｜ 电字工业苣用设备 趋势与展望
ＴＳＶ制程关键工艺设备技术及发展
魏红军，段晋胜
（中国电子科技集团公司第二研究所，山西太原０３００２４）
摘 要：论述了ＴＳＶ技术发展面临的设备问题，并重点介绍了深硅刻蚀、ＣＶＤ／ＰＶＤ沉积、电镀铜 填充、晶圆减薄、晶圆键合等几种制约我国ＴＳＶ技术发展的关键设备。
关键词：硅通孔；关键设备；铜填充
中图分类号：ＴＮ３０５ 文献标识码：Ａ 文章编号：１００４．４５０７（２０１４）０５—０００７—０５
Ａ Ｒｅｖｉｅｗ ｏｎ ＴＳＶ Ｋｅｙ－ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ
ａｎｄ Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ
ＷＥＩ Ｈｏｎｇｊｕｎ，ＤＵＡＮ Ｊｉｎｓｈｅｎｇ
（Ｔｈｅ ２ｎｄ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ ＣＥＴＣ，Ｔａｉｙｕａｎ ０３００２４，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ａｒｅ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ ａｂｏｕｔ ＴＳＶ ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ ｉｎ ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ ｂｒｉｅｆｌｙ．
Ｋｅｙ－ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｒｅ ｆｏｃｕｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ＤＲＩＥ、ＣＶＤ／ＰＶＤ ｃｏｐｐｅｒ ｆｉｌｌｉｎｇ、ｗａｆｅｒ ｔｈｉｎ ｗａｆｅｒ ｂｏｎｄｉｎｇ ｗｈｉｃｈ
ｉｓ ｒｅｓｔｒｉｃｔｉｎｇ ｉｎ ＴＳＶ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｉｎ ｏｕｒ ｃｏｕｎｔｒｙ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＴＳＶ（ｔｈｒｏｕｇｈ ｓｉｌｉｃｏｎ ｖｉａ）：Ｋｅｙ—ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｃｏｐｐｅｒ ｆｉｌｌｉｎｇ
随着半导体技术的发展，特征尺寸已接近物 理极限，以往通过减小芯片特征尺寸的方法已无
法满足消费类电子产品向更为智能、紧凑及集成
化方向发展的需求，基于ＴＳｖ的３Ｄ封装为业界
提供了一种全新的途径，能够使芯片在三维方向
堆叠的密度最大，芯片之间的互连线最短，外形尺 寸最小，大大改善芯片速度和低功耗的性能。
BUSINESS CULTURELARGE FIELD OF VISION .大视野
LARGE FIELD
OF VISION
大视野
文/颜文晶
现阶段的智能手机研发力度不
断提升.尤其是在显示屏的技术应 用上，针对LTPS液晶显示屏技术的
依赖性不断提升。相对而言.该项
技术的落实，能够在显示屏的清晰
度以及观感上得到更好的提升.比
传统的显示屏技术操作.可以更好
的提升视觉效果。与此同时，智能 手机在显示屏的各类功能要求上不 断的提升，应坚持对LTPS液晶显示
屏技术的研发.创新力度更好的提
升.文章就此展开讨论。从客观的角度来分析.LTPS液
晶显示屏技术的提出.应用，实现
了显示屏的有效运用，很多问题的
处置.解决.都能够在不同的思路上.做出良好的调整.各方面的工
作安排.能够由此来得到有效的进
步.但是对于显示屏来讲，该项技
术在未来的操作和调整.还是要充
分结合用户的各方面需求来完善.
最大限度的确保技术上的功能和参
数.得到有效的改善.创造出更高
的价值.
智能手机的发展现状
当前的科技行业发展速度不
断加快.智能手机成为了大众消费
者的必要性组成部分。结合以往的
工作经验和当下的工作标准.认为
智能手机的发展现状.主要是表现
在以下几个方面：第一.智能手机的需求量大幅度提升，刺激了技术 的增长和革新。智能手机所能够提
供的服务不断增加.同时与很多行
业都存在密切的关联，智能手机针
对百姓的生产.生活也能够产生
特别大的影响。因此.现阶段的很
多智能手机.在液晶显示屏的追求
过程中.开始通过人性化的方式.
方法来设定.希望能更好的提升屏
幕的清晰度.色彩显示效果以及显
示稳定性等.只有在产品的优秀性
能上更好的提升.能促使智能手机
在未来的拓展成绩上.得到更好的
改善。第二，智能手机的发展过程
中.对于液晶显示屏的制作.正
不断的对技术工艺，做出良好的细
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NO.462BUSINESS CULTURE大视野.LARGE F旧LD OF VISION
投射式电容触控面板技术原理与制程发展趋势
投射式电容触控技术为透过捕捉电极间的电容变化，进行触控位置侦测。由于人体会携带水分，已是优秀的导体，因此，当人体靠近电极时，手指与电极之间的电容值会增加，此时只要调查出哪条线的静电容量变大，就可得知是哪个点被触控了，因为此种触控机制具备多项优势，也成为目前电子产品的触控解决方案首选.
投射式电容触控面板结构
整体而言，几乎可说是触控切换器在使用电容感测方式时的二次元扩充版。由于投射式电容触控技术的原理是借着手指头上的静电在触控面板上定义出位置所在，因此信赖度较高，不同于阻抗膜电极变形的方式，投射式电容触控面板在距离触控面板表面10毫米也能够进行感测。
投射式电容触控面板模块的组成有触控感应玻璃(Cover Sensor)与软性电路板(FPC;Flexible Print
Circuit);触控感应玻璃为单一片的ITO(Indium Tin Oxide)玻璃，非三明治式的堆栈结构，没有使用ITO薄膜，而是在一块镀玻璃上，直接进行线路图形的制作，并在感应区的四周设置均匀分布的电场;软性电路板负责讯号的传递工作，软板上有电路、触控控制器与连结器，会先将触控感应玻璃的讯号传送至触控控制器进行判定，然后再将定位讯号透过连结器传送给主机板，交由软件执行解读与反应的工作。
投射式电容触控面板的制程步骤繁琐，制程时间与成本高居不下，良率也不高，属于高价产品，厂商能否在制程上加以改善与进化成为获利的关键。其主要制程乃属黄光制程，也就是微影制程，基本上包含上光阻剂(在芯片上涂布光阻剂)、软烤(增加光阻剂在芯片表面附着力)、对准与曝光(将光罩上的组件设计图形转移到光阻上)、烘烤(降低驻波效应)、显影(光阻形成组件设计图形)、硬烤(去除残余溶剂，增加光阻强度)。
有些简单的制程可能简化至上光阻、曝光、显影，但都离不开此制程的主角---光阻剂。光阻剂是感光材料，与传统相机底片上的感光材料类似，在半导体制程中会选用对紫外线(UV)灵敏的感光材料，因为对UV敏感，对蓝光、绿光多少也有些反应，但是没有照明，人看不到又没办法操作，所以需要有照明的光源，但又不能有蓝光、绿光，所以就使用黄光做为照明。
全球OLED产业发展现状分析
目前，中国大陆把OLED产业纳入了国家“十二五”计划。根据《规划》，新
型显示器件领域中的发展重点包括液晶显示器件、等离子显示器件，以及有机发
光显示器件方面。对于有机发光显示器件，《规划》提出将“推进中小尺寸OLED
的技术开发和产业化应用，研究大尺寸OLED相关技术和工艺集成。”中国OLED
技术研究经过10余年的发展，取得了一系列重大技术成果，并成功实现了产业
化，国内维信诺、上海天马、京东方、彩虹、虹视等都在大力推进OLED特别是
AMOLED发展的步伐。那么我们对日韩台以及大陆OLED产业发展现状做一下浅析。
利润丰厚的OLED产业引起国家间的竞争。OLED作为未来新一代显示器件，
将在全球领引显示和照明两个领域，OLED产值以万亿计不为过，对如此回报丰
厚的行业，世界各国和地区争相趋之，以分去最大蛋糕。
OLED产业在国际范围内的竞争已不单是企业间的竞争，而体现为国家和地
区之间的竞争。日韩台及欧美均已制定了OLED产业战略规划。
早在1979年开始，日本通产省经光电产业技术振兴协会联合16家企业资助
8.2亿美元为期10年的液晶显示产业化基础研究计划,受助企业要匹配70%研究
经费。2011年年底，为抢占苹果iPadiPhone引发的中小尺寸平板显示突破性的
需求，又在《企业创新联盟》框架下投资25亿美元（占股70%到80%）组织日立
索尼与东芝成立世界最大的中小尺寸LCD触摸屏及OLED显示屏新公司。日本三
菱化学、松下电工、出光兴产、堡土谷化学、柯尼卡美能达、住友化学、NHK、
DOW、COVION等企业以及东北先锋、日本山形大学、大日本印刷与日本有机电子
研究所等研究机构都积极开展OLED材料、显示等方面的研究，布局全球OLED
市场。
韩国在1990年起组成大专院校100多家企业参加的“平面显示器研究联盟”，
每年政府投入30亿韩元支持经费。在韩国政府在2010年5月19日推出的《显
