柔性阵列式压力传感器的发展现状简介
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柔性传感技术概述柔性传感技术是一种新兴的技术领域,将传感器技术与柔性电子技术相结合,开创了新的传感器应用方向。
柔性传感技术可以用于测量和检测各种环境和生物参数。
相比传统刚性传感器,柔性传感器具有优势,如可弯曲、可拉伸、可卷曲、可贴合等特点,适用于多种复杂应用场景,如人体穿戴监测、智能医疗、机器人感知、智能家居等。
柔性传感技术的发展主要受到两个因素的驱动。
首先,柔性电子技术的快速发展为柔性传感器的制造提供了可行性。
传统刚性传感器主要通过硅片等刚性材料制造,限制了传感器的形状和应用范围。
而柔性传感器采用柔性基底材料制造,并使用柔性电子技术将电子元器件集成在其中,使得传感器可以具备柔性和可变形的特性。
其次,柔性传感技术对于一些特殊场景和应用需求具有重要意义。
例如,对于病人的身体状态监测,传统监测设备体积庞大且使用不便,而柔性传感器可以与人体表面紧密贴合,实时监测身体参数,并且具备舒适性和便携性。
此外,在机器人领域,柔性传感器可以用于感知机器人的外界环境和接触物体的力度,提高机器人的感知能力和工作效率。
柔性传感技术的核心就是柔性传感器的制造。
柔性传感器可以采用多种材料制造,如聚合物、纳米材料和金属薄膜等。
这些材料具有柔软性和可延展性,可以适应不同形状和变形。
同时,柔性传感器的制造过程也采用了多种新技术,如印刷、溶胶喷射和薄膜沉积等,这些制造方法能够在柔性基底上直接制造传感器元件,实现大规模制造和低成本生产。
柔性传感器的工作原理多种多样,包括电容、电阻、压电效应和光学等。
通过改变柔性传感器的形状、结构或材料特性,可以实现不同参数的测量和检测。
例如,压电效应可以将外力转变为电信号,用于测量压力、应变和力度。
而电容传感器则通过测量电容的变化来检测物体的距离和形状。
柔性传感器还可以与其他电子元器件相结合,形成多传感器网络,实现多参数的测量和信息处理。
柔性传感技术在医疗健康、智能穿戴和智能家居等领域有着广阔的应用前景。
柔性压力传感器应用与发展简析发表时间:2019-04-29T16:05:56.857Z 来源:《基层建设》2019年第5期作者:路林[导读] 摘要:柔性压力传感器是一种用于感知物体表面作用力大小的柔性电子器件,一般采用平面结构,可以通过点或者阵列的形式完成高密度、高柔韧性下的测量。
国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心天津市 300300 摘要:柔性压力传感器是一种用于感知物体表面作用力大小的柔性电子器件,一般采用平面结构,可以通过点或者阵列的形式完成高密度、高柔韧性下的测量。
柔性压力传感器能否兼具柔韧性和准确测量压力分布信息等功能成为人们关注的焦点。
因此,构建微结构是提高柔性压力传感器综合性能的有效途径,成为学术界和工业界的关注重点。
本文以专利分析为基础,对柔性压力传感器的应用于发展进行了简单的归纳和分析。
关键词:柔性;压力;传感器;电容;电阻;压电;压阻一、柔性压力传感器概述1.1柔性压力传感器压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。
传统的压力传感器结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。
随着半导体技术的发展,半导体压力传感器逐步发展,特别是MEMS技术的发展成熟,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
随着材料科学、制作工艺和应用需求的迅猛发展,尤其是人体运动智能可穿戴设备中的柔性传感器己成为研究的热点。
柔性压力传感器是一种用于感知物体表面作用力大小的柔性电子器件,能贴附于各种不规则物体表面,在医疗健康、机器人、生物力学等领域有着广泛的应用前景[1]。
为了满足柔性界面、曲面和不规则形状界面上作用力测量的需求,柔性压力传感技术是在柔性的基板上形成具有轻、薄、小巧、可挠性特点的压力传感技术[2]。
1.2柔性压力传感器的类型柔性压力传感器按照感应材料可分为电容式传感器、电阻式传感器、压阻式传感器和压电式传感器。
电容式传感器由一个悬浮结构极板电容器组成,当极板或电极区域之间的距离在外力作用下时距离被缩短,从而产生两个电极之间的电容的变化。
柔性可穿戴传感器发展现状作者:娄正沈国震来源:《新材料产业》2017年第10期一、引言随着信息技术的不断进步,人们对发展高性能柔性传感器的需求也在不断增加。
人们希望传感器件可以舒适地穿戴在身上,或者直接贴附在皮肤表面,从而能够获得血压、血糖、脉搏等一系列健康信息,并将这些信息收集到智能设备中,经过分析和提取,帮助医生进行诊断,使未来的人类生活更具想象空间[1-3]。
此外,通过在人类假肢或机器人上贴附相应柔性传感器及传感系统,实现对外界环境的感知,获得多自由度的超级操控[4,5]。
本文总结了近年来柔性传感器的研究进展,包括柔性触觉传感、柔性成像阵列、生物传感、气体传感以及多功能传感集成等在可穿戴电子领域的最新应用。
二、压阻式传感器通常,当施加外力时,基于压阻效应的触觉传感器将导致电导率信号发生变化。
压阻式触觉传感器由于功耗低,压力测试范围广,易于读取和简单的器件结构及制造工艺,已经得到广泛的研究,对实现人机交互和电子皮肤的实际应用具有很大希望。
在过去的几十年,已经研究了许多不同种类的材料来发展高性能压阻式传感器。
通常,压阻传感材料主要集中在具有导电性能的填料,如导电聚合物(CPs),金属颗粒,碳纳米管(CNTs)和还原氧化石墨烯(rGO)加入弹性体〔如聚氨酯(PU)和PDMS〕的复合材料[6]。
此外,导电纤维,金属纳米线和薄膜也可以用作压阻传感器的感测材料。
Hanif和他的团队报道了一种具有典型压阻效应的等离子体掺杂石墨烯片基柔性压力传感器。
与UG片相比,等离子体掺杂进一步提高了人类感知(0~10kPa)最低工作区域的压力感测性能;此外,还研究了在压阻式压力传感器中使用的一些其它具有生物相容性,超疏水性等独特性质的导电聚合物[7]。
但是,大多数使用基于平面结构的复合弹性体的压阻型传感器表现出较差的感测性能,在低压状态下无法感知。
因此,深入研究一些新材料的工作原理和设计理念,来提供如传感材料的3D网络,多孔结构的活性材料和微结构的利用等来作为替代方案。
复合材料柔性传感器及其发展趋势复合材料柔性传感器是一种利用复合材料制造的柔性材料传感器,能够在受力或变形时产生特定的电信号。
该传感器具有轻巧、灵敏度高、可弯曲、可撕裂等特点,能够适应各种复杂环境,并且具有广泛的应用潜力。
本文将对复合材料柔性传感器的原理及发展趋势进行探讨。
复合材料柔性传感器的工作原理主要是基于复合材料的电阻、电容或电感特性。
常见的复合材料材料包括碳纤维、聚合物、金属氧化物等,通过调整材料的结构和组成,使其在受力或变形时产生电信号。
当复合材料受到压力时,其内部的电阻值会发生变化,从而产生相应的电信号。
通过测量这些信号,可以得到被测量物体的受力或变形信息。
复合材料柔性传感器具有许多优点。
由于其材料轻巧、柔软,因此可以与人体或其他复杂形状的物体接触,并能够适应其形状。
复合材料具有较高的灵敏度和可靠性,可以准确地测量受力或变形信息。
复合材料的制造工艺相对简单,成本较低,有望实现大规模生产。
复合材料柔性传感器在医疗、机器人、智能家居等领域具有广阔的应用前景。
随着科学技术的不断发展,复合材料柔性传感器正朝着以下几个方向发展:提高传感器的灵敏度和精度。
传感器的灵敏度和精度是评价其性能优劣的重要指标。
目前,许多研究者在通过改善复合材料的结构和组成、优化传感器的电路设计和信号处理算法等方面进行探索,以提高传感器的灵敏度和精度。
拓展传感器的应用领域。
目前,复合材料柔性传感器主要应用于医疗、机器人和智能家居等领域。
未来,随着科学技术的进一步发展,传感器有望应用于更广泛的领域,如智能交通、环境监测、航空航天等。
提高传感器的可靠性和稳定性。
复合材料柔性传感器在使用过程中面临着各种复杂的环境和条件,如温度变化、湿度变化等。
为了确保传感器的可靠性和稳定性,研究者需要优化传感器的设计和制造工艺,提高传感器的耐用性和抗干扰性。
降低传感器的成本和制造难度。
当前,复合材料柔性传感器的成本较高,制造难度较大。
为了推广传感器的应用,需要降低传感器的制造成本,并探索更加简单和高效的制造方法。
柔性传感器的研究及其应用随着人们对健康、医疗、机器人等领域需求的不断增加,传感器也越来越广泛地应用于各种场合。
传统的硬性传感器由于刚性和精度问题,往往难以满足柔性物体的需求。
为解决这一问题,柔性传感器应运而生。
柔性传感器是指可弯曲、拉伸和扭转的柔性材料制成的传感器。
这种传感器的结构灵活,具有较高的韧性和耐磨性,能够适应一定范围内的形变和变形。
而且,柔性传感器可以在测量过程中贴合物体表面,避免空气隙间的测量错误,这使其具有广泛的应用前景。
目前,柔性传感器的研究和应用正在不断扩展。
其中,广泛应用于人体的生物监测领域,如测量血压、心电图、脑电波等指标。
同时,它还被用于机器人的柔软接触和手势识别以及安全领域的对物品的接触和变形的检测。
以下介绍柔性传感器在各个领域的应用。
在医疗领域,柔性传感器可用于生态电学测量以及医疗设备的设计。
通过采用柔性材料制成的传感器,可以有效减少磨损和刺激,提高用户的舒适和安全性。
此外,柔性传感器还可以实现高清晰度的身体成像,从而更好地发现疾病和炎症。
在机器人领域,柔性传感器可以改善机器人的柔软接触能力,实现更适应性的操作。
采用柔性传感器的机器人能够准确地感测到柔软载荷并适应重载荷的变化。
这使得机器人在完成复杂任务时表现更出色。
在安全领域,柔性传感器可用于监测变形和起伏的微型结构。
例如,可基于柔性传感器制造变形检测器,用于检测多个行星着陆器的安全。
此外,在建筑结构和桥梁方面也可以使用柔性传感器,以检测因水管、峡谷和地震等原因引起的微小变形。
随着技术的日益成熟和发展,未来柔性传感器的应用前景会变得更加广泛。
想象一下智能服装、卫生巾、智能鞋等各种应用中的柔性传感器的应用。
传感器的适应性和灵活性,已成为开发更多个性化和高性能应用的必备工具。
总之,柔性传感器的研究和应用已经成为科技领域发展的一个重要趋势。
未来,柔性传感器的研究还将向更加先进的方向发展。
预计未来将使用更智能的传感器来实现更高的性能水平。
复合材料柔性传感器及其发展趋势复合材料柔性传感器是一种在传感器技术领域中具有广泛应用前景的新型传感器。
它具有柔性、轻薄、可弯曲等特点,在许多领域都有着重要的应用,如医疗健康监测、智能穿戴设备、机器人技术等。
复合材料柔性传感器通常由导电材料和聚合物基底材料组成。
导电材料是传感器的灵敏元件,其导电性能能够随底材的变化而发生变化,从而实现对外界的感知。
聚合物基底材料具有柔性和可弯曲的特性,能够使传感器具备良好的柔性和合适的机械强度。
复合材料柔性传感器有着广泛的应用前景。
在医疗健康监测方面,复合材料柔性传感器可以应用于人体生理信号的监测和检测,如心电图、肌电图、体温等。
由于其柔性的特性,可以贴合人体表面,提供舒适的监测体验。
在智能穿戴设备方面,复合材料柔性传感器可以用于体感控制、运动监测和虚拟现实等领域。
在机器人技术方面,复合材料柔性传感器可以应用于人机交互、机器人手的感知和控制等方面,提高机器人的灵活性和感知能力。
目前,复合材料柔性传感器的研究主要集中在以下几个方向:1. 制备技术的改进:目前的制备技术主要包括喷墨打印、激光刻写、溶液加工等。
但这些技术在柔性传感器的制备过程中仍然存在成本高、制备周期长等问题。
需要开发新的制备技术,提高柔性传感器的制备效率和成本竞争力。
2. 传感材料的开发:复合材料柔性传感器的传感材料作为其灵敏元件的核心,其性能将直接影响传感器的感知能力和稳定性。
需要开发新的传感材料,提高传感器的灵敏度和稳定性。
3. 多功能传感器的研究:目前的复合材料柔性传感器主要具备单一感知功能,如压力感知、拉力感知等。
要实现更广泛的应用,需要开发具备多种感知功能的传感器,如温度感知、湿度感知等。
4. 能源供应的研究:复合材料柔性传感器通常需要外部供电或内置电池供电,而这些能源供应方式都有其不足之处。
需要开发新的能源供应方式,如太阳能供电、自体发电等。
复合材料柔性传感器具有广泛的应用前景,但目前仍然存在许多问题需要解决。
压力传感器的研究发展及应用前景压力传感器是一种用于测量物体的压力大小的传感器,它可以将物体的压力量转化为相应的电信号输出,常用于工业生产、生物医学、汽车等领域。
随着科技的发展,压力传感器的研究发展速度逐渐加快,在应用领域也越来越广泛。
一、压力传感器的研究发展历程压力传感器的研究历程可以追溯到19世纪,当时用于衡量蒸汽轮机的运转状态。
20世纪初,传感器技术得到了广泛应用,压力传感器也逐渐发展成为一种灵敏度高、精度高的传感器。
1950年代,压力传感器开始在航空航天领域得到广泛应用。
随着电子技术的发展,微型压力传感器越来越常见,使得传感器应用范围更加广泛化。
二、压力传感器的工作原理压力传感器的工作原理通常是通过将待测压力通过感应器进行转化进而得到输出信号。
常见的转换原理包括电阻测量原理、电容测量原理、压阻测量原理和毫微拉伸测量原理等。
三、压力传感器的应用领域(一)工业生产在工业生产领域,压力传感器应用极为广泛,被广泛应用于制造、航空、化工、水利、电力等领域。
例如,在造纸工业中,压力传感器用于测量纸浆的粘度;在石油化工领域中,用压力传感器来监测储罐内的压力等重要参数;在造船产业中,压力传感器被用于测试船舶的浮力和排水量。
(二)生物医学在生物医学领域,压力传感器常被用于药学和医学研究,如测量血压、呼吸、心脏跳动等生理指标。
如今,微电子技术的发展,使得微型压力传感器的使用更加广泛。
(三)汽车领域在汽车领域,压力传感器被广泛应用于汽车制动系统、排放系统、气囊系统等。
例如,在气囊系统中,压力传感器实时监测气囊内部压力,在发生碰撞时自动膨胀气囊以保护乘客安全;在 ABS 制动系统中,压力传感器监测制动系统中的油压,以调整制动力度。
四、压力传感器的未来发展方向(一)多重功能化。
随着智能制造、智能化城市与物联网的飞速发展,压力传感器的未来已经不仅仅局限于单一测量功能。
模拟信号转换、数据么采集、传输与处理将成为压力传感器未来的一个发展方向。
压力传感器行业报告一、行业概况。
压力传感器是一种能够将物理压力转换为电信号的装置,广泛应用于工业自动化、汽车制造、医疗设备、消费电子等领域。
随着全球经济的发展和科技的进步,压力传感器行业也得到了快速发展。
据市场研究机构统计,全球压力传感器市场规模已经达到数十亿美元,并且仍在持续增长。
二、市场需求。
1. 工业自动化领域对压力传感器的需求持续增长。
随着工业自动化水平的不断提高,压力传感器在工业生产中的应用也越来越广泛。
特别是在液体、气体等介质的压力监测和控制方面,压力传感器发挥着重要作用。
2. 汽车制造业对高精度压力传感器的需求不断增加。
随着汽车电子化、智能化的发展,汽车制造商对压力传感器的精度和稳定性要求越来越高。
在发动机控制、刹车系统、轮胎压力监测等方面,高精度压力传感器的需求持续增加。
3. 医疗设备领域对微型化压力传感器的需求增长迅速。
随着人们对医疗健康的重视,医疗设备的市场需求也在不断增加。
微型化、低功耗的压力传感器在呼吸机、血压监测仪、输液泵等医疗设备中得到广泛应用。
4. 消费电子领域对柔性压力传感器的需求逐渐增加。
随着可穿戴设备、智能手机等消费电子产品的普及,柔性压力传感器的需求也在逐渐增加。
柔性压力传感器可以用于手势识别、智能穿戴设备等领域。
三、技术发展。
1. 微纳加工技术的进步推动了压力传感器的微型化和集成化。
微纳加工技术的不断进步,使得压力传感器的制造工艺越来越精密,产品体积越来越小,性能越来越稳定。
2. MEMS技术的应用推动了压力传感器的发展。
微机电系统(MEMS)技术的应用,使得压力传感器在成本、功耗、体积等方面得到了进一步的优化,推动了压力传感器行业的发展。
3. 柔性电子技术的进步推动了柔性压力传感器的发展。
柔性电子技术的不断进步,使得柔性压力传感器在可穿戴设备、智能家居等领域得到了广泛应用。
四、市场竞争。
目前,全球压力传感器市场竞争激烈,主要厂商包括霍尼韦尔、艾默生、施耐德电气、欧姆龙等。
压力传感器八大发展趋势一、压力传感器产业化发展模式:要加速形成从传感器研究开发到大生产一条龙的产业化发展模式,走自主创新和国际合作相结合的跨越式发展道路,使我国成为世界传感器的生产大国。
二、传感器产品结构向全面、协调、持续发展。
产品品种要向高技术、高附加值倾斜,尤其要填补“空白”品种。
三、企业生产规模(年生产能力)向规模经济或适宜规模经济发展,量大面广的通用传感器的生产规模将以年亿只计,一些中档传感器的生产规模将以年产1000万只(含以上)计;而一些高档传感器和专用压力传感器的生产规模将以年产几十万只~几百万只计。
四、生产格局向专业化发展。
专业化生产的内涵为:1.生产传感器门类少而精;2.专门生产某一应用领域需要的某一类传感器系列产品,以获得较高的市场占有率;3.各传感器企业的专业化合作生产。
五、传感器大生产技术向自动化发展。
传感器的门类、品种繁多,所用的敏感材料各异,决定了传感器制造技术的多样性和复杂性,综观当前传感器工艺线的概况,多数工艺已实现单机自动化,但距离生产过程全自动化尚存在诸多困难,有待今后广泛采用CAD、CAM及先进的自动化装备和工业机器人,予以突破。
六、压力传感器企业的重点技术改造应加强从依赖引进技术向引进技术的消化吸收与自主创新的方向转移。
七、企业经营要加快从国内市场为主向国内与国外两个市场相结合的国际化方向跨越发展。
八、企业结构将向“大、中、小并举”、“集团化、专业化生产共存”的格局发展。
将压力转换为电信号输出的传感器。
通常把压力测量仪表中的电测式仪表称为压力传感器。
以及右图1简介:应变特点压力传感器的测量范围比电感式传感器大一倍,它不仅能检测金属目标,而且还能检测电介质,如纸、玻璃、木材和塑料等,甚至可以通过墙壁或纸壳进行检测。
由于人体在低频下相当于电导体,因此也出现了用于人的颤抖测量和防盗报警。
在测量构件应变时,直接将应变片黏贴在构件上即可,但若要测量力、压力、加速度等信号,应先将这些物理量转变成应变,然后用应变片测量,比直接测量时多了一个转换过程,完成这种转换过程的原件通常称为弹性原件,因此,应变式传感器通常由弹性敏感原件和应变计两部分构成。
复合材料柔性传感器及其发展趋势一、复合材料柔性传感器的概念和特点1.1 柔性传感器的概念传感器是一种可以感知、检测和处理信息的设备,它的应用范围非常广泛。
而柔性传感器是一种可以弯曲和拉伸的传感器,它可以适应各种曲面形状,因此在医疗、健康监测、智能穿戴等领域有着广泛的应用前景。
复合材料是由两种或者两种以上的材料组合而成的新材料,具有优异的性能,例如高强度、轻质等。
复合材料柔性传感器结合了柔性传感器和复合材料的特点,具有以下特点:1) 可塑性强:复合材料柔性传感器可以根据需要进行设计制造,适应多种复杂表面形状的要求。
2) 轻薄柔软:复合材料柔性传感器采用柔性材料制造,具有轻薄柔软的特点,适合在医疗、健康监测等领域使用。
3) 优越的性能:复合材料本身具有优越的性能,如高强度、耐热、耐腐蚀等,在传感器的应用过程中可以发挥良好的作用。
2.1 医疗领域复合材料柔性传感器在医疗领域有着广泛的应用前景。
可以用于人体姿势监测、呼吸监测、心率监测等,实现对患者健康状况的实时监测。
2.2 智能穿戴领域随着智能穿戴设备的不断普及,复合材料柔性传感器也在智能穿戴领域得到了广泛应用。
在智能手环、智能手表、智能鞋垫等产品中都可以看到复合材料柔性传感器的身影,实现了对用户行为和生理状态的监测。
2.3 工业自动化领域在工业自动化领域,复合材料柔性传感器也有着重要的应用价值。
在机器人的触觉感知、物体姿态监测、生产过程的实时监测等方面都可以使用复合材料柔性传感器。
除了上述几个领域,复合材料柔性传感器还可以在运动健身、虚拟现实、环境监测等领域得到广泛应用。
目前,复合材料柔性传感器已经在多个领域取得了一定的应用成果。
美国麻省理工学院的研究人员研制出了一种由碳纳米管和聚合物复合而成的柔性传感器,可以实现对肌肉运动的监测。
国内外的多家研究机构也都在复合材料柔性传感器的研究和开发方面取得了一定的进展。
当前,复合材料柔性传感器存在一些技术挑战和发展瓶颈,如制备工艺复杂、生产成本高、稳定性和可靠性有待提高等。
航 天 器 环 境 工 程 第26卷增刊112 SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING 2009年12月
柔性阵列式压力传感器的发展现状简介 杨 敏,陈 洪,李明海 (中国工程物理研究院总体工程研究所, 绵阳 621900)
摘要:文章在介绍柔性阵列式压力传感器工作原理的基础上,概述了其国内外发展现状。着重介绍了美国Tekscan公司开发的基于矩阵的传感器技术和应用实例,以及中科院合肥智能机械研究所有关柔性传感器的研究现状、产品的性能指标等。文章的工作旨在为层合结构预紧接触压力/间隙测量选择有效、可行的测量系统。 关键词:压力传感器;柔性阵列;接触压力测量 中图分类号:V416.2 文献标识码:A
1 引言 物体间接触应力的测量与分析在许多行业的研究和发展中起着极其重要的作用,接触应力的理论与试验研究也一直是工程和力学的热门课题[1]。由于接触应力的理论分析很难准确,定量地应用于实际问题也有难度, 因而研制设计一种能直接测定接触界面力学参数的装置,实时地测量2个物体在接触面上的压力和应力的分布信息具有重要的意义。 柔性阵列式压力传感器,可用于任意2个柔性或柔/刚接触面表面作用力的分布检测,一般为平面结构。它不仅具有普通阵列式传感器的优点,还具有良好的柔韧性,可以自由弯曲甚至折叠,能够方便地对复杂表面形状的零件进行检测,广泛应用于接触式测量、无损检测、机器人、生物力学等领域[2]。
2 柔性阵列式压力传感器工作原理 柔性阵列式压力传感器属于电阻式传感器,其工作原理与普通电阻式传感器基本相同。即接触力作用在力敏电阻元件上,力敏电阻元件将物理量转化为电阻变化,通过变换电路又转换为电压变化从而得到相关的力信息[3]。现以美国Tekscan公司所研
制的柔性阵列式压力传感器为例,对其工作原理进行简单介绍。标准的Tekscan压力传感器由2片很薄的聚酯薄膜组成,一片薄膜的内表面铺设若干行的带状导体,另一片内表面铺设若干列的带状导体;导体本身的宽度以及行间距可以根据不同的测量
需要而设计;导体外表有特殊的压敏半导体材料涂层。当2片薄膜合为一体时,大量的横向导体和纵向导体的交叉点就形成了压力感应点阵列。当外力作用到这些感应点上时,半导体的阻值会随外力的变化而成比例变化,由此来反映感应点的压力值。当压力为0时,阻值最大;压力越大,阻值越小,从而可以反映出两接触面间的压力分布情况。通过扫描和测量每一个施力单元的电阻变化,确定表面力的幅值和时间特征,使用Tekscan的配套分析软件,得到实时二维或三维图像。传感器结构见图1,测量电路见图2[4]。
图1 Tekscan传感器结构 图2 测量电路简图 杨 敏等:柔性阵列式压力传感器的发展现状简介 113 3 柔性阵列式压力传感器国内外发展现状 3.1 概述 国外于20世纪80年代开始对检测接触点和区域、接触截面形状、压力分布的触觉阵列进行研究,研制出了能检测对象形状、尺寸、有无、位置、作用力模式和温度的传感器。90年代发展到了高密度多阵列,柔性材料也成为了重要的研究方面。近年来已从单纯的传感器设计研制发展成为对涉及触觉传感、控制、信息处理等较复杂的系统及其过程的研究,并在传感器柔性力敏材料、新型制造工艺和多功能传感器的研究等方面取得了较大进展[5-8]。Dargahi等[9]利用硅条和PVDF膜构成的夹
层构造研制了一种用于腹腔镜外科的微加工压电触觉传感器。Gray等[10]用表面微机械加工技术研
究了具有高分辨率的微触觉传感器阵列。Harris等对富士测压薄膜(Fuji pressure sensitive film)进行了研究,结果表明:富士测压薄膜具有方便及可接受的精度,成为测量关节表面接触面积及应力普遍使用的工具。但富士测压薄膜的生物力学的测量误差达到10%~15%,并且不能进行数据的实时测量和分析[11,13]。
我国关于柔性阵列式压力传感器的研究开始于1987年,在863计划支持下,90年代初在此研究上取得了进展。东南大学实现了压阻式16×16触觉敏感阵列及其数据处理和触觉图像识别。北京理工大学研制了有接触觉、滑觉和触觉图像识别功能的传感系统。杭州电子工业学院研制了用于多传感器手爪的接近觉、接触觉、滑觉复合传感器。中国科学院合肥智能机械研究所(下简称合肥智能所)、东南大学、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中理工大学、北京信息学院等都做了各有特色的研究。如罗志增等[14]用各向异性压阻材料CSA研究
了一种高分辨率柔性阵列力传感器。李铁军等[15]
采用由柔性硅橡胶与导电橡胶制成的整体薄膜作表皮,在皮下结合充满电流变流体的绝缘体泡沫结构研制了新型电流变流体柔顺触觉传感器。毛毳等研制了碳膜压力传感器(敏感面积2 mm×3 mm,厚0.9 mm,工作温度范围15~300 ℃,灵敏度小于 1 MPa),可测铁基形状记忆合金管接头与被连接管
的接触应变场。陈祥林等[16]采用柔性印刷电路板工
艺以高性能聚酰亚胺薄膜为基底材料,制作了一种 超薄柔性电涡流传感器阵列及其测试系统,以实现大面积曲面间微小间隙的测量。其制作的传感器阵列,整体平面尺寸达到400 mm×200 mm,厚度不超过0.15 mm,单个敏感线圈的外径为10 mm,实测的线圈电感值约为1 µH,电阻值约为2.5 Ω。由于传
感器探头很薄而且是柔性的,使得它几乎能应用于任意几何形状形面的测量。试验结果表明:在2 mm的量程范围内,传感器的测量精度为±5%。金观昌等[17]应用新型导电橡胶材料的电阻-力特性研
制了16×16点阵接触力传感器(厚0.5 mm)及计算机测量系统用于牙齿咬合及关节接触的动态测试。 总之,经过30年特别是近10年的发展,阵列式柔性传感器的技术已经开始成熟,越来越广泛的应用于现代生物、医学工程,微机械加工与装配等工程[18-21]中。这里仅以美国Tekscan公司和合肥智能
所有关研究为例,对柔性阵列式传感器的研究现状、产品的性能指标等进行进一步介绍。 3.2 美国Tekscan公司的相关研究[22-25]
美国Tekscan公司研制出一种快速、精确、高效、直观的压力分布测量系统。其独特之处在于其专利技术——柔性薄膜网格传感器。Tekscan生产接
触力、压力测量系统,包括数据采集系统、带有数据显示的分析软件、压力或力传感器。测量系统的核心是其取得专利的接触力传感器,它是一种基于矩阵的压力传感器。 Tekscan最小的测试单元为0.14 mm
2,可以制作
1 600 cm2超过100 000个测试单元, 其虚拟系统结
构可以将几个传感器构成一个整体。Tekscan传感器可以制成不同的形状、大小和空间分辨率,压力测量范围由0~15 kPa到0~175 MPa不等。根据试件的尺寸特征,Tekscan提供最佳的匹配、空间分辨率及压力量程。 Tekscan开发了用于工业(I-scan)、医学(K-scan)、牙科及Flexiforce等系列测量系统。图3是K-scan系统用于膝关节成形术试验[3]。
减小刹车噪音、振动是设计者面临的挑战,I-scan系统测量接触面的压力分布,评估作用于刹车片和转毂之间的动态力,见图4。 114 航 天 器 环 境 工 程 2009年第26卷增刊 图3 K-scanTM系统用于膝关节成形术试验
图4 I-scan在刹车结构压力测量中的应用 引擎设计者必须确保引擎燃烧口正确密封,为此要决定引擎材料、螺栓、扭矩等,I-scan系统可以测量引擎密封处的动态压力分布(图5)。 Tekscan还开发了GripTM系统测量和评估手在
抓物时的静、动态压力和合力(图6)。
图5 I-scan在引擎压力测量中的应用 图6 Tekscan的GripTM系统
3.3 合肥智能所的相关研究 合肥智能所在多项国家科研计划的支持下,先后研制了基于MEMS工艺平台的多维力触觉传感器,在机器人手爪触觉信息获取方面处于国内领先地位。基于具有自主知识产权的压敏导电硅胶和压阻电子浆料的柔性阵列压力传感器,开创了局部压力分布测量这一新的研究方向,在机器人精密装配作业、机电部件密封和配合性能测试等领域得到了良好的应用。通过柔性阵列传感器和塑胶材料的复合成型工艺,研制了数字跑鞋、足蹬压力检测分析仪、步伐敏捷度测试仪和数字跑道单元模板。由于采用独创的印刷和柔性成型工艺,批量生产后成本将远低于国外产品。 该所研制的柔性压力传感器阵列基本单元最大尺寸可达到1 m×1.2 m,点阵密度为4个压力敏感点/cm2,单点采样频率250 Hz,压力综合测量误
差≤5%F.S.,测量范围是10 ~5
000 kPa。根据客
户不同需要可定制各种形状、各类量程、不同厚度、不同尺寸的柔性压力传感器产品,厚度从0.1~0.5 mm,量程从400~5 000 kPa,面积从2.5×10-5~1 m2,
形状可为长方形、圆形、圆环形或其他可展开的任意平面形状,可以检测回转曲面作用力。图7为合肥智能机械研究所研制的阵列触觉传感器实物照片。
图7 阵列触觉传感器实物照片 4 讨论与展望
柔性阵列式压力传感器具有薄、柔软的特点,提供了测试接触面的接触应力、压力及其分布的技术手段,也为研究曲面球壳之间的接触特性提供了可能的途径,故可选择作为层合结构预紧接触压力/间隙测量系统。目前,柔性阵列式压力传感器正沿着功能多样化、材料新型化、系统复杂化的道路前进。 由于柔性传感器的工作范围由传统领域日益扩展到非传统领域,其长期可靠性、温湿度稳定性、