多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响
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多光子过程在激光物理中的应用激光技术作为一种重要的现代科学技术,在众多领域都得到了广泛的应用,而其中多光子过程作为激光物理研究的重要一环,在近年来也引起了越来越多的关注。
多光子过程是指在激光与物质相互作用时,需要吸收多个光子才能发生的过程。
本文将探讨多光子过程在激光物理中的应用。
首先,多光子过程在生物医学领域的应用是较为广泛的。
通过选择合适的激光参数,可以实现光线的局部聚焦,使激光能量在组织中高度集中,从而实现对细胞和组织的精确操纵和干预。
例如,通过多光子激发荧光技术,可以实现对生物标记物的高分辨率成像。
这项技术已经在医学诊断中得到了广泛应用,使得医生能够更加准确地检测出疾病的发生和发展。
其次,多光子过程还在材料科学和光子学领域发挥着重要作用。
传统的材料加工方法受到限制,很难实现对微尺度的结构加工,而多光子聚合技术则可以实现对微纳结构的高精度加工。
这种技术已经成功应用于制备微型光学元件、微机械结构以及光子晶体等。
此外,多光子激光加工还具有非接触、高精度、高效率等优势,使其在光子学领域得到广泛的应用。
另外,多光子过程还在量子信息处理、量子计算等领域发挥着重要的作用。
在经典计算机中,信息的传递和处理是通过逻辑门来实现的,而在量子计算中,多光子过程提供了一种全新的思路。
通过控制多光子激发过程的参数,可以实现对量子位的精确操纵和测量,从而实现量子信息的传递和处理。
这种新型的计算方式具有高速、高效的特点,对于解决复杂问题具有重要意义。
最后,多光子过程还在光谱学和光化学研究中发挥着重要作用。
光谱学研究中,多光子激发能够提供更高的激发能量和更宽的激发波长范围,因此可以实现对高能态和短寿命物种的激发和检测。
光化学研究中,多光子过程可以实现对光化学反应的精确控制,从而实现高选择性和高效率的反应。
这些在光谱学和光化学研究中的应用,推动了这些领域的发展。
总之,多光子过程作为激光物理研究的重要一环,在各个领域都显示出了广阔的前景和应用潜力。
激光处理微结构特征研究激光处理是一种通过高密度能量的激光束对材料表面进行处理的技术。
它已被广泛应用于材料加工、光学器件制造、医疗设备以及微电子等领域。
激光处理可以改变材料的表面性质和微结构特征,从而使其具有更好的性能和功能。
本文将探讨激光处理对微结构特征的影响以及相关的研究进展。
激光处理对微结构特征的影响主要包括表面形貌、晶体结构和化学成分等方面。
首先,激光处理可以改变材料的表面形貌。
通过调节激光处理的参数,如激光功率、脉冲宽度和扫描速度等,可以实现材料表面的凹凸、光滑或者多孔化。
例如,激光打磨可以用于抛光金属表面,使其具有更好的光亮度和平滑度。
激光织网则可以在聚合物表面形成微米级的通道,提高材料的渗透性和涂覆性能。
此外,激光处理还可以利用熔融和再凝固过程形成不同的表面形貌,如凝胶体表面、蜂窝状结构和球囊纳米颗粒等,这些形貌特征可以赋予材料独特的性质和应用。
其次,激光处理对材料的晶体结构也有影响。
通过激光诱导的熔融和快速冷却过程,可以改变材料的晶体取向和晶界结构。
例如,激光处理可以用于表面合金化,在金属基体表面形成具有不同晶体结构和成分的合金层。
激光化学气相沉积则可以用于生长纤维状晶体结构的材料,如二硫化钼纳米线。
此外,激光处理还可以用于调控材料的晶体取向和晶界结构,改变材料的力学性能、磁性和电学性能等。
最后,激光处理还可以改变材料的化学成分。
激光可以通过光解、熔融或者表面反应等方式引发材料的化学反应,从而改变其化学成分。
例如,利用激光诱导的光化学反应,可以实现氮化和氧化等表面改性过程,从而提高材料的耐磨性、耐腐蚀性和生物相容性。
此外,激光还可以用于抗菌表面的制备,通过激光辐照杀灭表面微生物,从而提高材料的卫生性能。
针对上述激光处理对微结构特征的影响,已开展了大量的研究。
研究人员通过理论模拟和实验测试等手段,研究不同材料在不同激光处理条件下的微结构变化规律。
例如,利用有限元分析方法可以模拟激光对金属材料表面形貌和应力场的影响,进而预测材料的疲劳寿命和力学性能。
激光制造技术在微纳制造中的应用研究激光制造技术作为一种高精度、高效率的制造方法,被广泛应用于各个领域中。
在微纳制造领域,激光制造技术凭借其非接触性、高精度和可控性等优势,成为一种主要的制造工艺。
本文将从激光微纳加工和激光微纳制造两个方面,探讨激光制造技术在微纳制造中的应用研究。
激光微纳加工是指利用激光器将激光束集中在微纳尺度上进行加工的过程。
激光微纳加工具有高精度、高灵活性和非接触性的特点,可以制造出具有微纳尺度结构的材料。
在材料加工方面,激光微纳加工可以实现对各种材料的切割、打孔、成型和表面处理等操作。
尤其在硬质材料和薄膜材料的加工方面,激光微纳加工表现出极大的优势。
对于硬质材料的加工,传统的机械切割很难实现高质量的加工效果。
而激光微纳加工可以通过调整激光的功率、脉冲宽度和扫描速度等参数,精确控制切割线的形状和尺寸。
此外,激光加工还可以实现对材料深度的控制,使得切割面光滑,无需二次处理。
在薄膜材料的加工方面,激光微纳加工可以实现对薄膜材料的表面刻蚀和微孔加工,为光学、电子和医学器件的制造提供了重要的技术支持。
此外,激光微纳制造还可以应用于三维打印技术中。
激光微纳制造技术结合了激光切割和激光烧结技术,实现了对粉末材料的精确控制和定向组装。
通过逐层烧结粉末材料,可以制造出具有复杂结构和高精度的三维物体。
与传统的制造方法相比,激光微纳制造具有更高的加工精度和更快的加工速度。
这种技术不仅可以应用于宝石、珠宝和模型等领域,还可以应用于生物医学、微机电系统和光子学等领域。
激光制造技术在微纳制造领域的应用研究不仅仅局限于材料加工和三维打印技术。
激光制造技术可以通过改变激光参数和加工方式,实现对材料组织和性能的调控。
例如,在材料改性方面,激光熔化、激光合金化和激光表面改性等技术可以实现对材料的硬化、强化和耐磨性的提高。
在微纳尺度结构的制备方面,激光光刻、激光脱附和激光烧结等技术可以实现对微纳尺度结构的精确控制和组装。
激光加工对金属材料性能与表面质量影响机理激光加工作为一种高精度、高效率的加工方式,在金属材料加工领域得到了广泛的应用。
激光加工对金属材料的性能与表面质量具有重要影响,本文将重点探讨激光加工对金属材料性能与表面质量的影响机理。
首先,激光加工对金属材料性能的影响主要表现在以下几个方面。
1. 材料硬度:激光加工能够使金属材料发生显著的相变,从而改变其内在结构和晶格缺陷。
通过调节激光加工参数,可以实现对材料硬度的精确控制。
2. 材料强度:激光加工可以通过改变材料表面的残余应力分布,提高金属材料的强度。
激光加工还可以产生细小的晶粒和块状碳化物等强化相,进一步提高材料的力学性能。
3. 刚性与韧性:激光加工可以调控金属材料的晶格缺陷、晶界、析出相等微观结构,从而改善材料的刚性和韧性。
例如,激光合金化可以增加材料的塑性,提高材料的抗冲击性能。
其次,激光加工对金属材料表面质量的影响机理主要包括以下几个方面。
1. 表面粗糙度:激光加工通过调节激光功率、扫描速度等参数,可以实现对金属材料表面粗糙度的控制。
激光加工能够去除材料表面的氧化层、油污和粗糙微观结构,实现表面的光洁化。
2. 表面硬度:激光加工能够在金属材料表面形成淬火层,提高材料的硬度。
通过控制激光加工参数和扫描路径,可以实现对材料表面硬度分布的调控。
3. 表面残余应力:激光加工过程中,材料表面会受到激光能量的瞬时加热和快速冷却的影响,引起残余应力的积累。
激光加工可以通过改变激光功率密度和扫描路径,控制材料表面残余应力的分布。
4. 表面化学成分:激光加工可通过表面熔化和重新凝固的过程,改变金属材料表面的化学成分。
例如,激光表面合金化可以使金属材料表面富含特定金属元素,增加材料的耐腐蚀性。
总结起来,激光加工对金属材料的性能与表面质量影响机理主要包括调控材料的内在结构和晶格缺陷,改变材料的力学性能,以及控制材料表面的粗糙度、硬度、残余应力和化学成分等因素。
合理选择激光加工参数和加工工艺,对于实现对金属材料性能与表面质量的精确控制具有重要意义。
多光束干涉技术在微纳加工中的应用研究多光束干涉技术是一种近年来快速发展的微纳加工技术,其在微电子、微机电系统、光电器件等领域中得到了广泛的应用。
本文主要介绍多光束干涉技术的基本原理,以及其在微纳加工中的应用研究。
一、多光束干涉技术的基本原理多光束干涉技术是一种基于光电子技术和干涉学原理的微纳加工技术。
多光束干涉技术利用激光束在光敏材料表面上形成的干涉条纹图案来实现微纳米尺度的加工,其基本原理如下:1.激光束的形成多光束干涉技术中所使用的激光源通常是以氩离子激光器和氦氖激光器为主,激光束的波长一般在350nm~830nm之间。
激光束在经过调整后,会被分成几个被动相干的光束,这些被分离的光束与主光束的相位关系是可控的,因此可以在光敏材料表面上形成一系列可调控的光条纹。
2.光敏材料多光束干涉技术中使用的光敏材料通常是光敏树脂,其具有高度的敏感性和良好的耐久性,可用于制备微纳米结构,并使其成为一个具有真实几何形状的结构。
通过控制光束的光强和相位关系,可以在光敏材料表面上形成各种形状的干涉图案,进而实现微米或纳米级的加工。
3.光束的调整与照射在多光束干涉技术中,光束的调整是关键的一步。
通过使用光学系统,可以调整光束的位置、方向和相位关系。
而在进行光照时,通常使用掩模板或者需要进行加工的物体本身上具有的反射性调节光束的照射情况。
需要注意的是,在进行微纳加工时,光束的能量密度和照射时间需要控制在一定的范围内,以免导致光敏材料烧损或不完整。
二、多光束干涉技术在微纳加工中的应用研究1.微光学器件制备多光束干涉技术作为光学器件制备的一个重要工具,其被广泛应用在微光学器件制备中。
例如,使用多光束干涉技术可以制备出各种微型光学器件和结构,如微镜片、微透镜、微光栅、微棱镜等。
同时,多光束干涉技术还可以制备一些微纳米结构,如二维和三维纳米点阵等。
2.光子晶体的制备光子晶体是一种具有光学反射或透射带隙的结构,其具有很好的全反射、全透射和波导等光学特性。
激光测量仪器的微纳加工技术研究激光测量仪器的微纳加工技术研究是在现代科技发展的背景下,针对激光测量仪器的制作和加工过程中面临的挑战和问题展开的一项研究。
激光测量仪器在各个领域起着至关重要的作用,如工业制造、医学、航天等。
为了提高激光测量仪器的精确度和可靠性,微纳加工技术成为研究的热点。
一、激光测量仪器的微纳加工技术简介激光测量仪器是利用激光器所发射的激光束通过反射、散射等方式进行精确测量的仪器。
而微纳加工技术则是通过激光光束对微米甚至纳米级尺寸的材料进行加工和处理的技术。
激光作为一种高能、高聚焦度、可控性强的光源,被广泛应用于微纳加工领域。
同时,激光可以通过多种方式与材料相互作用,如熔化、蒸发、刻蚀等,因此成为了激光测量仪器微纳加工技术的重要工具。
二、激光测量仪器微纳加工技术的研究内容激光测量仪器微纳加工技术的研究内容涉及多个方面,包括材料选择、激光参数调控、加工方式优化等。
1. 材料选择在激光测量仪器的微纳加工过程中,材料的选择是至关重要的。
一方面,材料的物理特性将直接影响激光与材料的相互作用效果。
另一方面,材料的稳定性、可加工性等也会对加工结果产生影响。
因此,研究者需要根据具体的加工需求选择合适的材料,并深入研究其特性以指导加工过程。
2. 激光参数调控激光参数的调控对激光测量仪器微纳加工技术的研究至关重要。
激光的功率、频率、脉冲宽度等参数的设定将直接决定加工效果。
例如,功率过高可能导致材料熔化、蒸发过度,而功率过低则难以完成精确加工。
因此,研究者需要对不同材料、不同加工需求下的激光参数进行优化和调节,以提高加工质量和效率。
3. 加工方式优化激光测量仪器微纳加工可以采用多种方式,包括点状加工、线状加工、面状加工等。
研究者需要根据具体加工需求选择合适的加工方式,并优化加工过程。
例如,对于复杂形状的加工,可以采用面状加工方式来提高加工效率;对于高精度要求的加工,可以采用线状加工方式来获得更精确的结果。
双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构贾雁鹏;郑美玲;董贤子;赵震声;段宣明【摘要】利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构.采用扫描电子显微镜(SEM)及选区电子能谱(EDS)对镀层进行了表征,当化学镀时间为15 min时,所得到的镀层厚度约为130 nm.对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定,实验结果表明,当电镀时间为35 min时得到的镀层电阻率约为80×10-9 Ω·m,仅为银块体材料电阻率16×10-9 Ω·m的5倍.利用这种方法,我们制备了总长度为28.75 μm、周期为2.93 μm的悬空金属弹簧结构,其中弹簧圈数为9圈,直径为6 μm,弹簧线分辨率为1.17 μm.文中所述的将双光子微纳加工技术与化学镀技术相结合的方法可以实现任意三维微金属结构与器件的制备,在微光学器件、微机电系统(MEMS)及微传感器等领域有着广泛的应用前景.【期刊名称】《影像科学与光化学》【年(卷),期】2014(032)006【总页数】8页(P542-549)【关键词】双光子微纳加工技术;化学镀;三维金属微纳米结构【作者】贾雁鹏;郑美玲;董贤子;赵震声;段宣明【作者单位】中国科学院理化技术研究所,北京100190;中国科学院大学,北京100049;中国科学院理化技术研究所,北京100190;中国科学院理化技术研究所,北京100190;中国科学院理化技术研究所,北京100190;中国科学院理化技术研究所,北京100190;中国科学院重庆绿色智能技术研究院,重庆400714【正文语种】中文金属微纳结构具有表面等离子体共振[1]等新颖的物理效应,在微纳米技术的研究中占据重要的地位。
它们在光学器件、纳米电路、化学生物传感器、医疗检测诊断及生物成像等方面有巨大应用价值。
目前常用的微纳加工技术有光学曝光技术[2]、电子束曝光技术[3]、聚焦离子束曝光技术[4]以及纳米压印技术[5]等。
飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术及其应用《飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术及其应用》1. 引言飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术是一种近年来备受关注的前沿技术,它具有精密、高效、无污染等优点,在材料加工、生物医学、光电子学等领域有着广泛的应用前景。
本文将从其原理、技术特点到应用领域进行深入探讨,希望能为读者带来全面、深入的了解。
2. 原理飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术是利用超短飞秒激光脉冲,通过光子倍增效应,实现对材料的高精度加工。
其原理是通过聚焦飞秒激光在材料表面产生高能量密度的离子激发区,进而发生电子云的非线性多光子吸收,最终实现微纳级的加工。
3. 技术特点飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术具有以下几个显著的技术特点:1) 高精度:由于采用飞秒激光,其脉冲时间极短,能够实现几纳秒甚至亚纳秒级别的加工精度;2) 无热损伤:飞秒激光能够在极短的时间内将材料加工,避免了热量传导导致的热损伤,保持了材料的原始性能;3) 无污染:在加工过程中不产生有害废料,对环境友好。
4. 应用领域飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术在各个领域都有着广泛的应用,主要包括但不限于以下几个方面:1) 材料加工:在微电子器件、光学器件、生物医学器件等方面有着重要的应用,能实现微米级别的加工精度;2) 生物医学:该技术能够实现对生物细胞的高精度加工和成像,对生物医学领域的发展有着重要的推动作用;3) 光电子学:在激光雷达、激光通信等领域有着重要的应用前景。
5. 个人观点飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术是一项具有巨大潜力的前沿技术,它将对材料加工、生物医学等领域产生深远的影响。
我个人认为,随着技术的不断突破和发展,飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术将会得到更广泛的应用,为人类社会的发展带来更多的可能性。
总结飞秒脉冲激光双光子微纳加工技术作为一种新型的加工技术,具有诸多优势和应用前景。
通过本文的探讨,相信读者已经对其原理、技术特点和应用领域有了更全面、深入的了解。
激光制备钢材表面纳米微结构的应用研究激光制备技术作为一种高精度、高效率、高品质的新型表面处理技术,在材料加工、光学器件制造和生物医学等领域广泛应用。
其中,在钢材表面纳米微结构制备方面,激光制备技术具有重要的应用价值。
一、激光制备钢材表面纳米微结构的原理激光制备钢材表面纳米微结构的过程是利用高功率、高能量密度的激光束对钢表面进行定向加热,并在极短时间内迅速冷却形成纳米微结构。
此过程中,激光束的参数、加热速度和冷却速度对微结构形态具有重要的影响。
二、激光制备钢材表面纳米微结构的优势相比传统表面处理技术,激光制备钢材表面纳米微结构具有以下优势:1. 立体加工能力强,可实现多轴动态控制和自由曲面加工。
2. 高加工精度和表面质量,可实现微米级甚至亚微米级的制造精度和表面光洁度。
3. 成本低且环保,无需其他化学试剂,能耗低且无废气、废水排放。
三、1. 表面耐蚀性增强通过激光制备钢材表面纳米微结构可改善材料表面的物理性能,从而显著提高钢材的抗腐蚀性能。
例如,高功率激光制备的不锈钢表面形成了一种类似于蜂窝状的纳米微结构,其表面可以有效防止化学腐蚀和电化学腐蚀的发生,具有良好的耐蚀性能。
此外,激光制备的紫铜表面亦可形成高密度的纳米晶团簇,并具有稳定的抗氧化性能。
2. 表面摩擦减少借助激光制备钢材表面纳米微结构,可以改变材料表面的表面形貌和化学组成,从而有效降低材料的摩擦系数。
例如,研究者通过利用激光制备技术,在钢材表面制备了一种纳米钎缝状的微结构,它的形貌与间隔之间的间距和深度可被控制,实现了在不同压力下的摩擦力优化。
3. 表面自清洁性能提高激光制备钢材表面纳米微结构也可使材料表面具备一定的自清洁性。
例如,通过激光制备微结构,形成了类似于“莲花效应”的化学特性,使得液体在材料表面上形成一层很薄的湿层,将杂质带走,从而实现表面的自清洁。
四、展望虽然激光制备钢材表面纳米微结构已经取得了一定的研究进展,并在一些领域得到应用,但是还有很多问题需要解决。
激光加工对钛合金表面微观结构的影响第一章绪论1.1 研究背景和意义钛合金具有优良的力学性能、抗腐蚀性能和生物相容性,近年来被广泛应用于航空航天、医疗健康和汽车等领域。
然而,由于其高强度和高硬度等特性,钛合金的加工难度大,传统加工方法常常存在加工难度大、加工质量难以保证等问题。
因此,如何提高钛合金加工效率和加工质量一直是研究的热点。
1.2 论文的目的和内容本论文旨在研究激光加工对钛合金表面微观结构的影响,通过分析激光加工参数对钛合金表面形貌、晶粒大小、显微硬度等方面的影响,探讨优化激光加工工艺,提高钛合金加工效率和加工质量。
第二章激光加工对钛合金表面微观结构的影响2.1 激光加工原理激光加工是利用激光束对材料进行热作用的一种现代加工技术。
激光束能够高度聚焦、高功率、高能量密度照射到工件上,使其表面瞬间蒸发、溶解或烧蚀,从而实现加工目标。
2.2 激光加工参数激光加工过程中,激光加工参数的选择对加工效果至关重要。
常见的激光加工参数包括激光功率、扫描速度、脉冲频率、脉冲宽度等。
2.3 钛合金表面微观结构的影响激光加工能够对钛合金表面的微观结构产生影响,主要表现在以下几个方面:(1)表面形貌。
激光加工过程中,钛合金表面会产生熔池和抛光区,形成不同的形貌特征。
熔池表面光滑,抛光区表面较粗糙。
(2)晶粒大小。
激光加工会对钛合金晶粒大小产生影响,通常有两种情况:一是晶粒细化,即晶粒大小减小;二是晶粒粗化,即晶粒大小增大。
(3)显微硬度。
激光加工对钛合金的显微硬度也会产生影响,一般来说,激光加工后钛合金的显微硬度会增大。
第三章激光加工优化工艺3.1 优化激光功率激光功率是影响激光加工效果的重要因素之一。
过低的激光功率会导致无法达到所需加工深度,过高的激光功率会导致表面较大的热影响区和氧化层,对表面质量和机械性能产生不利影响。
因此,需要根据不同的工件和加工要求选择合适的激光功率。
3.2 优化扫描速度扫描速度是指激光在工件表面的扫描速度,也是影响加工效率和加工质量的重要因素之一。
多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响Effects of Laser Scanning Conditions on MetallicMicro/Nanostructures in Multiphoton Nanofabrication靳 伟1,2,董贤子1,赵震声1,段宣明1(1中国科学院功能晶体与激光技术重点实验室,北京100190;2中国科学院研究生院,北京100190)JIN Wei 1,2,DONG Xian-zi 1,ZHAO Zhen-sheng1,DUAN Xuan-ming1(1Key Laboratory of Functional Crystals and Laser Technology,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China;2Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China)摘要:研究了飞秒激光多光子还原制备银微纳结构技术中激光扫描条件对金属微纳结构与形貌的影响。
结果表明:增加激光扫描点间距d可获得较小线宽,延长曝光时间t使线条变宽,增加扫描次数N可使金属微纳结构表面银纳米粒子熔融凝固成较大尺寸颗粒及块状物。
关键词:多光子纳米加工;多光子光化学还原;金属微纳结构中图分类号:TN203 文献标识码:A 文章编号:1001-4381(2011)12-0058-05Abstract:The influences of laser scanning conditions on the silver micro/nanostructures in multipho-ton photoreduction of metallic micro/nanostructures and morphology using femtosecond laser were in-vestigated.The results indicated that increasing the distance between scanning points(d)could makethe width of lines become smaller and extending the exposure of time(t)could make the lines broade-ning.Furthermore,the increasing of scanning times(N)led to the formation of large silver particlesand lumps on the structures due to the fusion of silver nanoparticles which on the surface of metallicmicro/nanostructures.Key words:multiphoton nanofabrication;multiphoton photoreduction;metallic micro/nanostructure 作为激光直写加工技术之一的多光子加工技术近年来获得了飞速的发展[1]。
多光子加工技术是基于光学非线性效应之一的多光子吸收原理,利用多光子吸收具有阈值效应这一特点,通过加工激光功率的控制,使所加工材料产生多光子吸收的范围控制在亚波长范围,从而达到实现纳米尺度加工的目的。
Kawata S[2]利用波长为800nm的近红外飞秒激光作为加工光源,以光刻胶作为加工对象材料,首次突破衍射极限,实现亚波长尺度加工以来,多光子纳米加工技术受到广泛重视,国内外科学家开展了大量的研究工作,已实现了50nm的加工分辨率[3,4]。
与此同时,多光子纳米加工技术所具备的三维微纳结构加工能力,使其在三维微纳器件[5,6],微纳机电系统[7,8],微纳流控系统[9]等微纳技术领域具有独特的优势与应用前景。
进行功能材料的多光子微纳结构加工是实现功能性微纳器件的关键所在。
目前,在利用光刻胶制备各种二维及三维微纳结构的同时,也开展了基于聚合物材料的各种功能性三维微纳结构的多光子加工研究[10-12],已制备出了各种光子学器件[13-15]和微流控系统[16,17]。
利用多光子纳米加工技术制备金属微纳结构的研究也受到了重视,已利用双光束干涉多光子光化学还原加工技术制备出了金纳米线阵列结构[18],利用激光扫描多光子光化学还原加工技术制备出了金属银门形结构和倾斜立圆柱等微尺度三维结构[19,20]。
曹耀宇[21,22]等在AgNO3水溶液中加入表面活性剂控制金属银纳米粒子尺寸,通过激光扫描多光子光化学还原加工技术获得了线宽120nm的银纳米线结构,并制备出了直径为180nm的银柱和三维金字塔结构。
上述金属微纳结构均是由连续的金属纳米粒子所组成,其松散的结构可能导致微结构力学性能及电学性85 材料工程/2011年12期 能的降低。
通过激光加工条件的优化,有可能使金属微纳结构获得进一步的改善,提高其力学及电学等特性。
但是,目前尚未对激光扫描多光子光化学还原加工技术中激光扫描条件对金属微结构的尺度与形貌的影响进行详细研究。
本工作采用逐点扫描的方式研究了多种激光扫描条件对金属微纳结构的影响,探讨了激光扫描多光子光化学还原加工技术制备金属微纳结构中激光加工条件对金属微纳结构尺寸与形貌的影响与控制。
1 实验由硝酸银与氨水生成的银氨络离子水溶液作为光化学还原金属银的前驱体,样品中加入乙醇,添加柠檬酸钠(Na3C6H5O7)作为表面活性剂以达到对多光子光化学还原反应所获得的金属银纳米粒子尺寸进行控制的目的,加入对-N,N-二甲基苯乙烯基吡啶对甲苯磺酸盐(trans-4-[4-(dimethylamino)-N-methylstilba-zolium]p-tosylate,DAST)作为光敏剂以提高样品双光子吸收效率。
样品制备中所使用的化学原料均为化学纯试剂,使用前未进行处理。
将上述原料按表1所示进行化学计量,混合后获得银氨络离子浓度为0.07mol/L,脂肪酸钠的浓度为0.09mol/L的水溶液作为进行多光子光化学还原制备金属微粒结构的样品。
表1 样品的组成Table 1 Components of the sampleCompound AgNO3H2ONH3·H2OC2H5OHNa3C6-H5O7DASTMass/g 0.1818 2.6425 0.2014 1.2835 0.005 0.0004 利用自主研制的《纳米光子学超细微加工系统》进行多光子光化学还原金属微纳结构制备实验[5]。
该系统采用波长为780nm,重复频率为80MHz,脉冲宽度为100fs的钛宝石飞秒激光器(Spectra-Physics,Tsu-nami)作为多光子激光加工用光源。
激光束经显微物镜(100×1.4)聚焦后,入射到盛有上述含有银氨络离子水溶液的玻璃样品池内部,以进行多光子还原反应,制备金属微纳结构。
实验中使用二维振镜(Scanlab,HurrySCAN14)及一维Z轴压电微移动台(PI,P-622.ZCL)对激光焦点位置进行控制,采用逐点扫描方式[3]进行金属微纳结构制备。
当入射到样品池中的激光能量超过一定阈值时,激光焦点处出现被还原的银纳米颗粒,在激光焦点位于样品池玻璃表面时,所还原出的银纳米粒子被沉积在样品池玻璃表面,形成金属银微纳结构。
本研究中所使用的激光束在进入显微物镜前的平均功率均为4mW。
激光加工实验完成后,用乙醇对样品进行冲洗,去除未反应的样品后即可得到所制备的金属银微纳结构。
采用扫描电子显微镜对所制备的金属银微纳结构进行形貌观察,并测量金属银微纳结构的相关数据;利用计算机程序控制激光焦点及扫描条件,以考察激光扫描点间距(d),激光扫描点曝光时间(t)以及激光扫描次数(N)等加工参数对金属银微纳结构的影响。
2 结果与讨论2.1 逐点扫描点间距d对金属银微纳结构的影响固定每一扫描点的曝光时间t为12ms,在扫描点间距d为17,20,23,27nm的条件下进行一次激光扫描,以获得金属银线。
加工后所获得的金属银线的扫描电镜照片如图1所示。
可以看出,所获得的金属银线由尺寸数十纳米的金属银纳米粒子组成,其表面形貌相似。
图2为金属银线的线宽与激光扫描点间距d的关系图,可以看出,金属银线的平均线宽随激光扫描点间距d的增加而呈线性减小,从d=17nm时的507nm,逐步减小到d=27nm时的445nm。
在加工相同长度金属银线时,进行单位长度所需激光扫描的总曝光时间随激光扫描点间距d不断增大而减小,即曝光量随激光扫描点间距d增大而减小,所能够还原出的金属银的原子数亦随之不断减小,导致金属银纳米粒子的沉积量减小。
激光束通过多光子光化学还原反应在水溶液中所获得的金属银纳米粒子受到激光束的光压作用而聚集,沉积为金属银线。
在激光扫描点间距d增大的情况下,溶液中被还原出的金属银纳米粒子数量较少,导致在激光束作用下沉积出的金属银线线宽减小。
2.2 逐点扫描曝光时间t对金属银微纳结构的影响采用固定激光扫描点间距d,改变每一扫描点曝光时间t的方法,考察了所制备的金属银线的线宽及形貌。
图3是在固定激光扫描点间距d为23nm时,采用不同曝光时间t所获得的金属银线的SEM照片。
可以看出,随着每一扫描点曝光时间t的延长所还原出的金属纳米粒子的数量有较大幅度的增加,金属银线的线宽亦随之变宽。
同时,随着曝光时间t的增加,所制备出的金属银线的致密程度增加。
图4是金属银线线宽与曝光时间t之间的关系。
可知,金属银线的线宽随曝光时间t的增加呈线性增加趋势。
在曝光时间t=12ms时,金属银线的线宽为318nm。
而当曝光时间t延长到21ms时,金属银线线宽达到479nm。
以95 多光子纳米加工中激光扫描条件对金属微纳结构的影响图1 在激光扫描点间距d的影响下得到的金属银线的SEM照片(a)d=17nm;(b)d=20nm;(c)d=23nm;(d)d=27nmFig.1 SEM images of silver lines fabricated with the distance between laser scanning points(a)d=17nm;(b)d=20nm;(c)d=23nm;(d)d=27nm图2 金属银线线宽与d之间的关系Fig.2 Relationship between the width and dof silver lines上结果显示,延长曝光时间有利于制备出致密的金属银线。