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• 入射波束与被探工件表面成一定角度。 • 斜探头上配有斜楔,改变晶片受激产生的纵
波在界面上的入射角,利用超声波的折射特 性产生波型转换,从而在检测介质中激发出 所需要的波型,测量深度小,多数为横波。
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波形
纵波探头
纵波检验
横波探头 板波探头 表面波探头
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用于对工件内部及表面缺陷的横波检测 ,例如检测焊缝。
• 不同形状、材质用途。
阻尼块 • 对晶片的振动起阻尼作用。 • 吸收晶片向其背面发射的超声波。
保护膜 • 保护晶片和电极层不被磨损,改善 探头与试件耦合作用。 斜楔 • 使超声波Байду номын сангаас斜入射到检测面 • 使多次反射的超声波不再返回晶片
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分类
入射波 工作原 束方向 理
声束形状
耦合方式
波形
晶片数 目
特殊探 头
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工作原理
压电式
压电效应:晶体在交变应力(压力或拉 力)作用下形变时产生交变电场的现象。
磁致伸缩式
磁致伸缩效应:当在磁化了的磁棒两端施 加应力或应变时,磁棒的磁化状态将发生 变化,从而在线圈中产生电压
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入射波束方向
直探头
• 入射波束与被探工件表面垂直,用于垂直探 伤,探测深度较大,多数是纵波。
斜探头
用于薄板检测
用于对具有光洁表面的工件的表面缺陷 检测,例如检测叶片表面裂纹。
耦合方式
通过薄层耦合剂与工件表面直接接触。藕合剂主要起 传递超声波能量作用,为避免空气层产生的强烈反射,故 在探测时必须将接触层间的空气排除干净,使声波入射工 件。此法操作方便,但对被测工件的表面光洁度要求较高 。