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一、气敏电阻传感器
气敏电阻是一种半导体敏感器件,它是利用气体的吸附而使 半导体本身的电导率发生变化这一机理来进行检测的。人们 发现某些氧化物半导体材料如SnO2、ZnO、Fe2O3、MgO
、NiO、BaTiO3等都具有气敏效应。 气敏电阻工作原理:
气体的成分、浓度等参数变化 ↓
直热式的加热丝兼作电极。 其结构简单、 成本低、 功耗 小; 但热容量小, 易受环境气流影响; 因加热丝热胀冷缩, 易使之与材料接触不良; 在测量电路中, 信号电路和加热电 路相互干扰。间接式加热丝和电极分立,有好的稳定性。
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(2) 温湿度特性: SnO2传感器的阻值随温度、 湿度上 升而有规律地减小。 因此除尽量保持恒温、 恒湿外, 其有效
该类气敏元件通常工作在高温状态(200~450℃), 目 的是为了加速上述的氧化还原反应。
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(1) 气敏特性:遇H2、CO、碳氢化合物等(还原性即可 燃性)气体, 材料表面层电阻率减小;遇O2等氧化性气体时, 材料表面层电阻率增大。在检测前,材料表面已经吸着氧, 所 以对可燃性气体更敏感。最佳工作温度一般多在200~500℃ 范围内。为使传感器能在这样高的温度范围内稳定工作,具有 高温稳定性的半导体材料只有金属氧化物,常见的是SnO2和 ZnO。
(4)
烧结型气体传感器主要用来检测甲烷、丙烷、一氧化碳、 氢气、 酒精、 硫化氢等。
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例如, 用氧化锡制成的气敏元件, 在常温下吸附某种气 体后, 其电导率变化不大, 若保持这种气体浓度不变, 该器件 的电导率随器件本身温度的升高而增加, 尤其在 100~300℃范围内电导率变化很大。显然, 半导体电导率 的增加是由于多数载流子浓度增加的结果。