半导体气敏器件的分类
一、 电阻型半导体气敏器件
适宜制作半导体气敏传感器的材料主要是氧化物。 由于半导体材料的特殊性质,气体在半导体材料颗粒表 面的吸附可导致材料载流子浓度发生相应的变化,从而 改变半导体元件的电导率。由氧化物半导体粉末制成 的气敏元件,具有很好的疏松性,有利于气体的吸附,因此 其响应速度和灵敏度都较好。通常所指的氧化物半导 体气敏传感器,就是由粉末状氧化物经烧结或沉积而制 成的。
产生电阻值变化使电桥失去平
待测气体
衡。电桥输出信号的大小反映
被测气体的种类或浓度。
11.2 接触燃烧式气敏传感器 接触燃烧式气敏传感器结构与测量电路原理如图
铂金等金属线圈埋设在氧化催化剂中便构成接触燃烧式气敏 传感器
一般在金属线圈中通以电流,使之保持在300~500℃的高温状 态,当可燃性气体与传感器表面接触,燃烧热进一步使金属 丝温度升高,从而电阻值增大。其电阻值增量为:
1.表面电阻控制型气敏器件
它是利用半导体表面因吸附气体引起半导体元件 电阻值变化特性制成的一类传感器。多数是以可燃性 气体为检测对象,但如果吸附能力很强,即使是非可燃性 气体也能作为检测对象。这种类型的传感器,具有气体 检测灵敏度高、响应速度比一般传感器快、实用价值 大等优点。
表面电阻控制型半导体气敏器件的工作原理,主要 是靠表面电导率变化的信息来检验被接触气体分子。 因此,要求做这种器件的半导体材料的体内电导率一定 要小,这样才能提高气敏器件的灵敏度。
目前常使用的ν-Fe2O3气敏器件,其结构如图8.49所示。 (氧化物 半导体,由于化学反应强而且容易还原的氧化物,在比较低的 温度下与气体接触时晶体中的结构缺陷就发生变化,继之体电 阻发生变化,因此,可以检测各种气体)