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“分子泵-机械泵”双级泵真空系统——“机械泵+分子泵”双级泵抽气系统的工作过程进行图示和说明材料物理真空泵是用利用机械、物理、化学或物理化学的方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空或对被抽容器进行抽气而获得真空的装置。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。
气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
此处便是利用分子泵和机械泵的组合形成的真空泵。
下面是我的理解下的简单图示。
该组合真空泵的简单操作说明如下：首先启动循环水机；然后打开抽真空设备的总电源；第三步抽真空，开启机械泵及相应阀门，低真空计显示20Pa以下后，打开电磁阀，低真空计显示0.1Pa以下方可开启高真空计查看真空度；最后在真空室用完后就可以关机了。
溅射完成后，关闭溅射电压，衬底降温，关闭溅射气源和闸板阀。
关闭分子泵（等待转速降低至0）电磁阀，机械泵。
20min 后关闭总电源和循环水。
全国补水泵价格行情走势及规格型号大全来源：造价通工程造价信息网概述：造价通工程造价信息网为您实时提供全国各省市地区各种规格型号补水泵价格行情走势查询。
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材料名规格/型号单位品牌省份城市查询账号账号密码补水泵4VMP6-12×6 含底座、阀门、相应管路、控制仪表等组件一套台海能达北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵40VMP6-12¡Á台海能达北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵4VMP6-12×7 含底座、阀门、相应管路、控制仪表等组件一套台海能达北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵40VMP6-12¡Á台海能达北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵25GDL4-11×10 Q=4m3/h H=115m功率:4kw 不锈钢多级泵台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵25GDL2-12X6流量:2m3/h;扬程:72m水柱;功率:1.5kw;转速:1450r/min;不锈钢多级泵台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵QPG25-160A G=2t/h H=28m 台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵65GDL24-12¡Á台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵ISG32-160(I) 台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵25GDL4-11¡Á台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵50GDL18-15¡Á台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵40GDL6-12¡Á台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵25GDL2-12¡Á3 Q=1.8 H=16 N=0.3台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵65GDL24-12¡Á5 Q=25 H=60 N=7.台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵流量0.5m3/h H=28mH2O N=1.0KW 台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵流量0.5m3/h H=7.5mH2ON=1.0KW 单罐双泵型台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵Q=1 H=30 N=0.75 台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵风量:1000m3;风压:57PaDFBZ-1NO.2.5台天津天津市lyccyy520 ljh8989565626补水泵QPG25-160 台恒有源北京北京市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵40GDL6-12¡Á4(2.2KW台山东济南市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵40KDLD6-112¡Á台天津天津市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵KDB50-80A 台天津天津市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵KDB50-50B 台天津天津市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵SLZD50-160A,G=15.2m3/h,H=26m 台瑞邦天津天津市lyccyy520 ljh8989565626补水泵型号:RBL25-125,流量:(M3/H):2,扬量(m)22,功率(kw):0.75台瑞邦天津天津市lyccyy520 ljh8989565626补水泵160A 台海牛天津天津市lyccyy520 ljh8989565626 补水泵50GDL18-15¡Á台天津天津市lyccyy520 ljh8989565626补水泵KQL40/140-1.1/2 流量:6.7m3/h扬程:22.5m 功率:1.1KW 转数:2960r/min-CDLF8-3台南方四川成都市lyccyy520 ljh8989565626补水泵CDL8-2, Q=6m3/hH=20m,P=0.75KW台南方江苏苏州市lyccyy520 ljh8989565626补水泵25TDL2-110 流量:2m³/h,扬程:82m,功率:1.5KW台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵32TDL4-100 流量:3m³/h,扬程:87m,功率:2.2KW台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵25TDL2-110 流量:2m³/h,扬程:82m,功率:1.5KW台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626补水泵32TDL4-100 流量:3m³/h,扬程:87m,功率:2.2KW台北京北京市lyccyy520 ljh8989565626结后语：完整版补水泵价格全国各地区加起来有共有数百页，因受限于文库文件上传大小、篇幅限制以及价格时效性原因，故而只上传了一部分。
PFC or P Series 介紹：Polycold 快速循环水汽深冷泵（低温泵）采用了Polycold 公司专利的低温冷冻技术，其工作原麦斯纳（Meissner）吸收原理。
使水汽分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表面上凝结，从而水汽的目的。
这种低温盘管（Cryocoil）直接装在真空室内，系统不再受接头、进气管、阀和挡传导的影响，低温盘管的安装不需要高真空阀，可在任何系统中方便地进行。
Polycold 快速循环水汽深冷泵运作原理：Polycold Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速循环水气低温泵-冷冻机(PFC)。
PFC低温冷冻工作原理是利用麦斯纳（Meissner）吸收原理，使水气分子在低温盘管（Cryocoil）的超低温表有效地夺取水蒸气，通常在高真空系统（High Vacuum）内残余气体最主要是由65% 到95%子组成，水气分子是最典型地具有副作用的污染气体。
Polycold 系统可把水气快速地从真空系能为您缩短抽真空的时间达20% 到100%，提高产量以及产品质量，赚取更高的利润。
Polycold 快速循环水汽深冷泵产品应用领域：Polycold 公司拥有优越以及领先的冷却技术，可应用市场非常广范- 从半导体(semiconductors)膜制程(Thin Film Solar Processes),光纤市场(optical networking),平板显示(flat panel displays) (Optical Coating、卷绕镀膜(web coating)，装饰镀膜(decorative coating)。
探测器冷却(detect 技术可应用在航空(aerospace), 望远镜(telescopic), 以及实验室设备(laboratory requirements)我们提供最新技术的完整冷却方案，帮忙客户减少生产费用, 改进制程表现, 提高工作场所安全产可靠性。
常用制冷剂制冷剂HCFC系列※R-22（二氟一氯甲烷）制冷剂物化性质：R22( Freon22，二氟一氯甲烷Chlorodifuoromethane)，分子式CHClF2，分子量86.47。
R-22在常温下为无色，近似无味的气体，不燃烧、无腐蚀、毒性极微，加压可液化为无色透明的液体，为HCFC 型制冷剂。
主要用途：氟利昂-22 ，分子式：CHClF2，分子量：86.47。
R-22广泛用于家用空调、中央空调和其它商业制冷设备；也可用作聚四氟乙烯树脂的原料和灭火剂1121的中间体。
产品包装：钢瓶包装，净重13.6kg/瓶、22.7kg/瓶、400kg/瓶、1000kg/瓶、ISO TANK。
※R-123（二氯三氟乙烷）制冷剂物化性质：三氟二氯乙烷（2,2－二氯化－1,1,1－三氟乙烷），分子式CF3CHCl2，分子量152.93，沸点27.85 ℃，CAS注册号：306－83－2 ，臭氧层消耗（ODP）0.02，全球变暖潜值（GWP）93，是一种替代R-11（F11）的HCFC型制冷剂。
主要用途：R123 可替代F-11 和F-113 作清洁剂、发泡剂和制冷剂（中央空调/离心式冷水机组）。
产品包装：钢桶包装，250kg/桶。
※R-124（一氯四氟乙烷）制冷剂物化性质：一氯四氟乙烷CHClFCF3，HCFC-124（R124），分子量136.5，沸点-10.95℃，临界温度122.25℃，临界压力3.613MPa，破坏臭氧潜能值（ODP）为0.02，全球变暖潜能值(GWP，100 yr)为0.10。
主要用途：HCFC-124（R124）主要用作制冷剂、灭火剂，是混合工质的重要组分，可替代CFC-114。
产品包装：钢瓶包装，13.6kg/瓶。
※R-141b（二氯一氟乙烷）制冷剂物化性质：二氯一氟乙烷CH3CCl2F，HCFC-141b，分子量116.95，沸点32.05℃，临界温度204.5℃，临界压力4.25MPa，破坏臭氧潜能值（ODP）为0.11，全球变暖潜能值(GWP，100 yr)为0.09。
超低温制冷技术：-135℃水汽捕集泵原理及用途网站来源 行业B2B中国频道：制冷暖通------------------------------------------------------------------------------------------------------------------应用原理:在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。
深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。
从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：1、水汽捕集器它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。
适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。
盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、低温冷阱放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。
由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。
具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。
主要的性能特点1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；2、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-150℃；3、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;4、一台设备可设计两路负载输出；5、进口压缩机，环保混合型制冷剂;6、触摸屏+PLC=完善的自动化控制；7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；8、当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；9、除霜温度自由设定；10、具有水温温度、排气温度显示；11、缺水、水温过高报警；12、压缩机排气过高、压力过高保护；13、电源断电、缺相报警；14、可本地、远程控制自由转换；15、RS485计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。
工业用真空泵分类如下：
按其工作原理分类：气体输送泵和气体捕集泵。
气体输送泵包括变容真空泵、动量传输泵等；气体捕集泵包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵等。
按性能特点和用途分类：
低真空泵：极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。
常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。
中真空泵：极限压力在102~10-1Pa的真空泵属于中真空泵。
常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。
高真空泵：极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。
常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。
超高真空泵：极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。
超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。
目录第一节系统说明1 引言2 电解液3 电解槽4 电解液子系统（1）KOH泵（2）KOH贮罐（3）换热器（4）KOH过滤器（5）流量开关（6）KOH温度传感器（7）KOH液位计5 给水子系统（1）给水（2）给水水质监测器（3）给水泵（4）给水控制6 气体控制和调节子系统（1）压力变送器（2）产气速率（3）预压（4）备用（5）压力释放（6）背压调节器（7）差压调节器（8）安全阀（9）排空阀（10）冷凝器和捕集器（11）纸型隔膜（12）氮气冲洗7 氢气干燥（1）干燥器（2）干燥器阀8 冷却及冷凝器冷却水子系统（1）温度调节阀（2）冷凝器冷却水及其控制9 系统安全（1）氧中氢监测器（2）电流监测器（3）氢检测器（4）停车报警10 电力和工艺控制子系统（1）DC电源（2）可编程控制器（3）工艺控制及程序（4）干燥器程序11 数据显示和工艺监控（1）触摸屏显示（2）发光二极管监控第二节发生器安装1 系统类别2 发生器安装3 设备连接（1）给水（2）冷却水（3）冷凝器冷却水（4）氢、氧排气阀（5）产品气输送（6）电力（7）氮气吹洗4电源的电连接5 外部报警连接第三节发生器运行1 前言2 初次启动3 启动模式4 运行模式5 备用模式6 常规运行7 压力释放8 停车第四节维护和校验规程1 前言2 电解液（1）电解液混和（2）电解液注入（3）电解液检查（4）电解液排放3 电解槽检查（1）外观检查（2）内部检查（3）再紧固规程4 纸型隔板更换5 渗透渗漏检查6 KOH过滤器更换7 给水过滤器更换8 KOH泵检查9 阀门和调节器维修和校验（1）电磁阀（2）差压调节器（3）背压调节器（4）止回阀和安全阀10 氧中氢监测器维修及校验（1）流量控制器（2）过滤器罐（3）温度传感器11 系统试压12 差压变速器13 KOH流量开关检查14 给水泵起动及冲洗15 给水检测器检查16 干燥器维修（1）孔板维修（2）止回阀维修（3）分子筛更换（4）气体过滤器更换17 温度调节阀检查第五节排除故障指南附录A目录系统组件图1 框架组件图号；A-12 电解槽组件图号；A-23 给水和冷却水组件图号；A-34 气体控制组件图号；A-45 控制箱组件图号；A-56 干燥器组件图号；A-6附录B目录系统图1 HM管道图图号；M141562 HM-C1D2发生器接线图图号；ES-M-009第一节系统说明1 引言HM系统的基本设备配置包括两块，即氢气发生器和电源。
