• 加装Beam Shaping 的镜组,激光的Beam Profile由高斯光(Gaussian)改为Top Hat,制程速度可提高2-4倍以上。
ser Attenuator(激光衰减)
现有调节激光功率的方法: • 调节电流:会改变激光的光束截面(Beam Profile),会影响打出来的线宽和焦点。 • 调节频率Repetition Rate (Hz) :会影响激光能量和刻划线宽。
(Top flat)
高斯
多元高斯
• 减少脉冲时间,高的峰值能量,更多的能量密度
Less pulse time, high peak power more energy density
能量密度=功率/频率/光斑面积
pulse
1.1uW/um=220W/20KHz/900um2
Hz
13
4.重叠率计算——Overlap
目录
一:激光产生原理 二:激光刻划原理 三:激光扫边原理
1
激光产生原理
1.激光定义:
激光的最初的中文名叫做“镭射”、“莱塞”,是它的英文名称LASER的音译,是取 自英文Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation的各单词头一个字母组 成的缩写词。意思是“通过受激发射光扩大”。激光的英文全名已经完全表达了制造激光的 主要过程。1964年按照我国著名科学家钱学森建议将“光受激发射”改称“激光”。
• 晶体腔:产生最原始的激光(包含YAG晶体,LED光源,电源); • 全反光镜:使光完全反射回去,增大光强度; • 半反射镜:反射75%的光,只有满足一定直线性,能量和波长的光才能通过,大约25%; • Q-Switch:分X轴和Y轴,控制激光输出能量,得到能量较强,持续时间较长的光束; • 功率计:量测输出的激光能量大小; • Shutter:控制激光输出的一个开关。