• 图5-18 所示为差动式电容加速度传感器结构。
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5. 4 测量电路
• 环形二极管电容测量电路原理如图5-14 所示,输入方波加在电桥 的A 点和地之间,Cx为被测电容,Cd为平衡电容传感器初始电容的 调零电容,C 为滤波电容,A 为直流电流表。 在设计时,由于方波脉冲 宽度足以使电容器Cx和Cd充、放电过程在方波平顶部分结束,因此, 电桥将发生如下的过程。
的ΔC 可以增大,从而使传感器灵敏度提高。
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5. 1 工作原理和结构
• 但d0 过小,容易引起电容器击穿或短路。 因此,极板间可采用高介电 常数的材料(云母、塑料膜等)作为介质,如图5-4 所示,此时电容变 为
• 云母片的相对介电常数是空气的7 倍,其击穿电压不小于1 000 k V/ mm,而空气仅为3 kV/ mm。 因此有了云母片,极板间起始距 离可大大减小。
• 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容为20~100 pF,极板 间距离为25~200 μm。最大位移应小于间距的1/10,故在微位 移测量中应用最广。
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5. 1 工作原理和结构
• 5. 1. 2 变面积型电容式传感器
• 图5-5 所示为变面积型电容式传感器原理结构示意图。 被测量通 过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S 改变,从而得到电容量的变 化。 当动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx 时,则电容变化量为
薄膜等的厚度,也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体 介质的湿度。 图5-8 所示为变介质型电容式传感器常用的结构形 式,图中两平行电极固定不动,极距为d0,相对介电常数为εr2 的电介 质以不同深度插入电容器中,从而改变两种介质的极板覆盖面积。 传 感器总电容量为