研究项目
涂层或与界面有关的硬度 厚度测量 结合强度 摩擦,磨损性能和摩擦系数 表面形貌,粗糙度测量 表面形貌 显微组织结构,表面形貌 化学成分 相结构,晶粒尺寸, 应力分析等
硬度 厚度 划痕实验 摩擦磨损实验 光学显微镜 电子显微镜 能谱分析 XRD
涂层性能分析方法
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矿物 滑石 石膏 方解石 萤石 磷灰石 长石 石英 黄玉 刚玉 金刚石
自然界的矿物分为10个硬度等级,所有的物体应 该在这个范围内
布氏硬度
压头: 球 (硬质合金或淬硬钢)
压头
布氏和维氏硬度
维氏硬度
压头: 金字塔形 (金刚石)
压头
样品
d
样品
1. 定位
方法:真空蒸镀,磁空溅射,电弧离子镀,激光辅助沉积,等离子辅助物理气相沉积,电
子束物理气相沉积等
特点:沉积速率慢,涂层质量好,适合一些精密的应用,如刀具模具,电子等行业
3.化学气相沉积技术(CVD)
方法:热丝CVD, 微波增强CVD, 等离子体增强CVD,有机化合物CVD 等 特点:绕射性好,可以生长一些高温下才能生长的薄膜,但沉积温度高.
显微硬度测量
2. 压痕
3. 硬度计算
纳米压痕方法
✓对于涂层硬度的测量,压痕深度一般小于涂层厚度的十 分之一,以避免基体的影响
磨痕仪
球坑法是一种简易实用的镀层厚度测试方法,球 磨后,在镀层样品上形成一球坑,通过正确的测 量分析,可快速得出镀层的准确厚度。
球
基体
涂层
划痕仪
用金刚石压头划出划痕,看涂层的破裂情况,用临界载荷评价涂层结合
4.湿法沉积
电镀,化学镀等 价格便宜.
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