华为ESD培训教材 学习共80页

节
f、用屏蔽袋象“垫托”式地拿板。
g、把PCB放在屏蔽袋的上面。
h、在任何表面滑动静电敏感元件。
第六章：生产线不防静电物体的管理方法
第一节 生产常见的不防静电物品
第 六 章
第 第一节 生产常见的不防静电物品
六 1、圆珠笔：
章
静电600V、安全距离：0.2米
第
NG图片
一
节
OK图片
预防方法：使用完后放回工衣 口袋，不允许放在工作区上
章 秒，瞬时脉冲高，平均功率达千瓦以上，足可烧毁静电敏感 元件，进而导致整个设备或系统工作失误、失灵。
第
三 2、由于人体静电电压可高达数百、数千甚至上万伏， 足以使静电敏感元件发生电击穿，包括硬击穿（造成突然永
节 久性失效）和软击穿（一般表现为暂进失效）。暂时失效不
但会造成设备工作误差， 更严重的危害在于它可造成毫
第 第二节 静电对电子产品生产的主要影响
二
1、静电放电对静电敏感元件造成损坏
章
a、完全失去功能；
b、间歇性失去功能。
第
二
2、元件损坏带来的损失 a、增加成本；
节
b、影响质量；
c、引起客户不满而影响公司的信誉。
第 第三节 人体静电对静电敏感电子产品造成的危害
二
1、由于人体静电能量的泄放时间极短，仅为零点几微
件时，使用有故障、安装不当和没有足够保护的ESD屏蔽措
施，很快就会出现问题。
第四章：静电防护的方法及作用
第一节 防静电工作台
第 第二节 防静电手腕带
四
章
第三节 防静电手套
第四节 防静电包装袋
第五节 防静电周转箱
第六节 离子风机

关注新技术、新方法的研发和应用，不断提高ESD防护的科技含 量和水平。
开展经验交流和分享
积极参加行业内的经验交流和分享活动，学习借鉴先进的管理经 验和技术手段。
注重人才培养和引进
加强ESD防护专业人才的培养和引进，为企业发展提供有力的人 才保障。
06
总结与展望
本次培训成果回顾
01
掌握了ESD防护的基本原理和概念
设备使用注意事项
使用前检查设备是否接地良好， 确保静电能够安全地导入大地。
操作过程中避免产生静电，如减 少摩擦、降低接触压力、控制环
境湿度等。
对设备进行定期维护和保养，确 保设备处于良好的工作状态，减
少静电产生的可能性。
04
ESD事故应急处理措施
事故发生原因分析及预防措施
静电产生原因分析 环境干燥、湿度不足
定期对防静电设备进行 检测和校准，确保设备
性能符合要求。
建立设备维护保养记录， 记录设备的维护、保养、
检测和校准情况。
03
ESD防护操作规范
人员操作要求及培训
严格遵守ESD防护操 作规范，包括穿戴防 静电服装、佩戴防静 电手环等。
熟练掌握ESD防护用 品的使用方法，确保 正确有效地进行静电 防护。
ESD防护培训教程课件
目录
• ESD基础知识 • ESD防护设备介绍 • ESD防护操作规范 • ESD事故应急处理措施 • ESD防护管理体系建立与完善 • 总结与展望
01
ESD基础知识
静电产生原理
01
02
03
摩擦起电
两个不同物体相互摩擦， 接触面间发生电子转移而 使物体带电。
感应起电
一个带电物体靠近另一个 导体时，导体内部电荷重 新分布，使导体两端出现 正负电荷。

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1.5 静电的危害
几处空洞是由电子迁移造成的，它是一种软损伤形式
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1.5 静电的危害
的器件，敏感度约20V。
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1.3 静电的产生
静电电压能够由 以下几种情况产 生： 摩擦剥离起电 感应起电 电容的改变
科学定理 1、库仑定理 同性排斥 异性吸引 2、V=Q/C V=电压（伏特） Q=电荷（库仑） C=电容（法拉）
15%
E O S/E SD 引 起 的 失 效 排在第一位
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1.5 静电的危害
电介质 击穿
失效的原因
--半 导 体 氧 化 层 周 围 的 电 压 超 过 了 氧 化 层 介质击穿电压 --氧 化 层 越 薄 ， 对 静 电 越 敏 感 。 过 热 和 短 路会损坏器件
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一、静电基础知识
1.1 基本概念
1.2 静电的历史及影响 1.3 静电的产生
1.4 静电的特点
1.5 静电的危害 1.6 材料的电特性
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理想的防靜電工作台 可接受的防靜電工作台
A.桌墊:
一工作站的表面或桌面完全不需要是傳導的,只要它不產生傷 害性的靜電電荷即可.
B.接地:
在此工作站的工作人員的皮膚一定要接地,而腕帶(靜電 手環)是最安全,最方便,最易監督和最便宜的方法.腕帶不是只 接到桌面而已,而是接到桌面后再由桌面接到大地.桌面的接地, 是連在腕帶連接到大地接地的同一點.腕帶一定要有最少 250KΩ的電阻才能排除電擊的可能.
電磁脈沖導致電路出現錯誤, 設備誤動 作。
電子產品生產中的典型靜電源
身體 衣服
原材料 生產輔助物 包裝材料
地板 工作面 主要設備 清潔室
牆壁 天花板 光源固定器 通風架
靜電控制原理
一、靜電泄漏和耗散 1、防靜電材料 2、泄漏與接地----軟接地 硬接地
二、靜電中和 將正負離子與靜電源上的正負電荷中和, 從而消除靜
使用工具 靜電接地測試儀(搖表)
歐姆表 歐姆表 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀 表面阻抗測試儀 靜電鞋測試儀 靜電手環測試儀 歐姆表 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀 表面阻抗測試儀 靜電壓測試儀
電表
1-1.生產場地防靜電規定
a.禁止直接使用木質地板或鋪設毛.麻.化縴地毯; b.可選用防靜電活動地板或在普通地面上鋪設防靜電地
C.腕帶:
珠鏈式腕帶附件
手鐲式腕帶
FRED腕帶
D.抗靜電包裝材料
ESD接地示意圖
ESD靜電接地干線 系統(≧6mm,3歐)
機台
連接靜電手環,膠皮
ESD接地系統匯流 排 (≧100mm,3歐)
ESD接地支線系統 (≧1.25mm,4歐)
機台外殼
點檢內容 系統幹線匯流排

正面!
复印机 吸尘器
危害！
像哈尔滨亚麻厂爆炸、巴西静电引起火箭爆炸、 美国加油站起火等严重事故。静电已成为高科 技现代化工业的恐怖主义者。 现代许多高速超大规模集成电路碰到仅几十伏 或更低的静电就会遭到损坏。而且静电危害的 潜伏期很厂，常常不能立即被发现。
高静电敏感器件失效原因排序
E O S /E S D 59% 电 子 测 试 3% 氧 化 /钝 化 3% 导 体 失 效 3% 硅 片 断 裂 4% 引 脚 短 路 /开 路 7% 引 脚 连 接 15% 其 他 6%
内部损失
时间 金钱 加薪机会 。。。。。。
外部损失
销售服务成本增加 客户满意度下降 。。。。。。
整理ppt
13
附：各种常用器件的静电敏感性
(D evice) (W afer)
人体静电可以损毁任何一个常用半导体器件
整理ppt
14
防静电标识
45mm
底色:黄色 Arial Narrow粗体,42磅 Arial Narrow粗体,46磅
➢ 低电量：静电流多为微安级（尖端瞬间放电例外）。 ➢ 作用时间短：微秒级。 ➢ 受环境影响大：特别是湿度，湿度上升则静电积累减
少，静电压下降。
整理ppt
12
静电的危害
美国近期公布了涉及10多个行业的静电造成的损失调查结果，平均每年的直接经济损失高达 200多亿美元，仅电子工业部门每年因静电危害造成电子元件的损失高达100多亿美元。在 美国的历史纪录当中，只2001年9.11恐怖袭击事件给美国所造成的经济损失达到了207亿美 元，也可以这样说静电造成美国每年发生一次 “9.11”事件或每年发生一次洛杉矶大地震的 损失！
Arial粗体,12磅

过引起的微等离
双极晶体管
子体二次击穿的
结型场效应晶体管
微扩散
可控硅 数字、线性双极集成电路
由SI和AL的扩 散引起电流束的
输入保护电路：用于分立 MOS场效应管和MOS集成电路
薄膜电阻器
混合电路：厚膜电阻、薄膜电阻 单片集成电路--薄膜电阻器 密封薄膜电阻器
增大（电热迁 移）
介质击穿，与电 压有关的电流通 路，与焦尔热能 量有关的微电流
具有不同静电的物体，由于直接接触或静电感应引起物体间的
静电电荷转移。〔见图1〕
3、人体有觉得的静电放电电压在3000-5000V之间,而元件发生损坏时的
电压仅几百伏.
4、静电感应〔Electrostatic induction):
当带静电的物体接近某一介质时，在该介质外表因感应而带电荷，
构成感应电场。
√ 软接
地
〔图7〕
11. ESD维护资料〔ESD-Protected materials〕：
〔图8〕
具备以下特征的资料：
A、防止产生摩擦起电；
B、免受静电场的影响；
C、防止与带电人体或与带电物体接触而产生直接放电。
第二章：静电的来源及其危害
1、静电的产生〔自然景象〕 1.1 两种不同起电序列的物体经过摩擦、碰撞、剥离等方式在接触分别之后 在一种物体上积聚正电荷，另一种物体上积聚等量的负电荷。由于两种不同的 物体相互严密接触时，它们最外层电子的逸出功不同， 电子从逸出功较小的物 体跳逸到逸出功较大的物体中去。此外，导体静电感应、压电感应、电磁辐射 应等也能产生很高的静电压。
2.1 环境：
〔图9〕
2.1.1 地板：封蜡的混凝土、打蜡木地板、普通的维尼龙磁砖或平板、人造革

< 1 x 109 ohms < 1 x 109 ohms
105 to 1011 Ohms并且摩擦电压 <100V
点对点电阻 : 105 to 1011 ohms 并且摩擦电压 <100V
< 1x109 ohms
1*106 to 1*109 ohms
18
摩擦电压< 30
ESD 静电工衣、工帽着装标准与NG 对照图
• 7.所有人员包括访客必须遵循此个人静电防 护守则。
12
ESD员工自检
• 1. 穿戴好防静电工衣,防静电工鞋, 防静电手环,检测防静电工鞋，手 环通过测试,并作好记录.
• 2. 目检是否所有静电敏感元部件 完全放置于防静电的屏蔽箱/袋(传 导性容器)里.
• 3. 确保在防静电屏蔽箱/袋中没有 可以产生静电的物体与ESD敏感 物件放置一起.
月度 4Hrs
每天
检测频次
每月或按客户要求或生产需要
每天第一次进入EPA区 每天第一次进入EPA区 每季度 每季度 每季度 进料检查和定期抽检
进料检查和定期抽检
防静电袋及其它防静电材料 进料检查和定期抽检
ESD 容器/托盘/盒子/箱子 静电耗散工作台 静电屏蔽袋
进料检查和定期抽检 月度 进料检查和定期抽检
的。如果他在危险场所走动或操作，就等于一个
流动的火种！！！
10
5.怎样正确的进行ESD防护
• 1. 生产车间、来料检查区、货仓为静电防 护区域，必須采取基本ESD防护措施。 静 电防护区域可分为非静电操作区域和静电操 作区域，静电操作区域又可分为0级(静电控 制<50V)、I级(静电控制<100V)、II级(静电 控制<2000V)三个级别，不同级别的静电操 作区域须相应采取额外ESD防护措施。

ESD事件报告流程及处理方法
1 2
ESD事件定义与分类 明确静电放电（ESD）事件的定义，包括直接和 间接ESD事件，以及按照严重程度进行的分类。
报告流程 制定详细的ESD事件报告流程，包括发现、记录、 上报、处理等步骤，确保事件得到及时有效处理。
3
处理方法
针对不同类型和严重程度的ESD事件，提供相应 的处理方法，包括现场应急处理、设备检修、原 因分析等。
操作规程应经过相关部门审批，确保 内容的准确性和适用性，审批通过后 正式发布，供操作人员使用。
技能培训内容与方法选择
确定技能培训内容
根据操作规程和岗位需求，确定技能培训内容，包括设备 操作、工艺流程、安全生产、质量控制等方面的知识和技 能。
选择合适的培训方法 根据培训内容和受训人员的实际情况，选择合适的培训方 法，如理论讲解、实践操作、案例分析、小组讨论等，确 保培训效果。
并探讨其成因和预防措施。
ESD引发火灾事故
02
介绍因静电放电引发的火灾事故案例，分析事故原因，强调
ESD控制的重要性。
ESD对产品质量的影响
03
分析静电放电对产品质量的负面影响，如产品性能不稳定、寿
命缩短等，并提出相应的改善措施。
成功经验总结和分享
完善的ESD控制体系
介绍企业成功建立ESD控制体系的经验，包括制定ESD控制计划、 明确人员职责、实施定期培训等。
影响
静电放电可能导致静电敏感器件的损坏或性能退化，如击穿、烧毁、参数漂移 等现象。因此，在处理和操作这些器件时，需要采取严格的防静电措施。
ESD控制体系建立
02
ESD控制目标设定
01
02
03
04
确保产品和设备免受静电放电 （ESD）损害

由附录A（补充件）试验数据确定为2级的元器件和微电路 低功率双极型晶体管，Ptot≤100mW, Ic＜100mA 离散型MOS场效应晶体管 精密电阻、混 合电路场效应 结型场效应晶体管（JEETS） 晶体管等 运算放大器（OP AMPS） 集成电路（ICS） 集成电路 超高速集成电路（VHSIC） 精密电阻网络（R2） 使用2级元器件的混合电路 （见图14）
12
第二章：静电的来源及其危害
6、ESD失效模式
6.1 6.2 6.3 6.4 6.5 6.6
热二次击穿：发热---融化---过热增大融化—短路 金属渡层融熔：金属层式融合引线烧熔 介质击穿（电压击穿）：一般潜在失效最终形式一次击穿 气弧后电压放电：引起功能退化 表面击穿：绝缘表面 体击穿：二次击穿产生体
晶体管
IC等
续 表 1 （湿度见图13） 薄膜电阻器，集成电路，使用1级元器件的混合电路，超高速集成电路 （VHSIC），环境温度100℃时，10＜0.175A的晶体闸流管（SCRS）
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第二章：静电的来源及其危害 5.（ESDS）静电放电敏感元器件：（二） 2级：敏感电压范围2000~3999V 元 器 件 类 型
9
第二章：静电的来源及其危害 5.（ESDS）静电放电敏感元器件：（一）
1级：敏感电压范围0~1999V 元 器 件 类 型 微波器件（肖特基势垒二极管、点接触二极管和其它工作频率大于1GHZ的检 测二极管，离散型MOS场效应晶体管，声表面波（SAW）器件，结型场效应 晶体管（JEETS），电荷耦合器件（CCDS），精密稳压二极管（线或加载电 压稳定（0.5%),运算放大器（OP AMPS） （见图13）
2
第一章：名词解释
1、静电（Electrostatics):物体所带过剩或不足的相对静止不动的电荷。 2、静电放电ESD（Electrostatic discharge-ESD): 具有不同静电的物体，由于直接接触或静电感应引起物体间的 静电电荷转移。（见图1） 3、人体有感觉的静电放电电压在3000-5000V之间,而元件发生损坏时的 电压仅几百伏. 4、静电感应（Electrostatic induction): 当带静电的物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷， 形成感应电场。 5、静电敏感器（Static sensitivity device-SSD): 对静电放电敏感的器件（易被静电击穿的器件） 6、中和（Neutralization): 利用异性电荷使静电消失 （见图1） 7、接地（Grounding): 电气连接到能提供或接受大量电荷物体上（如大地、动载工具外壳） 8、泄放（Leakage):将静电荷安全泄放到大地。