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• 119•薄膜晶体管-液晶显示器(TFT-LCD ，Thin film transistor-Liquid crystal display)是目前在手机、笔记本电脑、平板电脑、车载、电视五大领域应用最广泛、占有份额最大的显示器件，生活聊天、工作业务、科技发展对其依赖性越来越强。
TFT-LCD 技术自被欧美国家提出伊始，就得到了许多国家和机构不同程度的关注和研究，但由于初始阶段理论水平、工艺水平的局限性，并未得到较大的发展。
将近二十世纪八十年代，日本夏普、韩国三星先后掌握TFT-LCD 的主要生产工艺，并逐步垄断TFT-LCD 行业。
近十年来，中国的TFT-LCD 企业不断学习创新后来居上，技术发展成熟，逐渐领头创新，并且开始打破日本、韩国的垄断，成为行业龙头。
以京东方光电科技有限公司(BOE)为例，2017年BOE 液晶显示屏出货数量约占全球25%，总出货量全球第一；2018年，BOE 智能手机液晶显示屏、平板电脑显示屏、笔记本电脑显示屏、显示器显示屏、电视显示屏出货量均位列全球第一。
市场扩大的同时，产品质量要求也越来越苛刻，比如要求尺寸、屏占比越来越大，分辨率越来越高，显示画面越来越细腻，这些高质量的追求，让TFT-LCD 工艺设计、设备制造精度等面临着新的挑战，同时也容易产生串色、透过率下降等不良。
本文主要分析了串色不良的产生原理以及改善对策。
为后续研究如何满足“尺寸越大，分辨率越高”的这一对矛盾要求，如何改善显示不良等问题提供重要参考。
1 串色不良的现象与特点1.1 串色不良现象串色是TFT-LCD 正常工作时显示画面颜色不纯的一种不良。
图1是 TFT-LCD 在在红画点灯画面下，显示区域整体为橘红色。
因此，串色具体表现为在某一点灯画面下，显示区域局部或整体混有其他杂色，从而导致画面显示异常。
图1 串色不良现象 通过光学显微镜观察串色不良，可以发现：TFT 侧朝上时，像素区ITO 与R/G/B 像素Shift3.6um （如图2a ），CF 侧朝上时，在一定视角下可见红色像素区域混有绿色画面（如图2b ）。
TFT-LCD--薄膜晶体管液晶显示屏，TFT-LCD可以做到高对比度、高速度、高亮度显示屏幕信息，这些都是人类一百年来的发展研究出来的，它的发展过程是怎样的呢？下面就给您详细介绍TFT-LCD的发展经历过程。
1. 历史回顾1888年，奥地利植物雪茄F.Reinitzer在观察植物结晶特性的过程中，发现了如果将温度上升到145℃时，结晶就会呈现白色状况，加热到172℃时那么呈现透明的状态，德国的一个物理学家O.Lehmann在研究之后把它命名为液晶，这就是液晶显示技术的开始在驱动这方面，TFT-LCD主要经历了无源液晶显示和有源液晶显示的发展过程。
2. TFT-LCD的技术发展趋势随着TFT-LCD在手机、笔记本电脑、电视、显示器以及工业设备显示器的广泛应用，最近几年发展趋势迅猛，已经受到了人们的关注。
在TFT-LCD技术未来的发展趋势，主要表现在高解析度、宽视角、低成本、高亮度以及低功耗等一些方面。
2.1 高解析度为了实现大面积的高解析度的液晶显示，一般都是需要采用高性能开关元件、低阻抗金属的材料以及高精细加工技术等的手段。
现在研究和使用最多的材料就是铝。
1988年5月，IBM利用了A1-Nd合金来作为栅电极，开发出了16.3英寸的超高解析度（200ppi）a-Si TFT-LCD，并且已经实现批量生产。
1999年4月，东芝推出了20.8英寸16-SVGA（3200X2400）a-Si TFT-LCD，这个可以说是代表了a-Si TFT-LCD在高解析度和高容量方面的最高水平。
实现高解析度液晶显示的另外一种重要的途径是开发LTp-SiTFT 技术。
就目前而言，已经发表的p-Si TFT-LCD产品的解析度一般都是在200ppi左右的。
和a-Si TFT-LCD 相比，LT p-Si TFT-LCD具有比较小体积的博膜晶体管以及储存电容器，正是因为如此，它每一英寸都具有更强大的穿透区，从而就有了更亮的显示画面，而且更省电。
Thin-film Transistor Liquid Crystal Display我们平时所说的LCD，它的英文全称为Liquid Crystal Display。
翻译为液晶体显示器，简称为液晶显示器。
20世纪70年代初，世界上第一台液晶显示设备出现，被称为TN-LCD（扭曲向列）液晶显示器。
他是单色显示，他被推广到电子表，计算器等领域。
80年代，STN-LCD (超扭曲向列)液晶显示器出现，同时TFT-LCD（薄膜晶体管）液晶显示器技术被研发出来。
一、TFT-LCD简介这种显示器它的构成主要有两个特征, 一个是薄膜晶体管, 另一个就是液晶本身。
液晶可分为，层状液晶(Sematic)，线状液晶(Nematic) ，胆固醇液晶(cholesteric) ，碟状液晶(disk)。
如果我们是依分子量的高低来分的话则可以分成高分子液晶(polymer liquid crystal, 聚合许多液晶分子而成)与低分子液晶两种. 就此种分类来说TFT液晶显示器是属于低分子液晶的应用.The thin film transistor in a TFT LCD monitor consists of a thin film of a semiconductor material applied over a glass substrate. Each pixel in a TFT LCD monitor has its own transistor along with the liquid crystal material. The liquid crystal material exhibits properties of both a liquid, because of its ability to change quickly, and a crystal, because of its ability to remain in an arranged position. The transistor applies a voltage to the pixel, determining the color and intensity of the pixel. A pixel is short for picture element, and the tiny pixels blend together to create the image on a display.Another name for a TFT LCD monitor is an active-matrix LCD. Although TFT is not the only active-matrix LCD technology, it is overwhelmingly the most common type, causing some people use the two terms interchangeably. However, a TFT is only a small part of an active-matrix LCD. Active-matrix refers to the ability of a TFT LCD monitor to control individual pixels and switch them quickly.（引文）（译文即基本原理）薄膜晶体管TFT液晶显示器在由一种薄膜的半导体材料应用在玻璃基片上。
TFT-LCD的特点有哪些?TFT（Thin Film Transistor）即薄膜场效应晶体管，其每个液晶像素点都是由集成在像素点后面的薄膜晶体管来驱动，从而可以做到高速度、高亮度、高对比度显示屏幕信息，是目前最好的LCD彩色显示设备之一，其效果接近CRT显示器，是现在笔记本电脑和台式机上的主流显示设备。
TFT-LCD是有源矩阵类型液晶显示器(AM-LCD)中的一种。
和TN技术不同的是，TFT的显示采用“背透式”照射方式——假想的光源路径不是像TN液晶那样从上至下，而是从下向上。
这样的作法是在液晶的背部设置特殊光管，光源照射时通过下偏光板向上透出。
由于上下夹层的电极改成FET电极和共通电极，在FET电极导通时，液晶分子的表现也会发生改变，可以通过遮光和透光来达到显示的目的，响应时间大大提高到80ms左右。
因其具有比TN-LCD更高的对比度和更丰富的色彩，荧屏更新频率也更快，故TFT俗称“真彩”。
TFT屏幕也是目前中高端彩屏手机中普遍采用的屏幕，分65536色及26万色、1600万色三种，其显示效果非常出色。
TFT-LCD的主要特点随着九十年代初TFT技术的成熟，彩色液晶平板显示器迅速发展，不到10年的时间，TFT-LCD迅速成长为主流显示器，这与它具有的优点是分不开的。
主要特点是：（1）使用特性好：低压应用，低驱动电压，固体化使用安全性和可靠性提高；平板化，又轻薄，节省了大量原材料和使用空间；低功耗，它的功耗约为CRT显示器的十分之一，反射式TFT-LCD甚至只有CRT的百分之一左右，节省了大量的能源；TFT-LCD产品还有规格型号、尺寸系列化，品种多样，使用方便灵活、维修、更新、升级容易，使用寿命长等许多特点。
显示范围覆盖了从1英寸至40英寸范围内的所有显示器的应用范围以及投影大平面，是全尺寸显示终端；显示质量从最简单的单色字符图形到高分辨率，高彩色保真度，高亮度，高对比度，高响应速度的各种规格型号的视频显示器；显示方式有直视型，投影型，透视式，也有反射式。
高刷新率屏幕制程工艺
高刷新率屏幕是指屏幕在显示图像时的刷新速率较高，通常以赫兹（Hz）来表示。
常见
的高刷新率屏幕有90Hz、120Hz、144Hz、240Hz等。
制程工艺是指生产芯片和集成电路的工艺。
在高刷新率屏幕中，制程工艺主要指的是显示屏面板的制造工艺。
目前主流的高刷新率屏幕制程工艺有：
1. TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示）：这是最常见的屏幕制程工艺，通过在液晶材料上加上薄膜晶体管和彩色滤光器等组件来实现图像显示。
这种制程工艺的优点是成熟稳定，成本较低，不过相对来说响应速度稍慢一些。
2. OLED（有机发光二极管）：这种制程工艺是使用有机材料构成的发光二极管来实现图像显示。
OLED屏幕响应速度较快，对比度较高，色彩鲜艳，同时还能够实现更薄更轻的设计。
不
过由于制程工艺相对较新，造成成本较高。
3. Micro LED：这是一种新兴的屏幕制程工艺，使用微小的发光二极管来实现图像显示。
Micro LED屏幕具有非常高的刷新率、对比度和色彩饱和度，并且能够实现更高分辨率和较低的功耗。
然而，由于制程工艺相对较复杂和昂贵，并且仍然处于发展阶段，因此在市场上并不常见。
总的来说，高刷新率屏幕的制程工艺因产品类型不同而异，每种制程工艺都有其特点和适用场景，消费者可以选择适合自己需求的高刷新率屏幕。
什么是TFT LCD?LCD的历史1888年，澳大利亚的植物学家Fredreich Rheinizer发现了液晶。
“液晶”既不是固体也不是液体（肥皂水就是一种液晶），是一种在一定温度范围内呈现既不同于固态、液态，又不同于气态的特殊物质态，它既具有各向异性的晶体所特有的双折射性，又具有液体的流动性。
一般可分热致液晶和溶致液晶两类。
在显示应用领域，使用的是热致液晶，超出一定温度范围，热致液晶就不再呈现液晶态，温度低了，出现结晶现象，温度升高了，就变成液体；液晶显示器件所标注的存储温度指的就是呈现液晶态的温度范围。
液晶由于它的各向异性而具有的电光效应，尤其扭曲向列效应和超扭曲效应，所以能够制成不同类型的显示器件(Liquid Crystal Display简称LCD)。
二十世纪六十年代中期，科学家展示了液晶在外界电压的作用下会改变它的透光性的特性，液晶这一呈液体状的化学物质，象磁场中的金属一样，当受到外界电场影响时，其分子会产生精确的有序排列。
如果对分子的排列加以适当的控制，液晶分子将会允许光线穿越。
早期的样机（六十年代末期生产的）太不稳定，不适于大规模生产，直到一位英国的研究者提供出一种稳定的液晶材料——联二苯时，情况才发生根本的转变。
今天的彩色液晶电视和液晶显示器所使用的TFT LCD屏基本上是采用了类似三明治的分层结构（如下图所示）。
稿草什么是TFT LCD?TFT（Thin Film Transistor）为薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器件，在每个像素点上设计一个场效应开关管，这样就容易实现真彩色、高分辨率的液晶显示器件。
TFT LCD的结构有如三明治(见下图)，从上到下分为偏光镜（Polarizer）、滤色玻璃板(Color filter glass)、TFT玻璃板(TFT glass)、偏光镜以及提供光源的背光，滤色玻璃板与TFT玻璃板两片玻璃之间填充的是液晶材料。
草稿TFT 玻璃板上分布着与显示像素一样多的薄膜晶体管，而滤色玻璃板则起着滤色的作用，用以产生彩色。
TFT液晶屏：TFT-LCD结构及工作原理TFT-LCD即薄膜场效应晶体管LCD，是有源矩阵类型液晶显示器(AM-LCD)中的一种。
TFT的显示采用“背透式”照射方式——假想的光源路径不是像TN液晶那样从上至下，而是从下向上。
这样的作法是在液晶的背部设置特殊光管，光源照射时通过下偏光板向上透出。
由于上下夹层的电极改成FET电极和共通电极，在FET电极导通时，液晶分子的表现也会发生改变，可以通过遮光和透光来达到显示的目的，响应时间大大提高到80ms左右。
因其具有比TN-LCD更高的对比度和更丰富的色彩，荧屏更新频率也更快，故TFT俗称“真彩”。
TFT-LCD的主要特点是为每个像素配置一个半导体开关器件。
由于每个像素都可以通过点脉冲直接控制。
因而每个节点都相对独立，并可以进行连续控制。
这样的设计方法不仅提高了显示屏的反应速度，同时也可以精确控制显示灰度，这就是TFT色彩较DSTN更为逼真的原因。
目前，绝大部分笔记本电脑厂商的产品都采用TFT-LCD。
早期的TFT-LCD主要用于笔记本电脑的制造。
尽管在当时TFT相对于DSTN具有极大的优势，但是由于技术上的原因，TFT-LCD在响应时间、亮度及可视角度上与传统的CRT显示器还有很大的差距。
加上极低的成品率导致其高昂的价格，使得桌面型的TFT-LCD成为遥不可及的尤物。
不过，随着技术的不断发展，良品率不断提高，加上一些新技术的出现，使得TFT-LCD在响应时间、对比度、亮度、可视角度方面有了很大的进步，拉近了与传统CRT显示器的差距。
如今，大多数主流LCD 显示器的响应时间都提高到50ms以下，这些都为LCD走向主流铺平了道路。
LCD的应用市场应该说是潜力巨大。
但就液晶面板生产能力而言，全世界的LCD主要集中在中国台湾、韩国和日本三个主要生产基地。
亚洲是LCD面板研发及生产制造的中心，而台、日、韩三大产地的发展情况各有不同。
目前主流的TFT面板有a－Si(非晶硅薄膜晶体管)、TFT技术和LTPS TFT（低温复晶硅）TFT技术。
TFT液晶屏TFT是“Thin Film Transistor”的缩写，又称为“真彩”，它属于有源矩阵液晶屏，它是由薄膜晶体管组成的屏幕，它的每个液晶像素点都是由薄膜晶体管来驱动，每个像素点后面都有四个相互独立的薄膜晶体管驱动像素点发出彩色光，可显示24bit色深的真彩色。
在分辨率上，TFT液晶屏最大可以达到UXGA（1600×1200）。
TFT的排列方式具有记忆性，所以电流消失后不会马上恢复原状，从而改善了STN液晶屏闪烁和模糊的缺点，有效地提高了液晶屏显示动态画面的效果，在显示静态画面方面的能力也更加突出，TFT液晶屏的优点是响应时间比效短，并且色彩艳丽，所以它被广泛使用于笔记本电脑和DV、DC 上。
而TFT液晶屏的缺点就是比较耗电，并且成本也比较高。
液晶是处于固态和液态之间具有一定有序性的有机物质，具有光电动态散射特性;它有多种液晶相态，例如胆甾相，各种近晶相，向列相等。
根据其材料性质不同，各种相态的液晶材料大都已开发用于平板显示器件中，现已开发的有各种向列相液晶、聚合物分散液晶、双(多)稳态液晶、铁电液晶和反铁电液晶显示器等，其中开发最成功的、市场占有量最大、发展最快的是向列相液晶显示器。
显示用液晶材料是由多种小分子有机化合物组成的，这些小分子的主要结构特征是棒状分子结构。
随着LCD的迅速发展，人们对开发和研究液晶材料的兴趣越来越大。
1、TN-LCD用液晶材料TN型液晶材料的发展起源于1968年，当时美国公布了动态散射液晶显示(DSM-LCD)技术。
但由于提供的液晶材料的结构不稳定性，使它们作为显示材料的使用受到极大的限制。
1971年扭曲向列相液晶显示器(TN-LCD)问世后，介电各向异性为正的TN型液晶材料便很快开发出来;特别是1974年相对结构稳定的联苯睛系列液晶材料由G.W.Gray等合成出来后，满足了当时电子手表、计算器和仪表显示屏等LCD器件的性能要求，从而真正形成了TN-LCD产业时代。
薄膜晶体管液晶显示屏 （TFT-LCD） 摘 要： 薄膜晶体管液晶显示屏（TFT-LCD）是目前使用最为广泛的液晶显示器。本文从TFT的结构、原理、制造工艺、特性指标、研究进展与应用等方面介绍了TFT-LCD的基本情况。
关键词：薄膜晶体管 液晶 TFT 结构 原理 工艺 参数 应用
TFT-LCD技术是微电子技术和LCD技术巧妙结合的高新技术。人们利用微电子精细加工技术和Si材料处理技术，来开发大面积玻璃板上生长Si材料和TFT平面阵列的工艺技术。再与日益成熟的LCD制作技术结合，以求不断提高品质，增强自动化大规模生产能力，提高合格率，降低成本，使其性能/价格比向CRT逼近。
一、TFT-LCD的结构与工作原理 薄膜晶体管（TFT）液晶显示器是在扭曲向列（TN）液晶显示器中引入薄膜晶体管开关而形成的有源矩阵显示，从而克服无源矩阵显示中交叉干扰、信息量少、写入速度慢等缺点，大大改善了显示品质，使它可以应用到计算机高分辨率全色显示等领域。 成品TFT-LCD主要部件是LCD显示模组（LCM）,LCM是由Panel板和背光源(back light)组成。Panel板是整个液晶显示器的核心部分，它的制造工艺也是最复杂的。人们通常所说的亮点也就是在Panel板的制造过程中发生的。背光源的好坏能直接影响显示效果，它通常也是影响液晶显示器的寿命的关键所在。 1. Panel板的结构及工作原理
TFT-LCD Panel板的结构 在Panel板下层玻璃基板上建有TFT阵列，每个像素的ITO电极与TFT漏电极联结，栅极与扫描总线连结，原源电源与信号总线连结。施加扫描信号电压时，原源电极导通使信号电压施加到存储电容器上并充电，在帧频内存储电容器的信号电压施加到液晶像素上，使之处于选通态。再一次寻址时，由信号电压大小来充电或放电。这样各像素之间被薄膜晶体管开关元件隔离，既防止了交叉干扰又保证了液晶响应速度满足于帧频速度，同时以存储信息大小来得到灰度级，目前灰度已可达到256级，可得到1670万种颜色，几乎可获得全色显示。从上世纪90年代形成产业以来，薄膜晶体管（TFT）液晶显示器的生产线已由第一代发展到了第六代，没换代一次基板玻璃的面积都大幅增加，而且产量不断提高、成本不断降低。如第七代薄膜晶体管（TFT）液晶显示器生产线的玻璃基板尺寸将达到1870*2200mm，目前可制成的液晶电视屏94cm(37inch),笔记本电脑屏幕的最大尺寸为38.1cm(15inch),监视器屏幕最大尺寸达63.5cm(25inch)。薄膜晶体管（TFT）液晶显示器的另一种发展趋势是薄型化、轻量化、低功耗化。基于新型材料的开发、制造工艺技术的革新、设备精度和自动化程度的提高及软件技术的进步，使得薄膜晶体管（TFT）液晶显示器产品的更新换代的速度非常快。
TFT断面图 2.背光源（Backlight）的结构及其原理 （1）Lamp 是自Inverter(反向交流器)接收高电压而发生可视光线的光源。主要使用CCFL(Cold Cathode Fluorescent Lamp).还有HCFL(Hot Cathode Fluorescent Lamp)。 （2）Lamp housing 反射自Lamp出光的光源, 入射到导光板上。使用黄铜、铝以及黄铜上附合Ag等材料的薄膜反射。 （3）Light guide Panel (导光板) 主要使用丙烯（PMMA)以Injection Molding或Casting的方法而制作的，导光入射的光源，并且具有均匀分布光源的作用。 （4）Reflector 主要是聚醚(PET)器材上为减少导光板入射的光源损失，具有反射功能。 （5）Diffuser Down (扩散Sheet) 主要是聚醚(PET)器材上以丙烯类树脂形成球形的形状，均匀扩散自导光板出光的光源，同时起集光的作用。 （6）Bottom Prism 主要是聚醚(PET)器材上以丙烯类树脂起规则地形成棱柱形状而集光的作用. 辉度增加率为user表面的1.55倍。 （7）Top Prism 具有与Bottom Prism同样的功能，以Bottom Prism表面的1.33倍增加辉度. Prism以相互十字交叉布置，收集X轴和Y轴方向的光源. （8）Diffuser Up (Protector Film) 具有与Diffuser Down同样的构造，以保护Prism的作用为主要目的，亦称为保护膜。要使用透过性的Diffuser，由此，多少带来Top Prism集光的光源损失，但为减少Prism特性的不良而使用。
二、TFT-LCD的制造工序 1.薄膜晶体管(TFT)制造工序 TFT的制造工序分坚膜、清洗、Photo、刻蚀、脱膜、检测六大工序。如图所示 TFT制造工序图 (1) 坚膜工序 坚膜工序是指将Gate电极、Data(Source/Drain)电极、像素电极、绝缘膜、保护膜以及半导体膜, 以物理或化学方法,使其在Glass(玻璃)上形成膜的工序。 Gate电极、Data(Source/Drain)电极、像素电极是金属物质(铝、铬、ITO、钼)，利用Sputtering（溅射）物理方法，再Target(主要是金属)和Glass之间的Plasma（离子区）, 将Target物质贴在Glass上。Plasma（离子区）是两个电极之间注入的不活性Gas上施加高电压, 从而离子化生成。离子化的不活性Gas在Target上冲击, 然后脱掉的Target物质移到Glass而形成膜
坚膜工序详解 绝缘膜、保护膜、半导体膜是利用化学方式的PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)工序，即利用两个电极之间注入Gas之后施加高频率电源而生成的Plasma(等离子)，在Glass上生成膜的方式。
(2)清洗工序 清洗工序是指将初期投入或工序中Glass或膜表面的污染、Particle事先除去，以免发生不良的工序。对确保膜与膜之间的黏着性有所帮助。主要Unit有UV清洗Unit、Brush清洗Unit、Mega Sonic Unit、CJ( Cavitation Jet) Unit。
(3)Photo 工序 Photo 工序是指用膜上形成要制作形态的Mask通过光, 其形态从Mask移到感光剂(PR)的作业，包括感光剂涂屏(PR Coating)、曝光及显像等的工序。 Photo工序 (4)刻蚀工序 刻蚀工序是指对去除感光剂(PR)部分的膜, 利用物理、化学方法有选择地去除的工序。刻蚀方式有如下的两个方式：1.Wet Etching是利用化学溶液刻蚀金属物质(铝，铬， ITO，钼)的方式；2.Dry Etching利用Gas Plasma刻蚀 SiNx ，a-Si 的方式。
刻蚀工序 (5)脱膜工序 脱膜工序是指刻蚀工序后，去除为形成Pattern而留下的感光剂(PR)的工序。 脱膜工序的必须条件是完全除去PR,下部膜不应有损伤，还要维持为进行下一工序的均匀的表面状态。 (6)检测工序。 检测工序是指调查/评价工序、半成品，产品的质量判定良、 不良的工序。
2.成盒/制屏的工序 TFT-LCD 的面板（屏）的组装过程，是首先将洗净后的彩膜基板与TFT 的阵列基板涂布上配向膜涂液，并摩擦定向。然后在TFT 的阵列基板四周涂上封框胶，并散布5～10 μ m 大小的间隔物于其上作支撑点，再将阵列基板与彩膜基板组合，以封框胶封合形成空的盒（Cell）。再以两种方式注入液晶，一种方式是先将此空的cell基板裁切断、裂片、取最终显示器产品所需尺寸大小，经检查后，以真空方式注入液晶材料并加以封合；另一种方法是先注入液晶，再进行裁切断片后再封合。这两种方式所需的制作时间不同，会影响总合格率也会造成生产能力的不同。 Cell的制造工序 3.模块的工艺流程 最后将TFT-LCD的panel面板与驱动电路（Drive IC）、印刷电路板连接，并装上背光源以及固定框架就完成了液晶显示模块（LCM）。其工序一共有偏光板贴合、 TAB贴合、PCB贴合、B/L组装、老化测试、包装如图（）所示。另外每块LCM在老化的前后都要进行一次检查。
模块工序的部件 模块制造工序详解 (1)偏光板贴合 主要分为清洗和偏光板的贴合两大工序。 清洗包括刀洗、刷洗、冲洗、干燥：刀洗是用旋转刀片去除玻璃碎屑；刷洗是用毛刷去除灰尘和指纹；冲洗是用纯水去除残留的杂质；干燥以高、低温的热风去掉微细水气。 偏光板贴合是指利用Panel板和偏光板上的信息将上下偏光板分别贴附Panel板的上板和下板。
(2)TAB 贴合 TAB贴合是指利用ACF(Anisotropic Conductive Film)将TAB(Tape Automated Bonding)和Panel板连接。其工序包括ACF附着、TAB定位和本压榨：ACF附着是指将ACF贴附在Panel板上；TAB定位是利用Panel板上的定位信息将TAB预压在Panel板上；本压榨是在高温高压下将TAB完全压在Panel板上并且使得连接部位的ACF导通。
TAB贴合简化图 (3)PCB贴合 PCB贴合与TAB贴合一样都是利用ACF来连接，不同的是这里连接的是TAB与PCB，所以由于材质的不同所使用的ACF也不同，同样工程条件也不同。具体工序分为树脂涂屏，ACF贴合和PCB正式压榨：树脂涂屏是为了防止水分和其它异物进入Panel板内；ACB贴合是将ACF贴附在PCB面板上；PCB正式压榨是将PCB与TAB在高温高压下压榨，并且使得连接部位的ACF导通。
