CR洁净系统温湿度调节方法汇总

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洁净间相对湿度洁净间干球温

露点情况原因分析

正常正常
正常高洁净间露点高
正常低洁净间露点低
高正常洁净间露点高
(1)阴雨潮湿低气压天气 ,室外空气湿度达到或接近饱

(2)后半夜至凌晨一段时间,是外空气相对湿度接近饱

(3)机器露点发生变化

高高
洁净间露点高高(1)这种现象大都出现在高温高湿季节,或室外室球温度突然升高时。
(2)另外夏天冷量配备不足时,也会出现高温高湿现象

高低
(1)这种现象大多由于送风量偏大
(2)冬季因洁净室关车,机器发热量小或热量散失等.

低正常洁净间露点低(1)密封检查,例如室外干燥空气从门窗缝隙侵入会使洁净室相对湿度降低。
(2)送风量不足,送风露点不够。

低高(1)这种现象一般由于送风量不足(2)建筑维护结构传热系数(K)大.比如如洁净室的太
阳辐射热量增加所致(8.5G应该不会受此影响)。
低低
洁净间露点低

调整措施

(1)降低机器露点,使洁净室温度下降,在降低机器露点时,
如发现洁净室相对湿度偏低的情况时可以适当增加送风
量 ,稳定相对湿度。
(2)调整DCC阀门开度

(1)采用降低机器露点或少用,停用喷水加湿设备,降低送
空气的含湿量
(2)减少送风量,须注意温度的变化
(3)改变混合空气比例, 降低机器露点。

(1)降低机器露点对克服高温高湿有显著效果;
(2)霉雨季节室外湿球温度为20 - 23度时,用20度的RO水
进行喷淋时,往往不能获得理想的效果.因此在梅雨季节,
需要有15度以下的低温水处理空气,才能获得好的效果

(1)调整DCC开度
(2)减少送风量
(3)开冷车时,可以暂不送风,试洁净室温度,升高达到一定
范围时再进行送风。

1、堵塞和减少从门窗缝隙侵入的室外干燥空气
2、提高经喷水处理后送入空气的饱和度
3、提高机器露点。这种方法虽然可以提高相对湿度,但
也会使温度有所升高,若提高机器露点后温度超出范围
就需要增加送风量来解决。提高机器露点可以用改变喷
水温度或变更混风比方法获得
4、增加送风量可能提高相对湿度,但会使温度有所下降
。故夏季炎热潮湿天气,宜用增加风量的方法,冬季寒
冷干燥气候宜用提高机器露点方法使洁净室相对湿度提
高。

(1)调节DCC控制降低温度,间接提高相对湿度
(2)增加送风量
(3)若不行,则需要兼用低温水降低机器露点和加大风量
的方法