极值点提取法在芯片翘曲度测量中的应用

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中 图分 类 号 : 6 10 4 O 3 ;38 文 献标 识 码 : A 文章 编 号 :00— 8 9 20 )9— 0 2— 3 10 8 2 (0 7 0 0 6 0
App i a i n o he Ex r m e Po nt Ex r c i n M e ho o e s i g t lc to f t t e i t a to t d f r M a ur n he
摘要 : 分析 了牛顿环法的测量原理 , 用牛 顿环 法对 芯片翘曲度进 行 了测量。在钠光 源照射 下, 利 利用 C D摄 像机 采集芯 片 C 和基准面之 间的等厚干 涉条纹 。为快速 、 准确地计算条纹级数 , 出 了极值点提取 法 , 提 该方法 能够 自动 获取 灰度 曲线极值
点 的 个 数 以及 位 置 。 由灰 度 曲 线 的极 小值 点 个 数 得 到 暗 条 纹 级 数 , 而 获取 芯 片 相 对 于基 准 面 的翘 曲程 度 , 成 芯 片的 翘 从 完
曲度测量 。利 用该 方法 对手机屏 幕芯片的翘曲度进 行 了测量 , 并将 测量 结果与投影散 斑相 关测量法所得 结果进 行分析 比 较 。实验结果表 明极值 点提取 法计 算牛顿环条纹级数 、 实现芯 片翘 曲度测 量的精 度和可行性。 关键词 : 牛顿环法 ; 曲度 ; 翘 极值点提取 ; 条纹图
p s d T e n mb ro e e t me p i tc n b f c e t xr ce y u e o e meh d a d t e n mb ro e d r r g a e o e . h u e ft xr h e on a e e i inl e t td b s ft t o n h u e ft a k f n e c n b y a h h i
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《 测控技 术}0 7年第 2 第 9期 20 6卷
极值 点提取法在芯 片翘 曲度测量 中的应 用
陈凡秀 ,何小元
( .青岛理3 大学 理学院 , 1 2 山东 青岛 2 6 3 ; .东南大学 M M 教 育部重点实验室 , 60 3 2 ES 江苏 南京 2 0 9 ) 10 6
s i m a l mia e h y tm, n h rn e p t r s g n r td b h ne ee c ft e c i n h ee e c u a e a e d o u lmp i u n ts t e s se a d t e f g a t n e e ae y t e i tr r n e o h p a d te r fr n e s r c l l i e f h f c p u e y a CC a e a T v l ae t e n mb ro h r g u c l n x c l, h x r me p i te ta t n meh s p o a trd b D c m r . o e au t h u e ft e f n e q ik y a d e a t t e e te on xr ci to i ・ i y o d
W a p g fM o l- o i r a e o bi Ph ne Ch p e
CHEN F n xu , HE Xio y a a . i a .u n
(.C l g f c ne, iga ehooi lU i ri , iga 6 3 , hn ; 1 oeeo Si cs QndoT cn l c nv sy Qna o2 ̄ 3 C ia l e ga e t
2 e aoaoyo MSo ns yo d ct nS uhat ie i , aj g 106 C ia .K yLbrtr f ME f ir f uai ,otes Unvr t N ni 09 , hn1 Mi t E o s y n2
A b tac : s r t The t o y o h wtn rn t d s a lz d a d t e c i r a e i a u e b s ft wtn rng me o A he r ft e Ne o g meho i nay e i n h h p wa p g s me s r d y u e o he Ne o i t d. h
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o ane T e h a urmen fte c i r g a c e e T e Newtn rn t o sa ple o me s r h r a eo bti d. h n te me s e to h h p wa pa e c n bea hiv d. h o g me h d i p i d t a u e te wa p g f i