵 • 高效真空罗茨结构设计 • 结合闭环水冷温控系统实现最佳抽气性能
GXS 罗茨泵
提高运行可靠性的附件 • 高流量进气吹扫附件可清除泵腔中的粉尘 • 溶剂冲洗附件可实现在线清洗清除泵腔中的粘性物质 • 溶剂清洗功能可在真空处理过程中使用 • 所有附件可以通过泵自带控制系统或选配的泵显示终端 (PDT)进行控制
GXS 干式螺杆真空泵和泵组
我们全新的GXS干式真空泵实现了干式真空泵性能的一次飞越。GXS真空泵采用了 独特的螺杆技术以及世界领先的高效驱动技术，实现了先进的温度控制和超长的 维修间隔以及同类产品中最佳的抽气性能，确保您长期享有低廉的运行成本。
快速 – 缩短抽真空时间， 极限真空可达到5 X 10 -4 mbar • 高生产率: 缩短工艺流程所需的时间 • 完善的产品质量: 优异的极限真空水平 可靠 – 即便在严苛的工业应用条件下 ， 也能保持稳定运行 • 低廉的维护成本: 无预期外的突发故障 • 高生产率: 超长的维修间隔 智能 – 自带控制系统拥有强大的通讯能力和自动控制能力 • 较低的安装成本: 系统集成成本低 • 运行安全， 产量稳定: 支持工艺流程的自动控制 经济 – 可以承受的资本投入， 低廉的运行成本 • 节省大量成本: 低廉的水/气和电力使用成本 • 节省空间: 占地少 环保 – 低噪音运行， 能耗低 • 碳排放量低: 较低的水/气和电力消耗 • 环保: 无污染和废油排放
4 3
世界领先的电机和驱动技术 • 高效电机配置变频器驱动， 最大化扭矩输 出用以满足苛刻工艺制程的需求 • 整体密封电机消除漏油的可能， 泵的整 体漏率低， 提高泵的运行可靠性 • 水冷式电机和水冷式变频器， 提高运行 可靠性， 延长使用寿命并降低维护成本
先进的轴封技术 • 唇式密封结合迷宫式阻油密封， 实现极佳 密封性能和超长的使用寿命 • 结合每分钟 12升的密封吹扫， 防止齿轮 箱受到工艺介质的污染， 同时实现完全无 油的真空环境
5
先进的抽气结构设计 • 先进的变径变距锥形螺杆转子设计， 使 气体沿转子长度方向上实现平稳逐级压 缩， 从而最优化转子的热控制， 优化所有 进气压力下的抽气性能。 • 闭环水冷温制系统和， 独特的转子和定子 设计， 实现全浓度(0-100%)下氩气抽气能 力 • 先进的加工技术和设计， 转子无需涂层 仍保证最佳的极限真空性能 • 完善的制造技术和设计， 实现低振动低 噪音运行
推荐辅件 进气过 滤器 金属网式 消音器 可清洗可排 水型


注: *对于丙烷低压渗氮， 请使用MD+(中等负荷+)泵型 **对于蜡质粘合剂， 请使用MD+(中等负荷+)泵型

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干式真空泵使用说明

干式真空泵使用说明

5x10 -1 50 4
DP250 800 11 79 260 315
4x10 -1 40 5
DP400 875 18.5 82 385 540
4x10 -1 40 5
600 180 20 12.5
5
480
600
600
180
120
180
36
36
42
15 15.75 16.8
7
8.5
9.6
注: 冷却水为20゜C
4 热交换器(内部冷
却液和外部冷却
水）
5 真空腔体(三级抓
式结构)
6 反转的第二级抓
7 压力释放阀
8 出口法兰
9 齿轮箱
9
10 联接器箱
Slide 13
…结构材料
• 定子和转子均用球墨铸铁（ductile）取 消了脆性铸铁
• 轴材料是EN24T钢 • 旋转密封用聚四氟乙烯 • 氟橡胶或FEP封装O圈
– 标准泵可在1150mbar下抽真空 – 用较大的电机在1300 mbar下抽真空 – 可以有高压力差（~2bar）
Slide 18
…易于维修
• 泵可以拆开 • 密封和轴承都装在可拆卸的套壳内 • 无须调置苛刻的径向间隙 • 在泵原位换电极 • 简单的直接驱动机构使维修最小化
Slide 19
密封的吹气冲洗
稍高的初期投资，但是 • 较佳的占有成本
– 延长维修间隔及轴承寿命 – 在工作范围内低功耗。因此，以立方
米/小时/千瓦计能耗更有效 – 无对污染油的弃置 – 要求标准受保证。若泵足够好，则对
无论什么工艺都不需例外
Slide 12
1
5 6 7
8 10
内部构造
DVSSeriesScrew-TypeDryVacuumPumpsDVS系列干式螺杆真空泵

DVSSeriesScrew-TypeDryVacuumPumpsDVS系列干式螺杆真空泵


最大吸气流量 <m3/H>
1000
极限压力 <Pa>
0.5
配用功率 <kW>
15
- 机组入口气动隔离阀; - 真空绝压变送器，控制罗茨泵启动;
耗水量 <L/min> 进气口
- 冷却水系统配置流量开关；
排气口
- 螺杆泵排出管路配有不锈钢消音器可以降低噪音并冷却气体温度；
- 氮气吹扫装置
进水接口
30 DN100 DN50 DN15
DVS螺杆真空泵
DVS干式螺杆真空泵
是一种 单级的、干式运行的、等节距的、单头内凹面齿型线的 螺杆真空泵
性能特点
◆ 可以独立获得从大气压到0.04mbar.a压力的真空。 ◆ 干式，工艺流程内无油无水，没有废水或是废油的产生，可大大减少污染。 ◆ 真空压力性能不受环境、季节、工况条件变化影响。 ◆ 无接触式压缩，转子没有磨损，运行可靠。 ◆ 转子外表面及壳体内表面采用特富龙涂层，满足各种防腐要求。 ◆ 直通式的泵体结构，可以夹带液体、有利于处理泵内凝液和微小颗粒排放。 ◆ 允许使用氮气，蒸汽，溶剂等冲洗泵体。 ◆ 驱动端采用机械密封及唇形密封，可根据工况要求来选择使用气障。 ◆ 排气口可直接回收溶剂及一些高价值的工艺溶媒介质。
液环泵和干式螺杆泵通常都可用于溶剂处理的应用，但干式螺杆真空泵的优势是降低能耗、减 少冷液使用量、较小的安装空间、能使溶剂保持蒸汽状态通过泵,随后发生冷凝。干式螺杆真空泵也 有利于能够处理易挥发性的有机溶剂如二氯甲烷、丙酮或甲醇等,然而有机溶剂较高的蒸汽压会导致 液环泵的出现问题。
■ 蒸馏
■ 真空度 : 10~100 Torr
涂层处理： 泵体、端盖及转子的过流表面都覆有PFA特富龙涂层
Edwards XDS35i和XDS35i Enhanced滚动泵系列产品介绍说明书

Edwards XDS35i和XDS35i Enhanced滚动泵系列产品介绍说明书

XDS35i and XDS35i Enhanced FamilyThe XDS35i family of scroll pumps offer proven dry, clean vacuum solutions for a wide range of applications, with smart drive technology to look after the pump and provide world wide performance.Now, a combination of the patented double start scroll form technology and by-pass valves have enabledEdwards to offer the XDS35i Enhanced range of pumps to complement our original family. Take another step.With reduced peak power requirements at roughing pressures and continuous higher roughing speeds these enhanced pumps enable the user to take another step in terms of the performance envelope to address those special applications where roughing performance or the ability to evacuate a large volume is important.XDS35i and XDS35i Enhanced pumps are available as standard pumps with gas ballast, versions of the pump with no Gas Ballast (well suited for rare gas recirculation and gas recovery applications) and the C versions of the pumps featuring Chemraz® internal valves and stainless steel fittings for extra protection from the pumped media. XDS35i DRY SCROLL PUMPSBearing shieldensures separation between process gases and bearing lubrication to ensure clean vacuum and no possibility of contamination to lubrication from process gases, which prolongs bearing life.Smart motor drivemeans consistent performance globally, pump overload protection and remote start/stop capability.High flow gas ballast featureallows pumping of vapours including water vapour at up to 240 gh -1.Simple single sided scroll designallows maintenance to be done in minutes for low cost of ownership and maximum up-time.Take another stepthe Enhanced versions offer up to 20% lower peak powerrequirements during initial pump down which means it has the ability to pump down large volume chambers with no loss of performance and has up to 25% more pumping speed at these roughing pressures which helps on higher frequency cycling applications as well.Features and benefitsPRODUCT DATA SHEETSilencerVibration isolators (packof 4)EMEA UK +44 1444 253 000(local rate) 08459 212223Belgium +32 2 300 0730France +33 1 4121 1256Germany 0800 000 1456Italy + 39 02 48 4471Israel+ 972 8 681 0633ASIA PACIFIC China +86 400 111 9618India +91 20 4075 2222Japan +81 47 458 8836Korea +82 31 716 7070Singapore +65 6546 8408Taiwan +886 3758 1000AMERICAS USA +1 800 848 9800 Brazil+55 11 3952 5000 Publication Number: 3601 0458 01© Edwards Limited 2018. All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.Whilst we make every effort to ensure that weaccurately describe our products and services, we give no guarantee as to the accuracy or completeness of any information provided in this datasheet.Edwards Ltd, registered in England and Wales No. 6124750, registered office: Innovation Drive,Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, UK.GLOBAL CONTACTSA. NW40B. NW25BA333 (13.11)180 (7.09)130 (5.12)50 (1.97)476 (18.74)353 (13.90)212 (8.35)Ø187 (0.28)396 (15.59)223 (8.78)240 (9.45)304 (11.97)DimensionsPerformanceXDS35i0200400600800100012001400160018002000051015202530354045500.0010.010.11101001000P o w e r (W )P u m p i n g s p e e d (m 3/h r )Pressure (mbar)PUMPING SPEED AND POWERXDS35i speedXDS35i E speedXDS35i E powerXDS35i powerThe graph shows typical pump performanceNote that peak power for XDS35i is supplied for a short period of time before the intelligent drive reduces the power and speed XDS35i Enhanced, with its bypass valves, is not limited and will pump down continuously at full speed。

爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释

爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释

爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释1.引言1.1 概述爱德华干式真空泵是一种常用于真空工艺的设备，其主要作用是将工作室内的气体抽出，创造真空环境。

相较于传统涡轮分子泵或离心泵，爱德华干式真空泵具有更高的抽真空速度和更低的维护成本，因此在许多领域得到广泛应用。

本文将介绍爱德华干式真空泵的基本原理和结构，以及操作规程，帮助操作人员正确、安全地操作设备，保证设备的正常运行。

同时，操作规程的落实对于设备的寿命和性能也具有重要意义，因此了解并严格执行操作规程是至关重要的。

1.2文章结构1.2 文章结构本文主要分为引言、正文和结论三个部分。

在引言部分中，将概述爱德华干式真空泵的基本情况，并介绍文章的结构和目的。

在正文部分，将详细介绍爱德华干式真空泵的基本原理和结构，以及操作步骤。

最后，在结论部分将总结文章的内容，并强调操作规程对于正确操作干式真空泵的重要性。

通过本文的阐述，读者能够全面了解爱德华干式真空泵的操作规程，为实际操作提供参考。

1.3 目的：本操作规程的目的在于指导操作者正确、安全地操作爱德华干式真空泵，保证设备的高效运行和长久稳定性。

通过学习和遵守本规程，操作者能够了解干式真空泵的基本原理和结构，掌握正确的操作步骤，并且意识到操作规程的重要性。

操作者在使用干式真空泵时应遵循本规程，确保设备的正常运行，并且保障设备和人员的安全。

只有严格按照规程要求进行操作，才能最大程度地提高设备的效率和使用寿命，确保设备在工作过程中能够稳定可靠地运行。

2.正文2.1 爱德华干式真空泵的基本原理和结构：爱德华干式真空泵是一种常用于工业和实验室等领域的真空设备，其主要原理是通过机械方式将气体抽出，从而形成真空环境。

该干式真空泵不需要使用润滑油，因此可以避免油污染和润滑油蒸汽对真空系统造成的影响。

爱德华干式真空泵的主要结构包括：电机、叶片、排气室和进气室。

电机通过传动装置驱动叶片高速旋转，叶片在运转过程中不断推动气体向排气室运动，最终将气体排出系统，形成真空环境。