催化燃烧式气体传感器的原理源自宏观的气体传感 器,主要用于甲烷, CO等易燃易爆气体检测领域。通过 MEMS技术将催化剂制做为薄膜,对其加热。当空气中有易 燃易爆气体存在时,气体分子在催化剂表面发生催化氧化 反应(catalytic oxidation reaction),并放出热量。经 过热敏元件将温度变化转换为电信号,与参比薄膜进行比 对得到气体体积分数变化,热敏元件常用热敏电阻器,常用 催化剂有氧化Pd, Pt等。MEMS工艺实现催化剂薄膜化、 微型化,并对加热电极、热敏元件进行集成,从而有效减小 传感器的体积。
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注:ppm/一百万体积的空气中所检测物的体积数
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1. 2 气体光谱法
气体的光谱效应有吸收光谱法(absorption
spectroscopy )、荧光光谱法( fluorescent
spectrometry )和拉曼光谱法( raman spectrometry )
。MEMS气体光谱仪的核心元件是可调节光学滤镜( Bragg
金属氧化物(如, ZnO, SnO, TiO2 ) ,还有掺杂有机高分子聚 合物对特定的一类气体有溶解吸附效应(Solution adsorption effect),称其为气体敏感材料(Gas sensitive materials )。气体敏感材料吸附了气体分子以后,其材料特 性会发生物理化学变化,如,电阻率改变、热效应出现、密度 改变等。对于这一原理的应用,也是MEMS气体传感器的一大 研究方向。 2.1声表面波(SAW Surface Acoustic Wave)型气体传感器
气体的光声效应(photoacoustic spectroscopy)早在1880 年就由贝尔发现,但直到20世纪80年代,随着激光器和高灵敏麦克 风技术的成熟, 才在气体传感器领域得到研究。