下载文档原格式
第 1 页共 18 页
第 2 页共 18 页
第 3 页共 18 页
第 4 页共 18 页
第 5 页共 18 页
第 6 页共 18 页
第 7 页共 18 页
第 8 页共 18 页
第 9 页共 18 页
第 10 页共 18 页
第 11 页共 18 页
调节阀
第 12 页共 18 页
定位块
第 13 页共 18 页
机械手急
停按钮
第 14 页共 18 页
机械手复位提示
第 15 页共 18 页
桨高低位电机
桨前进后退电机
第 16 页共 18 页
大族扩散设备维护记录（月保养）
维护记录确认人：
备注：见每月的PM维护时间表，如与周保养重复做月保养优先
第 17 页共 18 页
大族扩散设备维护记录（周保养）
维护记录确认人：
备注：周保养时间见设备PM维护计划维护时间
第 18 页共 18 页。
版本号REVIEW 审核APPROVE 批准REV.版本号GENERAL WI 操作规程Reason(s) for Update 更新原因：新建立RENA设备操作规程ORIGINATOR 编制DOC.#： 文件号REV. EI-C-0020 00PAGE：页 1 OF 9部门签名日期1.目的规范InTex清洗设备的操作.2.范围适用于金保利((泉州)科技实业有限公司电池车间清洗工序3.参考文件主要材料;KOH,HCL HF,HNO3.RENA设备的操作说明书4.适用设备适用电池车间的RENA的清洗设备5.定义6.职责和权限6.1设备部负责该文件的制定和执行情况的监督。
6.2 制造部负责该文件的执行。
7.程序内容7.1准备工作.7.1.1 7.1.1检查设备的各项外围动力条件纯水、压缩空气，各槽排风压力等正常7.2 设备点检7.2.1 根据《RENA清洗机点检表》对设备进行点检，部分点检项目要在开机后～上料前 进行检查确认。
7.2.2 重要点检项目7.2.2.1 检查设备的压缩空气的压力要达到6KG.7.2.2.2 检查设备的滚轮运行良好，无异常现象。
7.2.2.3 检查设备管道无漏液的现象。
7.2.2.4 检查DRY 的管道没有堵塞。
7.3 设备操作7.3.1 开机程序7.3.1.1打开自来水，纯水，冷却水和压缩空气阀门。
GENERAL WI 操作规程RENA设备操作规程DOC.#： 文件号REVIEW审核APPROVE 批准 7.3.1.4 开始登陆程式，“Login”位于窗口的右上角，点击即可．GENERAL WI 操作规程ORIGINATOR 编制PAGE：页 2 OF 9签名日期 7.3.1.6 按按钮“Mode Auto ”在屏幕的右边切换为自动模式，在图表里的全部操作的单位的 地方“O ff ”的颜色变为“Auto ”绿色.7.3.1.3 打开设备前面的的显示器．RENA设备操作规程颜色全部为绿色。
00REVIEW 审核APPROVE 批准NO 备注25风干部分 1.清洁滤网清理碎片.２.检查传动机构的滚轮是否磨损，Ｏ型圈是否破损，滚轮的运行是否良好．46齿轮部分１.检查电机的连接处，有无松动损坏．２.检查齿轮箱有无异常声音．３.检查齿轮箱无腐蚀的想象．４.给齿轮箱加注润滑油．7风刀部分１.检查带动风刀的电机运行正常，无噪音．２.检查风刀的方向是否正确．３.检查风刀电机的皮带没有磨损．４.检查风刀的管道连接出的接头无漏气．GENERAL WI 普通作业指导书Reason(s) for Update 更新原因：新建立去PSG设备PM作业指导书ORIGINATOR 编制DOC.#：文件号 REV：版本PAGE：页 1 OF 2１.检查整个管道系统有无渗漏．２.检查泵的更能是否正常．３.检查所有的液位传感器．４.检查液位传感器的位置是否正确．检查项目 PM检查项目：实施方法和流程１.清洁滤网清理碎片.２.检查传动机构的滚轮是否磨损，Ｏ型圈是否破损，滚轮的运行是否良好．３.检查溢流管是否接好．４.检查液位传感器，有无加紧．单向阀门１.检查单向阀门的连接处有无渗漏，连接是否紧凑．3溶液槽10整个设备１.清洁设备，保证设备的外表没有溶液遗留．２.清洁设备的外表，保持设备的清洁．部门签名日期1管道电气柜１.检查电气柜里面的接线是否被压紧．２.所有的线路盖板是否都盖好．３.检查电气柜里面是否有溶液的腐蚀．４.检查电气柜里面的所有器件都装合适，无悬挂现象．9光电部分１.检查上下料处的传感器的功能正常，没有被腐蚀损害．２.检查传感器的灵敏度是否正好合适．３.检查传感器的位置正确，４.检查所有的光电传感器的显示灯都正常．8 供液部分１.检查下面的供液部分的液位传感器是否正常，有无腐蚀损坏，２.检查漏液传感器的功能是否正常，有无腐蚀损害．３.检查抽真空泵工作正常，无漏气现象，没有噪音，声音均匀正常．４.检查气动电磁阀动作正常．。
1. 一般规章1.1使用具有腐蚀性的化学品时需要具备足够的防护措施，建议使用抗腐蚀的盖板、衣服、鞋、手套和护目镜。
此外，需确保自己一旦发生事故的情况下，能找到适当的紧急喷淋冲洗设施。
1.2 决不在机器内单独工作。
1.3 不要打开或去除正在运行的设备盖板，因为其内部蒸汽为危险性的酸或碱。
2. RENA设备正常操作的要求2.1 化学供应和处理2.1.1 对于使用传感器准确测量化学品的流量，至少要求7L/min的流量，供应化学品的管路中不允许有一段一段的气泡。
对于使用化学槽处理，装载HF/ HNO3的刻蚀槽，其最大体积InTex为550L，InOxside为450L。
2.2 压缩空气2.2.1 对RENA InTex设备的Air Knifes规定的操作压力要求至少为4bar，Air Knifes不使用的情况下，压力需为6bar。
2.2.2 若Air Knifes的气压不足，硅片吹不干，进而容易导致alkaline bath清洗后产生棕色污点，因此造成产品品质不良。
2.2.3 若Air Knifes 2和Air Knifes 3的气压不足，可能硅片没有被正确的吹干，因此将需要另外的清洁处理程序。
注：当Air Knifes动作时请确认所有的阀门都打开。
3. 槽体药液的排放和槽体的清洗3.1 刻蚀槽3.1.1 选取菜单为手动（Manual ）>蚀刻槽（etch bath）Figure 1: Manual > Etch bath: disposal of old bath3.1.2 “手动模式（mode man）”，通过按按钮选择手动模式。
3.1.3 按下“系统排放（system draining）”（屏幕的左边），则刻蚀槽和储备槽（tank）的化学品都将被排掉。
该按钮需谨慎操作！3.1.4 等化学品排放过程完成后，屏幕上显示为“清空（Empty）”，为下面程序做好准备。
3.1.5清洗刻蚀槽和储液罐，按下“系统添加DI水（filling DI）”向储液罐添加DI水，待加满后，按下“由罐向槽填充药液（fill bath）”开启循环，循环一定时间后，按下“系统排放（system draining）”排空液体。
设备sop标准化操作流程范例下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!设备名称：[设备名称]一、操作前准备1. 检查设备外观是否完好，有无损坏或松动的部件。
RENA清洗设备中文版说明书仅操作部分6、操作6.1 开机6.1.1 步骤1：开机前准备第一步：打开药液供给侧的手动阀第二步：关闭所有后侧门第三步：关闭所有服务和维修窗口的盖板第四步：解锁所有急停按钮6.1.2步骤2：给机器上电第一步：将机器的主开关打到ON的状态此时机器有电第二步：移走UPS电源的盖板第三步：将UPS的主开关打到ON的状态第四步：将主机的主开关打到ON的状态此时操作系统启动6.1.3步骤3：给CHILLER上电第一步：将CHILLER的主开关打到ON的状态此时CHILLER启动6.1.4步骤4：登录Windows第一步：选择Operator用户第二步：输入Operator密码，点击确定6.1.5步骤5：启动应用软件6.1.5.1 启动SPS软件第一步：双击WINLC RTXSPS软件启动SPS软件开始自动运行，直到ON和RUN显示为绿色第二步：将WINLC RTX最小化6.1.5.2 启动Server第一步：双击Server第二步：点击Open Project第三步：选择Project Path第四步：点击[+]第五步：点击[Configuration]第六步：点击OK第七步：点击RUN第八步：点击Start Tag Provider第九步：最小化服务器程序6.1.5.3 启动用户界面第一步：双击[Client]6.1.6步骤6：用户登入第一步：登入Process6.1.7步骤7：控制系统上电第一步：按动ON按钮6.2 工艺初始化准备第一步：登入Service第二步：了解所有报警信息第三步：将机器打到Manual状态第四步：对所有的功能单元下载Recipe第五步：冷却系统补液第六步：清洗槽补液第七步：所有dosage tanks补液第八步：所有Pump tanks补液此时机器用于工艺已准备好6.3 自动生产第一步：登入Operator用户第二步：确认所有的功能单元都处在Ready状态第三步：点击Start production6.3.3 停止自动生产6.3.3.1 停止预定的自动生产第一步：点击Scheduled stop弹出一个窗口第二步：点击YES仍在机器内的硅片跑出后停止6.3.3.2 停止未预定的自动生产第一步：点击Unscheduled stop弹出一个窗口第二步：点击YES仍在机器内的硅片将过刻6.3.3.3 停止自动生产—关闭步骤1：停止预定的自动生产第一步：点击Scheduled stop第二步：点击YES仍在机器内的硅片跑出后停止步骤2：点击Unscheduled time6.3.4 手动补液6.3.4.1 工艺槽补液第一步：点击Process bath第二步：点击欲加液的dosage tank.第三步：点击dosage第四步：输入欲加液的体积第五步：点击Start manual dosage补液开始停止补液第一步：点击Stop manual dosage补液停止6.3.4.2 碱槽补液与以上相似6.3.4.3 酸槽补液与以上相似6.3.5 滚轮操作6.3.5.1 停止滚轮第一步：点击Drives break滚轮停止转动6.3.5.2 启动滚轮第一步：点击Drives continue滚轮开始转动6.3.6 机器保护门的操作6.3.6.1 解锁保护门第一步：点击Unlock pane保护门解锁6.3.6.2 锁保护门第一步：点击Lock pane保护门锁上6.3.7硅片计数器清零第一步：点击Reset wafer counter硅片计数器清零6.4 手动操作6.4.1 将机器打到Manual状态第一步：点击Manual第二步：等到所有功能单元都切换到Manual状态6.4.2 冷却系统补液第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Cooling System第三步：点击Manual functions第四步：点击Fill with City Water冷却系统开始补液中断冷却系统补液第五步：点击Stop正补液的冷却系统停止补液6.4.3 清洗槽补液第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击欲加液的清洗槽第三步：点击Manual functions第四步：点击Fill with DI清洗槽开始补液6.4.4 dosage tank补液6.4.4.1 工艺槽dosage tank补液第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Process bath第三步：点击Manual functions第四步：点击欲加化学药品的Dosage Tank Filldosage tank开始补液第五步：对所有的dosage tank重复第四步的操作中断补液第六步：点击Stop补液被中断6.4.4.2 碱槽的dosage tanks补液与以上相似6.4.4.3 酸槽的dosage tanks补液与以上相似6.4.5 Pump tanks 补液6.4.5.1 工艺槽Pump tanks 补液第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Process bath第三步：点击Manual functions第四步：对所有的dosage tanks补液第五步：点击Fill chemistryPump tank将按照recipe的设定补液中断补液第六步：点击Stop补液被中断6.4.5.2碱槽Pump tanks 补液与以上相似6.4.5.2酸槽Pump tanks 补液与以上相似6.4.6 Bath槽补液第一步：将机器打到Manual状态第二步：冷却系统补液第三步：所有清洗槽补液第四步：所有dosage tanks补液第五步：所有pump tanks补液第六步：点击InOxSide第七步：点击Start productionBath槽开始补液6.4.7 冷却系统排液第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Cooling system第三步：点击Manual functions第四步：点击Drain冷却系统开始排液中断排液第五步：点击Stop排液被中断6.4.8清洗槽排液与以上相似6.4.9 将Baths的药液排到pump tank第一步：将机器打到Manual状态第二步：选择欲操作的功能单元第三步：点击Manual functions第四步：点击Drain bath to pump tankBath开始排液到Pump tank中断排液第五步：点击Stop排液被中断6.4.10 对baths and pump tank排液第一步：将机器打到Manual状态第二步：选择欲操作的功能单元第三步：点击Manual functions第四步：点击DrainBath和Pump tank将被排空6.4.11 对dosage tanks排液第一步：将机器打到Manual状态第二步：选择欲操作的功能单元第三步：点击Manual functions第四步：点击DrainBath和Pump tank将被排空第五步：点击欲操作的dosage tank的Drain dosage tankdosage tank的药液被排到pump tank.pump tank.的药业被排空中断排液第六步：点击Stop排液被中断6.4.12 换液Changing the bath第一步：将机器打到Manual状态第二步：选择欲操作的功能单元第三步：点击Manual functions第四步：点击Bath change6.4.13 启动自动清洗清洗周期和清洗时间由recipe的参数预设第一步：将机器打到Manual状态第二步：选择欲操作的功能单元第三步：点击Manual functions第四步：点击Clean开始清洗中断清洗第五步：点击Stop清洗被中断6.4.14 启动手动清洗6.4.14.1 工艺槽的手动清洗第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Process bath第三步：点击Manual functions第四步：点击Start manual rinseBath槽的排液阀门打开用水枪冲洗bath槽中断清洗第五步：点击StopBath槽的排液阀门关闭手动清洗被中断6.4.14.2 酸槽的手动清洗与以上相似6.4.15 停止手动清洗6.4.15.1 工艺槽的手动清洗第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Process bath第三步：点击Manual functions第四步：点击stop manual rinseBath槽的排液阀门关闭6.4.15.2酸槽的手动清洗与以上相似6.4.16 初始化第一步：将机器打到Manual状态第二步：选择欲操作的功能单元第三步：点击Init功能单元开始初始化中断初始化第四步：点击Stop初始化被中断6.4.17 dosage tanks的余量置零第一步：将机器打到Manual状态第二步：点击Process bath第三步：点击Manual functions第四步：点击Bath changeThe bath is changed.The rest volume dosage tank is reseted 6.4.18 检测第一步：登入Process用户第二步：打开检测单元的盖子第三步：将检测容器与检测软管连接第四步：关闭检测单元的盖子第五步：点击sampling按钮5秒第六步：打开检测单元的盖子第七步：取出检测容器第八步：锁上检测容器第九步：关闭检测单元的盖子第十步：登入Operator用户6.5 设置6.5.1 改变温度6.5.1.1 在生产过程中改变温度第一步：点击Inoxside第二步：点击Bath temperature第三步：改变温度值第四步：点击OK6.5.1.2 在Recipe里改温度第一步：点击Inoxside第二步：点击Process bath第三步：点击Recipe第四步：双击pump tank temperature or bath temperature的数值第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.2 更改带速6.5.2.1在生产过程中改变速度第一步：点击Inoxside第二步：点击Speed setpoint第三步：改变速度值第四步：点击OK6.5.2.2在Recipe里改速度第一步：点击Inoxside第二步：点击Transport第三步：点击Recipe第四步：双击欲改变的数值第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.3 设置第一次补液的比例第一步：点击Inoxside第二步：点击欲操作的功能单元第三步：点击Recipe第四步：双击Concentration for first fill'.的数值第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.4 设置自动补液第一步：点击Inoxside第二步：点击欲操作的功能单元第三步：点击Recipe第四步：双击Dosage V olume'的数值第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.5 设置自动清洗6.5.5.1设置清洗周期的编号第一步：点击Inoxside第二步：点击欲操作的功能单元第三步：点击Recipe第四步：双击Numbers of Cleaning Cycles'.的数值第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.5.2设置清洗时间第一步：点击Inoxside第二步：点击欲操作的功能单元第三步：点击Recipe第四步：双击Cleaning time'.第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.6设置流动时间第一步：点击Inoxside第二步：点击欲操作的功能单元第三步：点击Recipe第四步：双击Setpoint flow'第五步：更改数值第六步：点击OK6.5.7设置dryer第一步：点击Inoxside第二步：点击dryer第三步：点击Recipe第四步：双击要改变的参数第五步：更改数值第六步：点击OK6.6 关机6.6.1 步骤1：机器排液第一步：点击Scheduled stop◊No new wafers are conveyed into the machine.The mode of the machine is◊ changed to 'Standby'.Processing of any wafers that are still in the◊ machine is carried out to the end. The baths are drained into the pump◊ tank.The mode of the machine is changed to◊ 'Manual'.6.6.2步骤2：结束工艺准备就绪第一步：登入Process用户第二步：所有的Pump tanks排液第三步：所有的Dosage tanks排液第四步：清洗所有的Dosage tanks第五步：清洗所有的Pump tanks第六步：将机器状态改为Off6.6.3步骤3：关闭控制电源第一步：在控制面板上点击Off按钮机器将不再能从界面上控制6.6.4步骤4：关机准备第一步：关闭所有的药液提供侧的手动阀6.6.5步骤5：关闭总电源第一步：将主开关打到Off状态6.7 急停按下后的开机6.7.1步骤1：开机准备第一步：处理急停原因第二步：解锁所有的急停按钮6.7.2步骤2：打开控制电源第一步：点击ON按钮6.7.3步骤3：启动准备就绪第一步：登入Service用户第二步：将机器打到manual状态第三步：了解所有的报警信息6.7.4步骤4：开始自动生产第一步：登入Operator用户第二步：确保所有的功能单元都处于Ready状态第三步：点击InOxside第四步：点击Start production该按钮键变绿状态显示变为InitBaths槽开始补液状态显示变为Auto机器开始生产The Semi E10状态改为Start production 6.8断电后的开机6.8.1断电断于10分钟的开机6.8.1.1步骤1：开机前准备第一步：重启电源6.8.1.2步骤2：打开控制电源第一步：按动ON按钮控制电源上电该按钮键显示为绿色6.8.1.3步骤3：启动准备就绪第一步：登入Service用户第二步：将机器打到manual状态第三步：了解所有的报警信息6.8.14步骤4：开始自动生产第一步：登入Operator用户第二步：确保所有的功能单元都处于Ready状态第三步：点击InOxside第四步：点击Start production该按钮键变绿状态显示变为InitBaths槽开始补液状态显示变为Auto机器开始生产The Semi E10状态改为Start production 6.8.2大于10分钟断电后的开机6.8.2.1步骤1：开机前准备第一步：重启电源6.8.2.2步骤2：打开控制电源第一步：按动ON按钮控制电源上电该按钮键显示为绿色6.8.2.3步骤3：windows登入第一步：点击operator第二步：输入密码Operator点击OK6.8.2.4步骤4：启动准备就绪第一步：登入Service用户第二步：将机器打到manual状态第三步：了解所有的报警信息第四步：对所有的功能单元下载Recipe第五步：冷却系统补液第六步：所有清洗槽补液第七步：所有的dosage tanks 补液第八步：所有的pump tanks 补液此时设备准备好6.8.2.5步骤5：开始自动生产第一步：登入Operator用户第二步：确保所有的功能单元都处于Ready状态第三步：点击InOxside第四步：点击Start production该按钮键变绿状态显示变为InitBaths槽开始补液状态显示变为Auto机器开始生产The Semi E10状态改为Start production。
RENA电池清洗机安全操作规程一、目的和范围1. 该操作规程的目的是确保使用者在操作RENA电池清洗机时能够安全地进行清洗工作，并避免潜在的危险和意外发生。
2. 本操作规程适用于所有使用RENA电池清洗机进行清洗工作的工作人员。
二、安全装备和设施1. 在使用RENA电池清洗机前，工作人员应确保已佩戴好个人防护装备，包括眼镜、手套和防护服等。
2. 工作区域应保持清洁，并设置明确的安全警示标志和提示语，以提醒工作人员注意安全。
3. 清洗机设备应配备应急停机按钮和紧急情况下的紧急切断电源装置，以便及时停机和切断电源。
三、操作准备1. 在使用RENA电池清洗机之前，工作人员应仔细阅读并理解清洗机的操作手册，并确保具备所需的操作知识和技能。
2. 在操作清洗机之前，工作人员应检查并确认设备是否正常运行和安装牢固，如有问题应及时上报维修人员。
四、操作方法1. 在对电池进行清洗前，工作人员应将电源插头拔出，确保设备处于停机状态。
2. 检查并确保清洗机的水源和清洗剂充足，以免因滴液不足而影响清洗效果。
3. 打开电池清洗机的盖板，并将待清洗的电池依次放入机器的相应位置。
注意不要一次放入过多的电池，以免影响清洗效果。
4. 关上清洗机的盖板，并按照操作手册的指示，启动电源，开始清洗程序。
5. 在清洗过程中，工作人员不得将手部或其他身体部位靠近机器的旋转或移动部件，以免造成伤害。
6. 如发现清洗机出现异常情况，如异响、冒烟等，应立即停止清洗程序，并及时上报维修人员。
7. 清洗完成后，工作人员应按照操作手册的指示，将电池从清洗机中取出，并进行必要的检查和清理。
五、清洗机维护1. 定期对RENA电池清洗机进行维护保养，包括清理机器内部的残留物、清洁水管和过滤器等部件。
2. 确保清洗机的运行环境干燥、整洁，并定期检查设备的电源线和电气连接是否松动。
3. 如发现清洗机出现异常情况或故障，应及时上报维修人员进行处理。
六、应急措施1. 如在使用RENA电池清洗机的过程中发生紧急情况，工作人员应立即按下应急停机按钮，切断电源。
5.2.2 FORTIX设备机台碎片清理：使用吸尘器清理设备上的碎片，再用无尘纸
擦拭干净。
（如下图）
设备传感器和吸盘的清洁：使用沾有酒精的无尘布擦拭传感器和吸盘上的灰尘。
（如下图）
设备各水槽内碎片清理：用PH试纸检查各槽内是否有残留酸碱液，
，即可用吸尘器对有碎片的槽体进行清理。
5.2.6检查FORTIX设备传动轴承和气缸是否有卡死或磨损：用手转动传送带，
若发现阻力很大，需立即拧松皮带轮顶丝，拆下轴承进行清洗或更换；
对气缸进行手柄控制，若发现有运动不灵活，
下图）
检查RENA设备压缩空气、冷却水、纯水、抽风管道、管路接口是否有漏水漏气现象，若有及时紧固；检查主压缩空气、冷却水、纯水的压力表指
5.3.2 RENA设备过滤桶滤芯的维护：具体操作参照《RENA滤芯的日常维护作业
规范》进行处理。
设备滚轮转动是否平稳：开启设备传动，目视若发现有滚轮震。
添加系统校准：参考《RENA设备说明书》对添加系统进行校准。
冷却机的检查：开启冷却机，打开冷却机盖板，检查压缩机、循环泵运
每季/年PM
设备和RENA设备各电气元件的接线端口：用手轻轻拉线，若有松动，插紧并用螺丝刀进行紧固（如下图）；目视各接口线路部分，若有氧化、腐蚀现象，进行更换。
